第1章 绪论 1
1.1 概述 1
1.2 偏振光学元件的发展和研究现状 2
1.3 极紫外和软X射线波段偏振光学元件应用 8
1.4 课题研究背景和研究内容 9
第2章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件设计 16
2.1 概述 16
2.2 极紫外与软X射线周期多层膜偏振元件设计 17
2.3 极紫外与软X射线非周期多层膜偏振元件设计 25
2.3.1 宽带及宽角多层膜偏振光学元件膜系初始结构推导 25
2.3.2 极紫外与软X射线多层膜宽带偏振元件设计 30
2.3.3 极紫外与软X射线多层膜宽角偏振元件设计 38
2.3.4 极紫外与软X射线非周期透射多层膜偏振元件设计 44
2.4 本章小结 47
第3章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件制备与检测 48
3.1 概述 48
3.2 溅射原理及磁控溅射设备简介 49
3.3 X射线衍射仪（XRD） 52
3.4 合肥国家同步辐射实验室（NSRL）反射率计 55
3.5 北京同步辐射装置（BSRF）偏振测量装置 56
3.6 德国柏林同步辐射实验室（BESSY）偏振测量装置 57
3.7 其他检测方法 59
3.8 本章小结 62
第4章 极紫外与软X射线多层膜偏振元件测试结果与分析 63
4.1 概述 63
4.2 XRD小角衍射测试 64
4.3 NSRL反射率测试结果 69
4.4 BSRF偏振测试结果 71
4.5 BESSY偏振测试结果 73
4.5.1 反射式周期多层膜偏振元件测试结果 73
4.5.2 透射式周期多层膜偏振元件测试结果 79
4.5.3 反射式Mo/Si非周期多层膜偏振元件测试结果 81
4.5.4 反射式Mo/Y非周期多层膜偏振元件测试结果 88
4.5.5 透射式Mo/Si非周期多层膜偏振元件测试结果与分析 94
4.6 本章小结 103
第5章 总结 104
5.1 主要研究成果 104
5.2 主要创新点 105
5.3 需要进一步解决的问题 106
参考文献 107
后记 114