第1章 微纳米和先进制造中的测量技术 1
1.1工程纳米测量的定义 3
1.2本书主要内容 4
参考文献 4
第2章 测量基础知识 7
2.1测量技术简介 7
2.2测量单位和国际单位制 8
2.3长度 9
2.4质量 13
2.5力 14
2.6角度 15
2.7可溯源性 15
2.8准确度、精密度、分辨力、误差和不确定度 17
2.9激光 23
参考文献 30
第3章 精密测量仪器设计原则 35
3.1几何问题 35
3.2运动学设计 36
3.3动力学 39
3.4阿贝原则 40
3.5弹性压缩 41
3.6力回路 42
3.7材料 43
3.8对称 45
3.9隔振 45
参考文献 49
第4章 干涉法长度溯源 53
4.1长度溯源 53
4.2量块：既是量具又是溯源工具 54
4.3干涉测量技术简介 56
4.4干涉仪设计 60
4.5干涉法量块测量 67
参考文献 76
第5章 位移测量 79
5.1位移测量概述 79
5.2基本术语 80
5.3干涉法位移测量 80
5.4应变传感器 94
5.5电容位移传感器 95
5.6涡流和电感位移传感器 96
5.7光学编码器 98
5.8光纤传感器 99
5.9其他光学位移传感器 101
5.10位移传感器校准 101
参考文献 105
第6章 表面形貌测量仪器 111
6.1表面形貌测量简介 111
6.2空间波长范围 112
6.3经典表面形貌测量仪器的历史背景 113
6.4表面轮廓测量 115
6.5面域表面形貌测量 116
6.6表面形貌测量仪器 118
6.7光学仪器 121
6.8电容式仪器 143
6.9气动仪器 144
6.10表面形貌测量仪器校准 144
6.11表面形貌测量不确定度 151
6.12计量特性 153
6.13表面形貌测量仪器比对 155
6.14空间频率响应确定 156
6.15软件测量标准 157
参考文献 158
第7章 扫描探针与粒子束显微镜 171
7.1扫描探针显微镜 172
7.2扫描隧道显微镜 173
7.3原子力显微镜 174
7.4原子力显微镜测试物理量的实例 188
7.5测量纳米颗粒的扫描探针显微镜 189
7.6电子显微镜 190
7.7其他粒子束显微镜技术 196
参考文献 196
第8章 表面形貌表征 201
8.1表面形貌表征概况 201
8.2表面轮廓表征 202
8.3表面形貌的面域表征 217
8.4分形方法 235
8.5轮廓和面域表征的比较 240
参考文献 241
第9章 坐标测量 247
9.1坐标测量机简介 247
9.2坐标测量机的误差来源 251
9.3坐标测量机的可溯源性、校准和性能验证 252
9.4微坐标测量机 254
9.5微坐标测量机测头 257
9.6微坐标测量机的验证和校准 264
参考文献 268
第10章 质量和力的测量 275
10.1传统质量测量的可溯源性 275
10.2小质量测量 282
10.3小力值测量 283
参考文献 292
附录A：测量的国际单位及其在NPL的实现 297
附录B ： SI导出单位 299