（一）真空概念 1
（二）真空度及测量单位 1
目录 1
第一章 真空基础 1
一、真空概念和测量单位 1
三、大气 3
二、真空区域划分 3
四、真空技术术语（GB/T3163—93） 5
（一）真空泵 43
五、真空技术系统图用图形符号（GB/T3164—93） 43
（二）真空阀门 44
（三）挡板 45
（六）真空管路及其连接 46
（五）除尘、过滤器 46
（四）阱 46
（七）压力测量仪表 47
（九）符号应用示例 48
（八）真空容器 48
（一）理想气体 49
六、理想气体的基本定律及状态方程 49
（三）理想气体的基本定律及状态方程 50
（二）气体分子运动论的基本假设 50
（四）蒸气 51
（二）理想气体的质量 52
（一）理想气体的压力 52
七、理想气体的压力、质量和密度 52
（一）麦克斯韦速度分布定律 54
八、气体分子热运动速度 54
（三）理想气体的密度 54
（五）气体中的声速 55
（四）均方根速度vs 55
（二）最可几速度vm 55
（三）算术平均速度v 55
（一）气体分子间的碰撞 56
九、气体分子碰撞次数 56
（二）气体分子与容器壁碰撞 57
（三）蒸发、凝结与饱和蒸气压 58
（一）单一气体分子的平均自由程 59
十、气体分子的平均自由程 59
（三）多种气体混合时的平均自由程 60
（二）两种气体混合时的平均自由程 60
（六）平均自由程与温度的关系 61
（五）在气体中运动的离子的平均自由程 61
（四）在气体中运动的电子的平均自由程 61
（一）平衡态与非平衡态及非平衡态下的输运过程 62
十一、常压下气体的迁移过程 62
（七）分子自由程的分布规律 62
（三）气体的内摩擦（粘滞性） 63
（二）迁移方程 63
（四）气体的热传导 64
（五）气体的扩散 65
（一）中压下的滑动现象 73
十二、中、低压下气体的迁移过程 73
（三）低压下的热流逸现象 75
（二）低压下气体的外摩擦（自由分子的粘滞性） 75
（四）中压下的温度剧增（温度跃变）现象 76
（五）低压下气体的自由分子热传导 77
（二）吸附的基本概念 78
（一）固体与气体的相互作用 78
十三、吸附 78
（三）吸附的平衡状态——吸附等温线 79
（四）吸附的非平衡状态——吸附和解吸速率 84
（一）气体的电离 88
十四、低压下的气体放电现象 88
（二）气体放电 90
（三）辉光放电 93
（四）弧光放电 94
（七）高频放电 95
（六）电晕放电 95
（五）火花放电 95
（八）潘宁放电 96
二、流量单位 98
一、气体流量、流阻、流导的基本公式 98
第二章 管道流导计算 98
三、应用列线图和曲线计算管道串联时的流导和泵的有效抽速 99
（二）粘滞流 100
（一）湍流 100
四、气体沿管道的流动状态 100
（五）湍流与粘滞流的判别 101
（四）粘滞—分子流 101
（三）分子流 101
五、粘滞流时孔的流导 102
（六）粘滞流、粘滞—分子流和分子流的判别 102
（一）圆孔 103
六、分子流时孔的流导 103
（二）矩形薄壁窄缝 104
（四）缩孔 105
（三）管道中隔板上的小孔 105
（二）矩形及正方形圆截面短管 106
（一）圆截面长管 106
七、粘滞流时管道的流导 106
（三）截面管道 108
（五）偏心圆环 109
（四）环形截面管道 109
（七）径向辐射流结构流导 110
（六）椭圆形截面管道 110
（八）各种气体的流导关系 111
（二）圆截面短管 112
（一）圆截面长管 112
八、分子流时管道的流导 112
（三）环形截面管道 114
（五）锥形管道 115
（四）椭圆形截面管道 115
（七）矩形管道 116
（六）扁缝形管道 116
（九）变截面及匀截面管道 117
（八）等边三角形截面管道 117
（十一）径向辐射流结构的流导 118
（十）弯管 118
（十二）各种气体的管道流导关系 119
九、分子流、粘滞流时对20℃空气，孔和管道的流导汇总表 120
（一）圆截面管道 122
十、粘滞—分子流时管道的流导 122
十一、以克劳辛系数计算管道流导 123
（二）矩形截面管道 123
十二、挡板的流导 124
十三、用传输概率计算流导 126
