第1章 绪论 1
1.1 材料是人类文明的支柱 1
1.2 硬脆材料加工方法 2
第2章 硬脆材料 6
2.1 石材 6
2.2 单晶硅 10
2.3 陶瓷 15
2.4 微晶玻璃 18
2.5 磁性材料 19
2.6 复合材料 20
第3章 磨料切割加工 23
3.1 石材切割 23
3.2 超声切割 30
3.3 超声锯床 30
第4章 研磨抛光 34
4.1 研磨 34
4.2 抛光 36
4.3 石材研磨抛光设备 38
第5章 磨料冲击加工 44
5.1 磨料冲击加工原理 44
5.2 数控超声加工机床 47
5.3 硅镜磨料冲击加工 57
5.4 石英摆片磨料冲击加工 77
5.5 多面体磨料冲击加工 90
第6章 高能束流加工 99
6.1 激光束加工 99
6.2 电子束加工 118
6.3 离子束加工 121
6.4 水射流及磨料流加工 125
第7章 电加工 130
7.1 电火花加工 130
7.2 电解加工 135
7.3 电铸加工 139
第8章 超声旋转加工 145
8.1 细深孔超声旋转加工机床 145
8.2 压电换能器计算机控制恒扭矩装配系统 148
8.3 细深孔超声旋转加工工具 161
8.4 微细超声旋转加工 169
第9章 复合加工方法 181
9.1 超声电解复合加工 181
9.2 重叠振动复合磨料加工 182
9.3 电解电火花复合加工 183
9.4 电火花超声复合加工 184
9.5 超声车铣 185
第10章 金属硬脆材料超声加工 193
10.1 淬硬钢超声车削 193
10.2 松孔镀铬层超声珩磨 195
第11章 化学腐蚀加工 206
11.1 化学腐蚀加工原理 206
11.2 化学腐蚀设备及化学溶液 209
11.3 石英材料化学腐蚀加工 213
11.4 半导体化学腐蚀加工 216
11.5 化学腐蚀在玻璃行业应用 221
参考文献 223