目 录 1
第一章测长仪器 1
第一节立式接触干涉仪 1
一、工作原理 1
二、调整与修理 2
第二节0.2μm投影光学计 6
一、工作原理 6
二、光学系统 7
三、调整与修理 8
第三节光学计 12
一、工作原理 12
二、调整与修理 12
第四节测长机 18
一、工作原理 18
二、拆卸程序 19
三、调整与修理 22
第五节立、卧式测长仪 29
一、工作原理 29
二、立式测长仪的调整与修理 31
三、卧式测长仪的调整与修理 33
第二章工具显微镜 37
第一节通用的万能工具显微镜 37
一、概述 37
二、拆卸 38
三、调修顺序 44
四、调整与修理 45
五、附件 54
第二节大工具显微镜 57
一、拆卸 57
二、调整与修理 59
第三节19JA万能工具显微镜 63
第四节 OPTON万能工具显微镜 64
一、概述 64
二、调整与修理 66
第五节莱茨一米万能工具显微镜 71
一、导轨主体的调整 72
二、顶尖附件调整 75
三、双目显微镜调修 75
四、纵、横刻线尺位置调整 78
五、光学分度头附件调整与修理 81
第六节莱茨UWM-Ⅲ大型工具显微镜 83
一、光学系统 83
二、拆卸 85
三、主显微镜的调整与修理 93
四、纵、横向拖板系统调整 99
五、纵、横向读数系统调整 100
六、立柱、显微镜臂架系统 101
第七节UWM200万能工具显微镜 103
一、光学系统 103
二、拆卸 105
三、调整和修理 112
第三章测角仪器 115
第一节10″光学分度头 115
一、概述 115
二、读数系统的调整与修理 116
三、轴系调整与修理 119
四、工作台工作面直线度的修理 121
五、示值误差的调修 121
第二节Leitz2″光学分度头 121
一、读数系统的调修 121
二、导程测量装置的调修 125
第三节P3（P1）光学分度头 126
一、概述 126
三、主轴调修 126
二、轴系调修 127
三、投影屏系统调修 130
四、示值误差调整 132
第四节SG01.1测角仪 132
一、概述 132
二、轴系和锁紧、微动装置的修理 133
三、度盘、符合成像和读数系统的校正 133
四、自准望远镜和平行光管的调整 137
第五节C-20测角仪 143
一、概述 143
二、光学系统的清洗 143
三、读数系统的调整 144
四、度盘偏心的调整 146
六、测微器行差的调整 147
五、符合倍率 147
七、测微器手轮限程的调整 148
第六节 自准直仪 148
一、分光棱镜的调整 148
二、目镜装调 149
三、物镜调整 149
四、示值误差调整 150
第四章齿轮测量仪器 152
第一节万能渐开线检查仪 152
一、基圆零位误差的调整 152
二、误差曲线的调修 153
三、测头缓冲装置失调的修复 154
四、示值稳定性不好的修复 155
五、用不同基圆直径的样板检定综合示值误差时出现结论差异的消除 157
六、记录示值死程超差的调修 157
七、示值误差在起始位置走弧线的调整 158
八、记录器卡住的修复 159
九、指示表和记录器放大比不合格的调整 160
十、记录器摆动太大及其他电气方面容易出现的故障的排除 161
第二节 SP-60、PH-100型齿轮检查仪 161
一、基圆零位的调整 162
二、误差曲线的调修 162
三、示值稳定性修复 163
四、螺旋角零位不正确的调整 164
五、螺旋角示值超差调整 165
六、综合示值误差局部误差的消除 166
七、螺旋导槽滑块故障的消除 166
八、渐开线齿形误差曲线中根部误差的消除 167
九、立滑架部位故障的排除 167
第三节滚刀检查仪 169
一、概述 169
二、主体部分的调修 170
三、光学部分的调修 171
四、机械部分的调修 172
五、传感器轴向、径向运动部分的调整 172
第五章200型万能比较仪 175
一、概述 175
二、调整与修理 175
第六章表面粗糙度测量仪 179
第一节干涉显微镜 179
一、概述 179
二、调整与修理 179
第二节泰勒四型轮廓仪 184
一、维修的一般方法 184
二、轮廓仪的维修 185
第七章大型投影仪 188
一、概述 188
二、拆卸 189
三、调修 191