（一）两截面相同的管道串联 130
十四、分子流下复杂管路的流导和传输概率 130
（四）两管道中间有小孔时管路传输概率 131
（三）管道与小孔组合后的传输概率 131
（二）两截面相同的管道中间连接一个大容器 131
（五）两个截面不同的管道串联后的传输概率 132
（一）真空泵型号组成 133
一、真空泵型号编制方法 133
第三章 机械真空泵 133
（一）概述 134
二、往复式真空泵 134
（二）真空泵型号示例 134
（三）型式与基本参数（摘自JB/T 7675—95） 135
（二）结构原理 135
（四）国产往复真空泵的技术性能、外形及安装尺寸 136
（五）WL系列立式节能往复真空泵 140
（二）工作原理 145
（一）概述 145
三、液环式真空泵 145
（三）型式与基本参数（摘自JB/T 7255—94） 146
（四）国产水环式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 148
（二）工作原理 171
（一）概述 171
四、水环—大气喷射真空泵组 171
（三）国产水环—大气喷射真空泵组技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 172
（二）工作原理 176
（一）概述 176
五、油封式旋转机械真空泵 176
（三）油封式旋转机械真空泵行业标准 178
（四）国产2X型旋片式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 181
（五）国产XD、X系列单级旋片式真空泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 192
（六）国产直联旋片式真空泵的技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 196
（七）国产2H型滑阀式真空泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 205
（一）概述 222
六、罗茨式真空泵 222
（三）ZJ型罗茨真空泵的型式和基本参数（摘自ZB/T 7674—95） 223
（二）工作原理 223
（四）国产罗茨泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 224
（一）概述 245
七、涡轮分子泵 245
（三）立式涡轮分子泵行业标准（摘自JB/T 9125—99） 246
（二）涡轮分子泵结构原理 246
（四）国产F型立式涡轮分子泵技术性能、特性曲线、外形及安装尺寸 249
八、干式真空泵 257
（一）概述 257
（二）干式旋片真空泵 259
（三）爪式真空泵 260
（四）涡旋式真空泵 265
（五）螺杆式真空泵 267
九、机械真空泵性能测试标准 268
（一）容积真空泵性能测试方法（摘自JB/T 7266—94） 268
（二）容积真空泵噪声测量方法（摘自JB/T 8106—99） 273
（三）旋片式真空泵性能测试方法（摘自JB/T 6533—97） 278
（四）滑阀式真空泵性能测试方法（摘自JB/T 1246—97） 281
（五）涡轮分子泵性能测试方法（摘自GB7774—87） 287
（六）罗茨真空泵性能测试方法（摘自JB/T 7674—95） 290
（七）往复真空泵性能测试方法（摘自JB/T 7675—95） 292
二、水蒸气喷射真空泵 297
（一）应用范围 297
（二）结构简述 297
一、概述 297
第四章 蒸气流真空泵 297
（三）工作原理 298
（四）水蒸气喷射泵真空的几个重要参数 300
（五）水蒸气喷射真空泵设计要点 301
（六）水蒸气喷射真空泵型式及基本参数（摘自JB/T8540—97） 309
（七）国产水蒸气喷射真空泵技术性能 310
（一）概述 325
（二）结构原理 325
三、油扩散喷射真空泵 325
（三）油扩散喷射真空泵的抽气特性 326
（四）油扩散喷射真空泵的设计计算 328
（五）国产Z型系列油扩散喷射真空泵主要技术性能、特性曲线及外形尺寸 332
