1 传感器与敏感材料 1
1.1 概述 1
1.2 硅材料 1
1.3 化合物半导体材料 6
1.4 压电材料 6
1.5 磁致伸缩材料 12
1.6 形状记忆合金 13
1.7 熔凝石英 14
1.8 光导纤维 15
1.9 弹性合金 15
1.10 纳米材料 16
思考题与习题 17
2 传感器的制造和封装技术&. 18
2.1 概述 18
2.2 硅微加工技术 18
2.3 LIGA技术和SLIGA技术 34
2.4 特种精密加工技术 36
2.5 封装技术 36
思考题与习题 46
3 传感器建模的力学基础 48
3.1 概述 48
3.2 弹性体的应力 49
3.3 弹性体的应变 54
3.4 弹性体的物理方程 78
3.5 弹性体的能量方程 79
思考题与习题 84
4 传感器的建模 86
4.1 弹性圆柱体（杆）的建模 86
4.2 梁的建模 95
4.3 圆平膜片的建模 100
4.4 矩形（方形）平膜片的建模 119
4.5 波纹膜片的建模 132
4.6 E形圆膜片的建模 136
4.7 带有顶盖的圆柱壳的建模 142
4.8 顶端开口圆柱壳的建模 149
4.9 半球壳的建模 153
思考题与习题 165
5 硅电容式集成传感器 168
5.1 概述 168
5.2 硅电容式集成压力传感器 169
5.3 硅电容式集成压力传感器的接口电路 172
5.4 硅电容式加速度传感器 178
5.5 硅电容式角速度传感器 180
思考题与习题 181
6 谐振式传感器 183
6.1 概述 183
6.2 谐振式传感器的基础理论 184
6.3 谐振弦式压力传感器 189
6.4 谐振膜式压力传感器 190
6.5 谐振筒压力传感器 191
6.6 谐振式角速率传感器 199
6.7 谐振式直接质量流量传感器 207
6.8 硅微结构谐振式传感器 214
6.9 硅微结构谐振式传感器开环特性测试仪 220
思考题与习题 223
7 声表面波传感器 225
7.1 概述 225
7.2 表面波的基本理论 226
7.3 声表面波叉指换能器 231
7.4 声表面波谐振器 235
7.5 SAW加速度传感器 237
7.6 SAW压力传感器 239
7.7 SAW气体传感器 242
7.8 SAW流量传感器 244
思考题与习题 246
8 薄膜传感器 247
8.1 概述 247
8.2 几种薄膜传感器 248
思考题与习题 259
9 磁传感器 260
9.1 概述 260
9.2 磁传感器的工作原理 260
9.3 霍尔元件与霍尔传感器 265
9.4 磁阻元件和传感器 270
9.5 硅谐振式磁传感器简介 272
思考题与习题 274
参考文献 275