4 传感器材料的合成和沉积 1
1 沉积技术概述 1
2 真空蒸镀和真空沉积 2
3 溅射技术 5
4 液相生长热氧化法（RGTO）技术 13
5 激光烧蚀或脉冲激光沉积 15
6 离子束辅助沉积（IBAD） 19
7 化学气相沉积 21
8 气溶胶化学气相沉积 31
9 水溶液沉积 45
10 溶胶凝胶法 58
11 粉体技术 66
12 聚合物技术 74
13 纤维上的沉积 80
14 展望 84
15 致谢 87
参考文献 87
5 传感材料的改性：金属氧化物材料工程 99
1 引言 99
2 通过金属氧化物的结构工程控制传感器的响应 100
3 通过修改金属氧化物的组成控制传感器的响应 117
4 通过金属氧化物的表面改性控制传感器的响应 130
5 通过金属氧化物的材料工程提高气体传感器的工作特性 143
6 总结 154
7 致谢 156
参考文献 156
索引 165