四、油扩散真空泵 340
（一）概述 340
（二）结构原理 341
（三）影响油扩散泵性能的因素 341
（四）提高油扩散泵极限真空的方法 342
（五）用油扩散泵获得超高真空的方法 343
（六）金属油扩散泵的设计 344
（七）蒸气流真空泵行业标准（摘自JB/T 7265—2003） 350
（八）国产K、KT型系列高真空油扩散泵主要技术性能、特性曲线及外形连接尺寸 353
（九）蒸气流真空泵性能测试方法（摘自JB/T8272.1—96） 381
一、钛泵 391
（一）概述 391
第五章 气体捕集真空泵 391
（二）升华钛泵和蒸发钛泵 392
（三）弹道式钛泵 398
（四）溅射离子泵 400
二、低温泵 414
（一）概述 414
（二）低温泵的分类 415
（三）低温泵的抽速 416
（四）低温泵的极限压力 420
（五）低温泵的热负荷 421
（六）低温泵的启动时间 423
（七）低温泵的工作时间 423
（八）深冷霜吸气现象 424
（九）小型制冷机低温泵 425
三、低温容器 432
（一）概述 432
（二）低温容器的热流量计算 433
（三）液氮生物容器（摘自GB 5458—85） 438
（四）自增压式液氮容器（摘自ZBB 42004—87） 440
（五）国产低温容器的技术性能 440
四、分子筛吸附泵 442
（一）概述 442
（二）分子筛吸附泵的结构 445
（三）分子筛吸附泵的计算 446
（四）影响分子筛吸附泵性能的因素 447
（五）分子筛在温度20K以下工作时的吸附性能 449
（六）分子筛用作干燥剂的性能 450
五、锆铝吸气泵 451
（一）概述 451
（七）国产分子筛吸附泵主要技术参数 451
（二）锆铝吸气剂泵结构及抽气原理 452
（三）锆铝吸气带的工作特性 454
（四）锆铝吸气泵性能参数的选择 456
二、静密封 459
一、概述 459
（一）橡胶密封 459
第六章 真空密封 459
（二）氟塑料密封 478
（三）金属密封 480
（四）真空法兰、真空规管接头 486
三、动密封 531
（一）动密封型式 531
（二）真空动密封型式及尺寸 533
（三）金属波纹管密封 547
（四）液态金属密封 556
（五）磁力传动密封 557
（六）磁流体密封 562
第七章 真空元件 589
一、真空阀门 589
（一）概述 589
（二）真空阀门的一般结构原理 589
（三）真空阀门的型号编制、型式及基本参数 590
（四）国产真空阀门型式、性能参数 599
（二）挡板 648
二、挡油帽、挡板和冷阱 648
（一）挡油帽 648
（三）阱 654
三、观察窗、电极引入 665
（一）观察窗 665
（二）电极引入 668
（一）概述 676
一、真空室 676
（二）真空室的门 676
第八章 真空室设计 676
（三）真空室的水冷 678
（三）壁厚的附加量 679
（二）设计压力 679
（四）容器的最小壁厚 679
（五）许用应力 679
（一）薄壳 679
二、真空室强度计算的一般知识 679
（六）焊缝系数 680
（七）开孔削弱系数 681
（八）压力试验 681
三、真空室壳体设计 682
（一）圆筒形壳体 682
（二）球形壳体 685
（三）锥形壳体 685
（四）盒形壳体 686
（五）椭圆球形壳体 691
（六）环形壳体 692
四、国家标准（GB150—98）中外压圆筒和球壳壁厚计算公式 694
（一）外压圆筒和外压管子 694
（二）外压球壳 695
（一）概述 705
（二）图表法计算加强圈 705
五、圆筒体加强圈的设计 705
六、封头强度计算 706
（一）外压球形封头 706
（二）外压凸形封头 707
（三）锥形封头 708
（四）平盖 708
（五）与圆筒体连结的加强球盖 712
（六）井字加强圆形球盖 714
七、封头标准 715
（一）钢制压力容器用封头标准（摘自JB/T4746—2002） 715
（二）封头内表面积、容积及质量 721
（三）封头内表面积、容积及质量计算 750
（一）概述 753
（二）封头开孔补强 753
八、开孔加强设计 753
（四）内压圆筒体开孔补强 755
（五）开孔补强计算 755
