第一章 无机质谱分析方法发展的历史背景 1
第一节 质谱仪器 1
一、分析器 1
二、离子源 4
第二节 分析方法 9
一、火花源质谱法 10
二、辉光放电质谱法 11
三、二次离子质谱法 12
四、电感耦合等离子体质谱法 14
五、同位素稀释质谱法 16
六、激光电离质谱法 17
七、共振电离质谱法 18
八、加速器质谱法 19
参考文献 19
第二章 辉光放电质谱法 22
第一节 引言 22
第二节 辉光放电基本原理 23
一、辉光放电 23
二、辉光放电的溅射和电离 24
三、辉光放电质谱 26
一、离子源 29
第三节 仪器 29
二、质量分析器 32
三、检测系统 34
第四节 辉光放电质谱分析及特点 35
一、样品制备与预处理 35
二、分析参数的选择与分析过程 36
三、半定量和定量分析 37
四、分析特点和性能比较 40
一、金属及半导体材料分析 42
第五节 应用 42
二、非导体材料分析 47
三、深度分析 49
参考文献 52
第三章 二次离子质谱法 54
第一节 引言 54
第二节 一次离子束 64
一、一次离子源 64
二、一次离子束光路 67
一、溅射产额 72
第三节 入射离子与样品的相互作用（二次离子发射机理） 72
二、二次离子产额 80
第四节 质谱仪与离子检测系统 84
一、质谱仪 84
二、离子信号检测系统 87
第五节 二次离子质谱仪 90
一、二次离子质谱仪的分类 90
二、IMS-6F型二次离子质谱仪 93
第六节 二次离子质谱法的功能 95
一、深度剖析 95
三、样品 95
二、绝缘样品的分析 108
三、质谱分析——质量扫描 109
四、线扫描，二次离子质谱的横向线分析 110
五、微区分析 110
六、三维分析 112
第七节 二次离子质谱法的定量分析 112
第八节 二次离子质谱法的应用 118
一、质谱分析——大分子有机物的鉴别 118
二、深度剖析——IC工艺的探索 120
三、线扫描分析——金属中杂质氢的检测 121
四、同位素分析——核燃料235U是否给周围环境带来放射性污染的检测 122
五、二次离子图像分析——马口铁组分的三维分布 124
六、绝缘样品的分析——杂质在SOI材料中的分布 124
七、高深度分辨率分析——IC工艺的浅结剖析 125
八、硅中痕量硼二次离子质谱定量分析的异常现象 126
参考文献 128
第四章 激光微探针质谱法 130
第一节 引言 130
一、激光辐射 132
第二节 激光束 132
二、谐振腔 133
三、调Q（Q开关）技术 134
四、电光调制Q 135
五、激光的聚焦 136
六、激光的倍频 137
第三节 激光与固体的相互作用 138
一、激光等离子体屏蔽概念 139
二、有机物和无机物的激光解析 140
第四节 仪器 141
第五节 激光微探针质谱法的应用 146
一、半导体器件表面及体内杂质的鉴定 147
二、各种材料微区沾污物的分析 149
三、在生物、医学领域的应用 151
参考文献 152
第五章 加速器质谱分析 153
第一节 加速器质谱分析原理 153
第二节 加速器质谱装置 155
一、离子源与注入器 155
四、粒子探测器 156
三、高能分析器 156
二、加速器 156
五、其他加速器的AMS装置 159
第三节 加速器质谱测量过程与定量方法 159
一、测量过程 159
二、定量方法 160
三、测量实例 160
第四节 应用研究 162
参考文献 164
第一节 概论 165
第六章 同位素稀释质谱法 165
第二节 同位素稀释质谱法原理 168
一、同位素稀释技术 168
二、最佳稀释比 170
三、方法的灵敏度 172
四、精密度、准确度和不确定度 173
五、方法的极限 189
第三节 实验方法 192
一、实验程序 192
二、稀释剂的选择 193
三、混合样品的制备 197
四、样品前处理 198
五、测量方法 204
第四节 方法特点 235
一、具有绝对测量性质 235
二、化学制样无需严格定量分离 236
三、灵敏度 236
第五节 测量值的缩源性 238
一、化学测量量值溯源的意义 238
四、精密度和不确定度 238
五、动态范围 238
二、化学测量的特殊性 239
三、探索实现化学测量量值溯源的途径 240
四、实现化学测量溯源的组织保障 242
五、同位素稀释质谱测量值的溯源 244
第六节 制约测量值不确定度的主要因素 244
一、稀释剂的选择和混合样品的制备 244
二、混合样品的最佳稀释比 245
四、实验过程的流程空白值 246
三、混合样品的均匀性 246
参考文献 255
第七章 同位素稀释质谱法的应用 257
第一节 在核科学中的应用 257
一、核燃料元素的准确测定 257
二、核燃料、核材料中敏感元素的测定 258
三、核反应堆辐照元件燃耗测定 260
四、裂变产额测定中的裂变数测量 262
五、裂变产额的测量 263
第二节 在地学中的应用 264
六、测量技术 264
一、在同位素地质年代学中的应用 265
二、在同位素地球化学中的应用 270
第三节 在环境科学中的应用 272
一、大气成分分析 272
二、水成分分析 273
三、其他环境样品分析 276
第四节 在生命科学中的应用 278
一、生物样品痕量元素测定 278
二、稳定同位素示踪中的应用 280
第五节 高纯物质分析 285
第六节 在化学计量中的应用 286
一、基、标准物质研制过程中的定值 287
二、在化学量值溯源性研究中的应用 290
参考文献 293
附录 296
Ⅰ 国际同位素与原子量委员会2005年公布的元素原子量 296
Ⅱ 原子质量表 299
Ⅲ 元素同位素组成（2001年） 305
Ⅳ 质量干扰 313
Ⅴ 天然同位素及同量异位素（近似值） 316
符号表 321