《微电子机械系统》PDF下载

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作　　者：姜岩峰编著
出版社：北京：化学工业出版社
出版年份：2006
ISBN：7502581588
页数：194 页

图书介绍：本书介绍了微电子机械系统的基础知识、主要工艺和器件结构等。

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