（三）外压容器的开孔补强 755
（六）并联开孔的补强 756
（七）补强方法 756
（八）补强图标准（摘自JB/T 4736—2002）…………………九、法兰及管道设计 761
（一）螺栓计算 761
（二）内压法兰计算 764
（三）外压法兰计算 766
（四）管道壁厚计算 767
第九章 真空系统设计 769
一、真空系统设计中的主要参数 769
（一）真空室的极限压力 769
（二）真空室的工作压力 770
（三）真空室抽气口处泵的有效抽速 771
二、抽气时间计算 773
（一）粗真空、低真空下抽气时间计算 773
（二）高真空下抽气时间计算 776
（三）真空室压力下降至初始压力的？、？和？时的抽气时间 778
三、出气对真空系统的影响 778
（一）局部出气时对稳定过程或瞬变过程计算的影响 778
（二）均匀出气条件下，细长真空室内压力分布 779
四、选泵及配泵 780
（一）主泵选择及抽速计算 780
（二）前级泵的配置及抽速确定 781
（三）粗抽泵抽速确定 782
（一）确定真空室中保持1.3×10-3Pa的工作压力所需要的真空系统的有效抽速S 783
（二）根据要求的工作压力及使用要求，选油扩散泵作为主泵 783
五、计算实例 783
（三）计算扩散泵与真空室排气口间管路的流导，验证选K-600型扩散泵是否合适 784
（四）计算前级真空管路流导 785
（五）计算抽气时间 785
（一）超高真空与高真空系统设计 786
（二）材料选择 786
六、超高真空系统设计 786
（三）表面化学清洗及烘烤 787
（四）抽气技术 787
（五）超高真空装置实例 789
七、真空机组 792
（一）低真空抽气机组 792
（二）高真空抽气机组 795
（三）超高真空抽气机组 796
（一）概述 797
（二）罗茨真空泵机组标准（JB/T 6921—93）摘选 797
八、罗茨真空泵机组 797
（三）国产罗茨真空泵机组技术性能、曲线、外形尺寸 801
九、扩散泵真空机组 818
（一）概述 818
（二）国产扩散泵真空机组外形尺寸与基本参数 819
一、真空镀膜 834
（一）概述 834
第十章 真空装置 834
（二）真空蒸发镀膜 835
（三）蒸发卷绕式镀膜机 845
（四）真空溅射镀膜 847
（五）离子镀膜 856
（六）化学气相沉积（CVD）制作薄膜 865
（七）各种化合物薄膜及形成方法 875
（八）真空镀膜设备国家标准 879
（九）国产真空镀膜设备概况 885
（一）概述 896
（二）独立束源快速换片型分子束外延设备 896
二、分子束外延设备 896
（三）对真空的要求 897
（四）清洁的超高真空抽气系统 897
（五）几个重要部件的真空问题 898
三、离子束刻蚀技术 899
（一）概述 899
（二）工作原理 900
（三）技术性能 901
（四）结构特点 901
（五）离子源及真空系统设计要点 906
（六）电源和控制系统设计要点 910
（七）离子束刻蚀工艺 912
（八）国内外离子束刻蚀机概况 915
（一）概述 918
（二）热真空模拟试验设备 918
四、空间环境模拟设备 918
（三）亚暴环境模拟设备 930
（四）X射线望远镜空间环境模拟检测装置 933
（五）空间辐射制冷器用小型环境模拟设备 935
（六）空间辐射环境模拟设备 936
（七）涂层材料综合环境模拟设备 936
（八）冷焊模拟设备 938
（九）轴承真空试验设备 938
（十）超高真空防冷焊评价试验设备 939
（十一）宇航员训练试验设备 941
（十二）固体火箭发动机点火模拟设备 943
（十三）激光点火模拟设备 943
（十四）火箭发动机高空试车台 944
（十五）姿态调整火箭高空试车台 946
（一）概述 947
（二）真空电阻炉 947
五、真空冶金炉 947
（三）真空电子束炉 956
（四）真空电弧炉 960
（五）真空感应炉 965
（六）真空炉产品 973
（一）概述 974
（二）钢液真空脱气及排除夹杂原理 974
六、钢液真空脱气处理 974
（三）钢液真空处理方法 975
（四）钢液处理设备设计 978
七、真空热处理炉 984
（一）概述 984
（二）真空退火 985
（三）真空淬火 987
