第一章 量测系统的特性 1
1.1 量测系统 1
1.2 量测仪表的校准与分度 1
1.3 量测仪表误差的来源 2
1.4 动的量测系统的特性 3
1.5 系统反应 3
1.6 周期与阻尼 5
1.7 灵敏度准确度和精密度 8
1.8 量测系统磁带现象 9
1.9 电子的方法和机械的量测 10
1.10 电子量测系统的要素 10
1.11 电子控制 11
1.12 电气的仪表配置应用上的注意事项 12
1.13 量测的基本标准 14
2.3 光的干涉 19
2.2 单色光 19
2.1 白光 19
第二章 干涉学 19
2.4 平坦度的检验 21
2.5 外形的检验 23
2.6 光的干涉 25
2.7 平坦度的干涉仪 25
2.8 N.P.L．型长度的量测 29
2.9 绝对长度的量测 30
第三章 表面光制的评估 36
3.1 表面纹理 37
3.2 用於表面光制的参数 37
3.3 Ra值的公差 42
3.4 仪器与使用技巧 47
3.5 量测行程长和试样长 50
3.6 机碱的粗度仪器 53
3.7 干涉光的显微镜 56
3.8 表面复制品 57