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《微机电系统设计与制造》PDF下载

  • 购买积分：13 如何计算积分？
  • 作　　者：刘晓明，朱钟淦编著
  • 出 版 社：北京：国防工业出版社
  • 出版年份：2006
  • ISBN：7118041211
  • 页数：371 页
图书介绍：本书是非微电子专业的高年级本科生和研究生用书，介绍微机电系统（MEMS）设计与制造，包括集成电路（IC）基本制造技术、微传感器、微执行器、MEMS的应用及检测技术设计等。

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