（四）伊普森真空热处理炉 990
（五）HBV-200型高压真空气淬炉 991
八、辉光离子氮化 993
（一）概述 993
（六）真空渗碳炉 993
（二）工作原理 994
（三）辉光离子氮化炉 994
（四）D30型辉光离子氮化炉 996
九、真空钎焊 997
（一）概述 997
（二）真空钎焊原理 998
（三）真空钎焊设备 1000
（四）真空铝钎焊设备 1003
十、真空电子束焊 1004
（一）概述 1004
（二）电子束焊原理 1005
（三）电子束焊设备 1007
（四）低真空电子束焊机的真空系统 1009
十一、真空冷冻升华干燥 1010
（一）概述 1010
（二）冷冻升华干燥原理 1011
（三）食品冷干设备 1012
（四）真空冷冻升华干燥工艺 1013
（五）食品冻干机与医药冻干机设计差异 1023
（一）概述 1026
（二）真空预冷保鲜 1026
十二、果蔬食品的真空保鲜 1026
（三）真空包装保鲜食品 1031
（四）真空气体置换保鲜 1035
（五）真空包装材料 1038
（二）台式真空包装机 1042
（一）概述 1042
十三、真空包装机 1042
（三）单室真空包装机 1044
（四）双室真空包装机 1045
（五）输送带式真空包装机 1047
（六）热成型真空包装机 1049
（七）吸管式真空充气包装机 1051
（八）膨松柔软物品缩体包装机 1052
（二）真空气相干燥原理 1053
（一）概述 1053
十四、真空气相干燥 1053
（三）VPD设备原理及组成 1054
（四）主要工艺 1055
（五）热利用及煤油净化系统 1056
（二）浸渍主要工序 1057
（一）基本要素 1057
十五、真空浸渍 1057
（三）浸渍工作压力与真空系统 1059
（四）浸渍装置 1060
（一）概述 1062
十六、真空蒸馏 1062
（二）真空蒸馏装置 1063
（三）分子蒸馏装置 1065
（一）真空吊车 1068
十七、真空输送 1068
（二）物料的真空吸送 1070
（三）混凝土真空吸水软吸盘 1072
（二）真空过滤机 1075
（一）概述 1075
十八、真空过滤 1075
（三）6MeV串列加速器真空系统 1080
（二）高压加速器真空系统 1080
十九、加速器真空系统 1080
（一）概述 1080
（四）高能同步加速器 1083
（五）回旋加速器真空系统 1086
（二）受控核聚变装置真空环境特点 1088
（一）概述 1088
二十、受控核聚变装置 1088
（三）真空室 1089
（五）HL-2A托卡马克真空系统及烘烤 1090
（四）托卡马克装置 1090
（六）HT-7超导托卡马克第一壁He辉光硼化 1093
（二）真空在核电燃料生产中的应用 1094
（一）概述 1094
二十一、真空在核电工程中的应用 1094
（三）真空在核电设备制造中的应用 1095
（四）真空在核电站运行中的应用 1096
（二）纳米半导体薄膜制备 1098
（一）概述 1098
二十二、真空环境制备纳米材料 1098
（四）纳米颗粒铜薄膜制备 1099
（三）制备银纳米颗粒与薄膜 1099
（五）真空冷冻干燥方法制备纳米粉 1100
（一）概述 1103
二十三、真空装置自动控制 1103
（二）自动控制元件及装置 1107
（三）真空装置自动控制系统 1112
（一）液压式真空规 1122
二、真空规 1122
第十一章 真空度测量与真空规校准 1122
一、概述 1122
（二）弹性变形真空规 1128
（三）热传导真空规 1130
（四）辐射计型真空规 1136
（五）粘滞性真空规 1138
（六）电离真空规 1142
（七）极高真空测量 1151
（一）概述 1160
三、真空规校准 1160
（三）膨胀式校准系统 1162
（二）绝对真空规比对校准系统 1162
（四）动态流量法校准系统 1164
（五）趋势 1168
（一）概述 1169
四、真空测量技术 1169
（二）气体种类与真空规 1170
（三）作为“气沉”和“气源”的测量系统 1171
（四）非均匀环境下的真空测量 1174
（五）特殊条件下的真空测量 1175
（六）测量值的评价和误差 1176
