1 绪论 1
1.1 概述 1
1.2 箱式和井式电阻炉 3
1.2.1 箱式电阻炉 4
1.2.2 井式电阻炉 6
1.2.3 耐火及保温材料 9
1.3 真空电阻炉 10
1.3.1 真空电阻炉的组成 11
1.3.2 真空电阻炉的特点 14
1.4 电热元件 16
1.4.1 电热元件的表面负荷及形状 16
1.4.2 常用电热材料及特点 17
1.4.3 常见电热元件的安装方式 19
1.5 电阻炉的热传递方式 21
1.5.1 热传递方式简述 21
1.5.2 电阻炉热传递特点 24
1.6 电阻炉加热工艺 25
1.6.1 电阻炉加热工艺特点 26
1.6.2 加热温度 27
1.6.3 加热速度 27
1.6.4 加热时间 28
1.6.5 加热裂纹的产生 29
复习思考题 30
2 电阻炉温度测量 31
2.1 温度测量方法 31
2.1.1 温度与温标 31
2.1.2 接触测量法 32
2.1.3 非接触测量法 33
2.1.4 温度传感器的类型 34
2.2 热电偶 35
2.2.1 测量原理 35
2.2.2 热电偶种类 36
2.3 电阻炉常用热电偶 38
2.3.1 铠装热电偶 38
2.3.2 热电偶的选择 41
2.4 热电偶参考端补偿与测量误差 43
2.4.1 补偿导线 43
2.4.2 参考端温度补偿 45
2.4.3 热电偶测温误差 46
2.5 热电偶的安装与使用 48
2.5.1 热电偶的安装 48
2.5.2 热电偶使用注意事项 50
2.6 热电偶常见故障 51
2.7 热电阻 52
2.7.1 铂热电阻 53
2.7.2 铜热电阻 53
2.7.3 金属热电阻的连接方式 53
2.8 非接触式温度测量 54
2.8.1 光学高温计 54
2.8.2 辐射式高温计 57
2.8.3 比色高温计 59
复习思考题 61
3 电阻炉温度控制 62
3.1 概述 62
3.2 通断加热控制 63
3.2.1 位式控制方式 63
3.2.2 时间比例控制方式 65
3.2.3 开关切换控制方式 66
3.3 晶闸管温度控制 66
3.3.1 晶闸管及其触发方式 67
3.3.2 晶闸管调节器 68
3.3.3 晶闸管调节器工作特性 70
3.3.4 晶闸管温度控制方式 71
3.4 变压器控制方式 73
3.4.1 电炉变压器控制方式 73
3.4.2 可控饱和电抗器控制方式 75
3.4.3 磁性调压器控制方式 77
3.5 计算机在温度控制中的应用 78
3.5.1 应用简述 78
3.5.2 计算机温度控制系统的组成 80
3.5.3 计算机温度控制过程 82
3.6 PLC在温度控制中的应用 83
3.6.1 PLC的控制作用 83
3.6.2 PLC的组成 84
3.6.3 PLC输入及输出应用实例 85
3.7 PID控制 86
3.7.1 PID控制原理 86
3.7.2 PID参数的整定 88
3.7.3 PID参数自整定 90
3.7.4 PID参数的切换 90
复习思考题 91
4 电阻炉真空测量与检漏 93
4.1 真空 93
4.1.1 真空的概念 93
4.1.2 真空测量 95
4.2 真空压力表和电接点压力表 97
4.2.1 真空压力表 97
4.2.2 电接点压力表 99
4.3 热传导真空计 99
4.3.1 热传导真空计原理 99
4.3.2 电阻真空计 100
4.3.3 热偶真空计 102
4.4 热阴极电离真空计 104
4.4.1 热阴极电离真空计测量原理 104
4.4.2 电离真空计使用 106
4.4.3 电离真空计常见故障判断处理 107
4.4.4 复合真空计 108
4.5 真空电阻炉检漏 109
4.5.1 真空检漏 109
4.5.2 正压检漏法 111
4.5.3 负压检漏法 112
4.5.4 氦质谱检漏 113
复习思考题 115
5 电阻炉真空装置 116
5.1 真空泵 116
5.1.1 真空泵及其类型 116
5.1.2 真空泵的基本参数 117
5.2 机械泵 118
5.2.1 机械泵工作原理 119
5.2.2 气镇阀 120
5.2.3 机械泵的使用及故障处理 121
5.3 罗茨泵 125
5.3.1 罗茨泵工作原理 125
5.3.2 罗茨泵维护及故障处理 127
5.4 油扩散泵 128
5.4.1 油扩散泵工作原理 128
5.4.2 油扩散泵的使用与维护 132
5.5 分子泵 133
5.5.1 分子泵工作原理 133
5.5.2 分子泵的使用与维护 134
5.6 气体捕集器 137
5.6.1 机械捕集器 137
5.6.2 冷凝捕集器 138
