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200A可控硅整流元件（平板型）工艺 1
一、硅单晶材料要求 1
二、工艺要求及管芯主要尺寸 2
三、杂质源硅镓粉的配制 2
四、阴极（金—锑—砷—铋合金）片的制作 3
五、石英管及硅片的清洁处理、封管、扩散 4
六、合金烧结 6
七、管芯磨边、腐蚀、保护、测量 7
八、封装 8