绪论 1
第一章 光学薄膜基础理论 3
第一节 薄膜干涉的特点 3
第二节 麦克斯韦方程及平面电磁波 6
第三节 电场和磁场的边界条件 11
第四节 菲涅耳公式 13
思考题 16
第二章 光学薄膜特性的理论计算 18
第一节 单一界面上的反射率和透射率 18
第二节 单层介质膜的反射率 21
第三节 多层介质膜的反射率 27
思考题 29
第三章 光学介质膜系统及其应用 31
第一节 减反射膜 31
第二节 高反射膜 37
第三节 分束镜 49
第四节 截止滤光片 54
思考题 65
第四章 薄膜制备技术 66
第一节 真空技术基础 67
第二节 薄膜制备方法 82
第三节 薄膜厚度的均匀性 104
第四节 膜层厚度的监控 109
思考题 113
第五章 薄膜的形成与结构 114
第一节 凝结过程 114
第二节 核的形成与生长过程 117
第三节 薄膜的形成与生长 125
第四节 薄膜的结构与缺陷 128
思考题 133
第六章 薄膜特性的测试 135
第一节 薄膜光学常数的测量 135
第二节 薄膜光学性能的测量 148
第三节 薄膜成分的表征方法 158
第四节 薄膜结构的表征方法 164
第五节 薄膜附着力的测量方法 172
思考题 173
参考文献 175