第一章 绪论 1
第一节 传感器概述 1
第二节 磁性传感器的工作原理 11
第三节 薄膜磁阻传感器的特点及发展 16
第四节 退磁效应及其对磁化状况的影响 18
第五节 磁性单位及其转换 23
第二章 各向异性磁阻效应及材料 27
第一节 各向异性磁阻效应的唯象理论 27
第二节 各向异性磁阻材料 35
第三章 薄膜磁阻元件的工作原理及参数选择 54
第一节 磁阻元件的构成及工作原理 54
第二节 磁阻传感器的技术指标 61
第三节 磁阻薄膜的磁化特性 68
第四节 薄膜磁阻传感器工作参数的选择 77
第四章 薄膜磁阻传感器的设计、制作基础 88
第一节 薄膜磁阻传感器的设计 88
第二节 磁阻薄膜元件的设计计算示例 94
第三节 真空蒸镀制备磁阻薄膜 98
第四节 溅射镀膜技术 116
第五节 磁阻薄膜几何形状的形成 130
第六节 影响磁阻薄膜性能的工艺因素 137
第七节 薄膜磁阻传感器的应用 147
第一节 磁阻磁头的工作原理及主要技术指标 157
第五章 磁阻磁头 157
第二节 磁阻磁头的类型及特性 170
第三节 退火及几何形状对磁阻磁头性能的影响 176
第四节 磁阻磁头的设计基础 189
第五节 磁轭型磁阻磁头 198
第六节 多磁道磁阻磁头 207
第七节 电感～磁阻式复合磁头 219
第六章 旋转式薄膜磁阻传感器 230
第一节 概述 230
第二节 旋转式薄膜磁阻传感器基础 231
第三节 旋转式薄膜磁阻传感器 247
第四节 多功能增量型磁性旋转编码器 257
第五节 高分辨率绝对型磁性旋转编码器 267
第六节 非接触式磁性力矩传感器 276
第七章 其他类型的薄膜磁阻传感器 283
第一节 检测绝对位置用磁阻传感器 283
第二节 漏磁型位移传感器 289
第三节 使用磁阻传感器的开槽型条形码图形识别系统 299
第四节 在电测量中应用的薄膜磁阻传感器 306
第五节 用于触觉传感器的回线形磁阻器件 312
第六节 交流偏置等类型的磁阻传感器 319
第八章 特大磁阻效应多层膜简介 329
参考文献 342