第一章总 则 1
目 录 1
第二章术 语 2
第三章空气洁净度级别 3
第四章洁净室设计的综合要求 5
第一节对总图的要求 5
第二节对工艺布置的要求 6
第三节对建筑的要求 6
第四节对人、物净化的要求 9
第一节一般原则 11
第五节其它要求 11
第五章空气净化系统的设计 11
第二节气流组织 14
第三节正压控制 18
第四节空气净化处理 19
第五节风管与附件 26
第六节洁净室的计算 29
第六章主要设备 32
第一节一般原则 32
第二节空气过滤器 33
第三节装配式洁净室 34
第四节净化空调器 35
第五节局部净化设备 36
第六节空气吹淋室 38
第七节清扫设备 39
第八节其它 41
第七章施工 42
第一节风管 42
第二节过滤器 43
第三节设备及其它 44
第一节洁净室的鉴定测试 45
第八章测试 45
第二节洁净室和洁净工作台等净化设备的监督测试 48
第九章维护管理 49
第一节教育训练 49
第二节洁净室的维护管理 49
第三节设备的维护管理 52
第四节正压管理 53
第五节安全制度 53
附录一洁净室、洁净工作台和空气吹淋室的 55
鉴定测试方法 55
附录二 洁净室有关计算公式的推导及计算步骤 71