（七）选择、安装、规程 1181
（八）附表 1182
（一）真空分析质谱计的主要应用范围 1191
一、概述 1191
第十二章 真空系统的气体分析与分压测量 1191
（三）可用于真空分析的质谱计 1192
（二）对真空分析质谱计的一般要求 1192
二、真空质谱计的离子源 1193
（二）传统碰撞源的改进形式 1194
（一）传统电子碰撞式离子源 1194
（三）磁控管型冷阴极离子源 1195
（四）无磁场放电型离子源 1196
（五）电子振荡型离子源 1197
（六）脉冲电子碰撞源 1198
（七）离子贮存式电子碰撞源 1199
（一）回旋质谱计 1200
三、不同质量分离原理的质谱计 1200
（二）离子回旋共振质谱计 1202
（三）磁偏转质谱计 1203
（四）摆线质谱计 1205
（五）飞行时间质谱计 1207
（六）射频质谱计 1210
（七）线振质谱计（静电质谱计） 1212
（九）单极质谱计 1214
（八）四极质谱计 1214
（十）三维四极离子阱 1215
（一）电测法离子检测器的分类 1216
四、真空质谱计的离子检测器 1216
（三）电子倍增器 1217
（二）法拉第筒 1217
（一）基本原理 1222
五、四极质谱计 1222
（三）仪器基本参数之间的关系 1225
（二）稳定图与质量扫描线 1225
（四）仪器工作模式及质谱扫描 1226
（五）四极质谱计特性 1227
（六）四极质谱计基本参数设计 1230
（七）主要技术指标测试方法 1231
（八）真空系统离子的判别和残余气体分析 1234
（九）仪器进展概况 1235
（一）常用术语 1236
六、常用术语和真空质谱计的主要技术指标 1236
（二）真空质谱计的主要技术指标 1239
七、附表 1240
（二）最大允许漏率 1250
（一）真空系统中漏气、虚漏与抽气之间的平衡 1250
第十三章 真空检漏技术和仪器 1250
一、概述 1250
（一）漏孔 1251
二、漏孔、漏率及标准漏孔 1251
（三）真空检漏的目的 1251
（三）标准漏孔及其校准 1254
（二）漏率及漏率单位 1254
（一）检漏方法的分类 1260
三、检漏方法和仪器 1260
（二）气泡检漏法 1262
（四）真空规检漏法 1265
（三）放电管法与高频火花检漏器 1265
（五）氢一钯法 1271
（七）离子泵检漏器 1272
（六）静态升压法 1272
（八）卤素检漏仪 1274
（九）氨气检漏法 1276
（十一）其它检漏法 1279
（十）氦质谱检漏仪 1279
四、氦质谱检漏仪 1280
（一）质谱仪器与检漏技术 1280
（二）氦质谱检漏仪的基本原理与组成 1281
（三）氦质谱检漏仪的主要参数 1281
（四）高灵敏度氦质谱检漏仪 1285
（五）返流氦质谱检漏仪 1286
（六）国产氦质谱检漏仪 1287
五、如何选择检漏仪器、检漏方法和示漏物质 1294
（一）选择检漏仪器和方法应注意的几个问题 1294
（二）示漏物质的选择及使用中应注意的事项 1296
（三）选择检漏方法和示漏物质时还要考虑的安全因素 1297
六、氦质谱检漏技术 1298
（一）检漏的物理过程及有关公式 1298
（二）辅助真空系统 1303
（四）压力检漏法 1304
（五）检漏盒法 1304
（三）氦罩法检漏 1304
（六）背压法检漏 1305
（七）喷吹法 1306
（八）吸入法检漏 1308
（十）累积法检漏 1310
（十一）用选择性抽气方法提高检漏灵敏度 1310
（九）检漏台 1310
七、检漏的实践 1311
（一）在真空工作的各个阶段都要考虑检漏工作 1311
（十二）各种氦质谱检漏方法的应用 1311
（二）检漏工作人员与检漏实验室（车间） 1313
（三）如何进行检漏 1313
（一）概述 1315
一、材料的真空性能 1315
（二）扩散、溶解、渗透 1315
第十四章 真空技术常用材料 1315
（三）出气 1330
（四）蒸气压、蒸发、蒸发（升华）速率 1372
二、真空材料 1392
（一）壳体材料 1392
（二）焊接、连接和封接材料 1399
（三）泵工作物质 1407
（四）真空规、质谱计用材 1417
（五）高温真空装置用材 1421
