第1章 感测器基础论 1
1.1 感测器的性质 1
1.1.1 感测器的功用 1
1.1.2 信息与信号 2
1.1.3 感测器与感测系统 3
1.1.4 信息的1次抽出 4
1.2 感测器的分类 5
1.2.1 依物理定律利用法分类 5
1.2.2 依变换原理分类 8
1.2.3 依能量利用形态的分类 12
1.2.4 依与对象的关系分类 13
1.2.5 依输出信号分类 14
1.3.1 现象的分类 18
1.3 变换上利用的现象 18
1.4 感测系统的构成法 27
1.4.1 信息的有效利用 27
1.4.2 环境变动的影响除去法 28
1.4.3 多元次信息的取得 33
1.4.4 智慧化 34
1.5 感测器的性能 35
1.5.1 基本性能 35
1.5.2 感度 35
1.5.3 感测器的可靠性 38
1.5.4 响应特性 40
第2章 力学、热学量感测器 41
2.1 几何学量感测器 41
2.1.1 前言 41
2.1.2 位移感测器 42
2.1.3 角位移感测器 45
2.1.4 应变感测器 47
2.1.5 速度感测器 49
2.2 力学量感测器 50
2.2.1 力感测器 50
2.2.2 扭矩感测器 56
2.3 流体量感测器 57
2.3.1 流量、流速感测器 58
2.3.2 压力、差压感测器 62
2.3.3 密度感测器、粘度感测器 67
2.4 热学量感测器 67
2.4.1 前言 68
2.4.2 温度感测器 68
2.4.3 热量感测器 77
2.4.4 湿度感测器 79
第3章 电磁学、光学量感测器 80
3.1 电磁学量感测器 80
3.1.1 电磁学量的极限感测 80
3.1.2 SQUID磁束计与人体磁性测定 81
3.1.3 光纤电磁学量感测器 84
3.1.4 光学磁学量感测量的应用 86
3.2 光学量感测器 89
3.2.1 2次元光学量感测器 89
3.2.2 固体摄像装置 89
3.2.3 高密度固体摄像器件 93
3.2.4 极微弱光摄像器件 94
3.2.5 超高速现象的画像化 97
3.3 放射线感测器 98
3.3.1 放射线源与其性质 98
3.3.2 放射线感测器 102
第4章 化学量感测器 111
4.1 前言 111
4.2 化学感测器的种类与用途 111
4.3 化学感测器的构成与动作样式 115
4.3.1 直接变换方式与其原理 115
4.3.2 间接变换方式与其原理 116
4.4 气体感测器 117
4.4.1 直接变换方式的气体感测器 117
4.4.2 能量变换型间接变换方式的气体感测器 121
4.4.3 能量调变型间接变换方式的气体感测器 122
4.5 溶液系感测器 131
4.5.1 离子电极 132
4.5.2 ISFET 133
4.6 人体系感测器 135
4.6.1 直接变换的人体感测器 136
4.6.2 间接变换型人体感测器 137
第5章 新材料与器件 140
5.1 陶瓷感测器 140
5.1.1 用为感测器材料的陶瓷 140
5.1.2 感测器用构造材料的陶瓷 140
5.1.3 利用机能性陶瓷的感测器 143
5.2 半导体感测器 149
5.2.1 结晶半导体物性的利用 149
5.2.2 器件特性的利用 151
5.2.3 物性设计技术的应用 153
5.2.4 非结晶半导体的利用 155
5.2.5 微细加工技术的应用 157
5.3 有机材料与感测器 158
5.3.1 前言 159
5.3.2 光感测器 161
5.3.3 力学量感测器 164
5.3.4 气体感测器 167
5.3.5 结语 169
5.4 光纤感测器 169
5.4.1 光纤的特色与感测器应用 169
5.4.2 用光纤为传送路的构成 170
5.4.3 用光纤本身为感测器的构成 172
5.4.4 分布型、准分布型光纤感测器 177
5.4.5 光纤回转仪 179
5.5 人体感测器 182
5.5.1 前言 182
5.5.2 酵素FET感测器 183
5.5.3 薄膜电极人体感测器 185
5.5.4 结语与今後的展望 188
5.6 微细加工器件 189
5.6.1 矽微细加工器件的特色 189
5.6.2 矽的微细加工法 190
5.6.3 矽微细加工技术在感测器的应用 192
第6章 新型感测器系统 198
6.1 感测器的智能化 198
6.1.1 感测器智能化的途径 198
6.2 尖端应用分野的感测器系统 214
6.2.1 感测器系统的现状 214
6.2.2 制程测定的感测器 214
6.2.3 机器人的感测器 218
6.2.4 民生-家庭用机器 223
6.2.5 医用感测器系统 229
6.2.6 汽车的感测器 236