目录 1
第一章 表面粗糙度及其测量的一般概念 1
一、零件的几何量误差 1
二、表面粗糙度对零件使用性能的影响 2
三、表面粗糙度国家标准中的评定基准和参数 3
（一）评定基准 4
（二）评定参数 6
（一）测量方法 9
四、表面粗糙度的测量方法和测量注意事项 9
（二）测量注意事项 10
五、表面粗糙度在图纸上的标注 10
六、表面粗糙度参数值的量值传递 11
第二章 比较法评定表面粗糙度 14
一、概述 14
二、比较样块 14
三、视觉比较法评定表面粗糙度 19
一、微观不平的光切测量原理 21
第三章 光切法测量表面粗糙度 21
二、光切显微镜 22
（一）光学系统 22
（二）机械结构 23
三、光切显微镜的定度 25
（一）物镜的放大倍率 25
（二）定度 25
四、光切显微镜测量前的调整 27
（一）选择可换物镜 27
（二）安放被测工件 27
（三）调焦 28
五、光切显微镜测量表面粗糙度 28
（一）测量微观不平度十点高度Rz值 28
（二）测量轮廓算术平均偏差Ra值 30
（三）测量其他评定参数 31
（四）仪器照相机的使用 33
（一）光的干涉现象 34
一、微观不平的光干涉测量原理 34
第四章 光干涉法测量表面粗糙度 34
（二）光干涉测微原理 35
二、干涉显微镜 36
（一）6J型干涉显微镜 36
（二）6JA型干涉显微镜 39
三、干涉显微镜测量前的调整 41
（一）干涉条纹调整的主要步骤 41
（二）其他几个问题 42
四、干涉显微镜测量表面粗糙度 43
五、几种其他形式的干涉显微镜 44
（一）内表面干涉显微镜 44
（二）多光束干涉显微镜 45
（三）在物镜和被测表面之间分光的干涉显微镜 46
第五章 针描法测量表面粗糙度 47
一、针描法测量原理和轮廓仪概述 47
二、BCJ-2型电感式轮廓仪 48
（一）电路系统的测量原理 49
（二）机械结构 52
（三）测量操作和注意事项 55
（四）仪器的校准 56
三、其他型号的电感式轮廓仪 57
（一）2222型便携式多参数轮廓仪 57
（二）泰勒塞夫-4型轮廓仪 58
（三）泰勒塞夫-5型轮廓仪 61
四、其他形式的轮廓仪 62
（一）压电式轮廓仪 62
（三）感应式轮廓仪 64
（二）光电式轮廓仪 64
五、轮廓仪工作故障的初步分析 65
第六章 表面粗糙度的其他测量方法 67
一、激光散斑技术的应用 67
二、光纤测量法 68
三、气动测量法 70
四、印模法 71
五、其他新的测量方法 72