第1章 气体动力学 1
1.1 概述 1
1.1.1 波义耳定律 3
1.1.2 查尔斯定律（1787年）或盖伊-卢萨克定律（1802年） 3
1.1.3 道尔顿定律（1801年） 3
1.1.4 阿伏伽德罗定律（1811年） 3
1.1.5 阿伏伽德罗常数 3
1.1.6 劳施密特数 4
1.2 数学关系式 4
1.3 问题及解答 7
参考文献 10
第2章 气体的粘滞流导和分子流导 11
2.1 气体流导 11
2.2 粘滞流导 12
2.3 分子流导 14
2.4 在过渡范围内的流导［11］ 18
2.5 综合流导公式 19
2.6 最小理论漏率 20
2.7 讨论 23
2.8 问题和解答 24
参考文献 32
第3章 气体流动 33
3.1 气体流动的一般特点 33
3.2 测量漏率、标准漏率和真实漏率 35
3.3 不同气体的漏率 36
3.4 分压随时间的变化 37
3.5 气体从密封封装内向外的粘滞流动 41
3.6 不同气体的粘滞流动速率 46
3.7 问题和解答 48
参考文献 56
第4章 气体流入密封封装 57
4.1 分子流 57
4.2 粘滞流流入和流出密封封装 61
4.3 气体流动在双向同时发生 64
4.4 问题及解答 71
第5章 密封封装内的水汽 91
5.1 水汽与腐蚀和电路失效的关系 91
5.2 水汽从外部环境中漏入密封封装 96
5.3 封装内释放的水汽 103
5.4 由于封装内化学反应产生的水汽 108
5.5 问题和解答 108
参考文献 131
第6章 理解MIL-STD-883方法1014氦细检漏试验 133
6.1 试验目的 133
6.2 试验基础知识 133
6.3 试验的固定方法 135
6.4 试验的灵活方法 140
6.5 固定方法与灵活方法的比较 143
6.6 粘滞流的影响 144
6.7 测量漏率过于宽松 145
6.8 封装时预充氦气 147
6.9 预充后加压 150
6.10 问题及解答 153
参考文献 166
第7章 用氦质谱检漏仪进行细检漏试验 167
7.1 工作原理 167
7.2 定义 167
7.3 使用标准漏孔校准 168
7.4 测量误差（不包括背景误差） 169
7.5 背景误差 171
7.6 封装外表面的氦气引起的误差 171
7.7 最小可检测漏率（MDL） 173
7.8 在标准漏孔间建立关联性 174
7.9 封装的漏道定位 175
7.10 问题和解答 175
第8章 粗检漏 187
8.1 概述 187
8.2 将液体加压进入封装 187
8.3 氟碳化合物蒸气逸出封装 197
8.4 气泡试验 201
8.5 气体探测试验 201
8.6 增重试验 204
8.7 光学检漏试验 205
8.8 染料渗透试验 213
8.9 残余气体分析中的氟碳化合物 214
8.10 粗漏试验方法的定量比较 218
8.11 问题和解答 219
参考文献 228
第9章 气体对固体的渗透 229
9.1 渗透过程描述 229
9.2 温度对渗透的影响 232
9.3 把渗透率作为漏率对待 234
9.4 水汽进入塑料封装 236
9.5 问题和解答 239
参考文献 243
第10章 残余气体分析（RGA） 245
10.1 试验说明 245
10.2 试验目的 245
10.3 根据RGA数据计算漏率 248
10.4 RGA数据的分析 254
10.5 运用RGA技术对小封装进行质量鉴定 262
10.6 问题及解答 264
参考文献 269
附录A 符号及计量单位转换 271
A.1 符号 271
A.2 单位符号及中文名称 273
A.3 计量单位转换 274
A.3.1 压力（或真空）单位转换 274
A.3.2 漏率单位转换 276
附录B 名词术语中英文对照 279