5.7 真空阀门 139
5.7.1 真空阀门的作用及类型 139
5.7.2 常用真空阀门 140
复习思考题 144
6 智能温度控制器 145
6.1 智能温度控制器的特点 145
6.1.1 智能温度控制器特点概述 145
6.1.2 常用术语 148
6.2 常用工作方式 148
6.2.1 手动、自动工作方式 148
6.2.2 运行、保持和复位 149
6.3 常用设置功能 150
6.3.1 PV启动和准备 150
6.3.2 等待和恢复 151
6.3.3 中断、跳步、测试 152
6.4 踏步（抑制）功能 153
6.4.1 设置踏步偏差 154
6.4.2 设置踏步时间和偏差 155
6.5 控制方式 156
6.5.1 程序控制 156
6.5.2 恒值控制 156
6.6 事件 157
6.6.1 事件的概念 157
6.6.2 时间事件 158
6.6.3 状态事件 159
6.7 报警 160
6.7.1 超限报警 160
6.7.2 偏差报警 161
6.7.3 绝对值报警 162
6.7.4 变化率报警和阻塞报警 162
6.8 常用参数设置 163
6.8.1 传感器参数 164
6.8.2 控制参数 165
6.8.3 工艺参数 166
复习思考题 167
7 电阻炉操作基础 168
7.1 基本要求 168
7.1.1 对操作者的要求 168
7.1.2 熟悉工艺文件 169
7.1.3 熟悉设备 170
7.2 电阻炉操作面板 171
7.2.1 操作面板 172
7.2.2 监测部件 173
7.2.3 控制部件 175
7.3 电阻炉常用工装 176
7.3.1 工装的基本要求 176
7.3.2 常用工装类型 177
7.4 电阻炉操作对象 181
7.5 电阻炉基本操作步骤 184
7.5.1 工作前的检查 184
7.5.2 装炉 185
7.5.3 加热 186
7.5.4 出炉 186
7.5.5 工作后的检查 187
7.6 温度控制操作 187
7.6.1 自动控制 187
7.6.2 手动控制 188
7.7 电阻炉真空系统操作 189
7.7.1 真空机组 189
7.7.2 真空系统操作 190
7.7.3 真空电阻炉操作注意事项 192
7.8 电阻炉操作规程 193
7.8.1 箱式电阻炉操作规程 193
7.8.2 井式电阻炉操作规程 194
7.8.3 真空电阻炉的操作规程 196
复习思考题 197
8 电阻炉的维护与保养 199
8.1 电阻炉日常检查 199
8.1.1 控制系统的检查 199
8.1.2 真空系统检查 200
8.1.3 炉体及辅助装置常规检查 201
8.1.4 水冷系统的日常维护 202
8.2 电阻炉维护与保养 203
8.2.1 井式电阻炉的维护与保养 203
8.2.2 真空电阻炉的维护与保养 204
8.2.3 电阻炉的定期维修 206
8.3 电热元件的维护 206
8.3.1 影响电热元件寿命的因素 207
8.3.2 电热元件的维护 207
8.3.3 电热元件常见故障 209
8.4 常见电阻炉温度控制故障与处理 210
8.5 电阻炉的安装调试与验收 213
8.5.1 电阻炉的安装 213
8.5.2 电阻炉的调试 214
8.5.3 电阻炉的验收 215
8.6 电阻炉性能指标 216
8.6.1 炉腔参数 216
8.6.2 温度控制性能 217
8.6.3 电气特性 218
8.6.4 真空特性 219
8.6.5 安全性能 219
8.6.6 气体及冷却水 220
复习思考题 221
9 FP21控制器操作技巧 222
9.1 岛电FP21控制器 222
9.1.1 操作面板显示器 222
9.1.2 操作功能键 224
9.2 参数设置 225
9.2.1 参数设置步骤 225
9.2.2 参数说明 226
9.3 程序编辑 232
9.4 程序运行 235
9.4.1 程序运行方式 235
9.4.2 程序运行干预 237
10 DCP31控制器操作技巧 239
10.1 山武DCP31控制器 239
10.1.1 操作面板显示 239
10.1.2 操作键 241
10.1.3 键盘操作 243
10.2 参数设置 245
10.2.1 参数设置方法 245
10.2.2 参数设置说明 246
10.3 程序编辑 255
10.3.1 程序编辑内容 255
10.3.2 编辑步骤 256
10.3.3 程序的修改、拷贝及清除 257
10.4 程序运行操作 259
10.4.1 运行程序 259
10.4.2 运行干预 259
10.5 故障报警信息 260
参考文献 261