三、航天器用材料质量损失性能 1428
（一）空间环境和航天器的相互作用 1428
（二）航天器用材料出气筛选的主要指标 1429
（三）航天器用材料出气筛选的试验方法标准及材料出气筛选的取舍判据 1430
（四）航天器用材料出气筛选的异位测试 1430
（五）航天器用材料出气筛选的原位测试 1438
（六）航天器用润滑油（硅油）饱和蒸气压 1457
（七）原子氧对航天器用材作用的效应 1458
二、真空技术中的清洁处理 1464
一、概述 1464
（一）概述 1464
第十五章 真空技术常用工艺 1464
（二）污染物的几种类型 1465
（三）污染的形成及其影响 1465
（四）真空对环境的要求 1466
（五）真空环境的有关标准 1468
（六）真空装置常见污染及其防治 1474
（七）表面处理的基本方法 1478
（八）清洗实例 1481
三、真空设备制造中常用的几种永久性连接方法 1484
（一）氩弧焊 1484
（二）钎焊 1488
（三）电子束焊 1496
（四）其它焊接方法 1499
四、玻璃、陶瓷工艺 1502
（一）金属—陶瓷封接 1502
（二）玻璃—金属封接 1513
（三）玻璃的熔接和切割工艺 1520
五、真空排气工艺 1520
（一）概述 1521
（二）低温容器抽气时存在的主要问题 1521
（三）通常采用的排气工艺 1523
（四）气体热冲洗和间断排气新工艺 1524
（五）低温容器的抽气时间 1526
（六）吸附剂活化处理 1527
第十六章 极高真空技术及其应用 1528
一、概述 1528
二、限制极限压力的因素 1529
（一）容器内原有的气体 1530
（二）漏气 1531
（三）放气 1531
（四）渗漏 1537
（五）返流 1540
三、获得极高真空的方法 1541
四、获得极高真空的技术 1545
（一）油扩散泵系统获得极高真空的质谱分析 1545
（二）贮槽式液氦冷凝泵的设计及性能测试 1550
（三）钛钼和钛锆丝蒸发参数和吸气性能的测定 1557
（四）极高真空设备中的冷漏现象及其消除方法 1565
五、用分子沉技术获得10-11Pa极高真空 1569
（二）压力的测量 1569
（一）极高真空装置真空系统的结构及特点 1570
（三）系统运转程序 1570
（四）实验结果 1571
六、极高真空技术的应用 1571
一、真空设计常用数据 1573
（一）基本物理常数 1573
附录 1573
（二）数表（N=0.01～100） 1574
（三）常用量和单位 1579
（四）单位的换算 1585
（五）常用气体的物理性质 1588
（六）物质的蒸气压 1594
（七）液化气体的种类和性质 1596
（八）气体在低温下的性质 1597
（九）活性炭、沸石、氧化硅、氧化铝对气体的吸附 1598
（十）某些材料的吸附热 1600
（十一）各种气体的附着系数 1601
（十二）气体的脱附活化能 1601
（十三）真空绝热材料的热导率 1602
（十四）各种气体与蒸气的爆炸范围和自燃点 1603
（十五）主要溶剂的某些性质 1603
（十六）真空技术中使用的有害物质 1605
（十七）无机物和有机物的特性 1607
（十八）高熔点氧化物陶瓷的性能 1610
（十九）高氧化铝陶瓷的性质 1612
（二十）高熔点材料在2000K时的性质 1613
（二十一）液体金属的一些性质 1614
（二十二）高温下金属的机械性能 1616
（二十三）高温下纯金属的物理性质 1617
（二十四）真空中加热电流、电压与钨丝直径的关系 1619
（二十五）热阴极材料的热电子发射电流密度 1620
（二十六）可伐的物理特性 1622
（二十七）主要的薄膜制造方法 1623
（二十八）常用蒸镀物质的性能 1634
（二十九）薄膜制作技术在电子产品上的应用 1634
（三十）材料的摩擦因数 1635
（三十一）镀铜、镍、金零件的烧氢温度 1637
（三十二）表面分析装置的名称、代号及原理 1638
（三十三）表面分析装置的性能和特点 1640
（三十四）蒸汽流泵对不同种类气体的理论抽速 1642
二、我国现有的真空标准 1642
三、主要真空研究单位及生产厂家简介 1646
参考文献 1666