目录 1
1序论 1
2研制感光性高分子的历史 7
2.1照相制版术的发明 7
2.2光致抗蚀剂的历史 11
2.2.1光刻和光致抗蚀剂 11
2.2.2重铬酸系抗蚀剂 13
2.2.3有机光化学和光致抗蚀剂 14
2.3供光致抗蚀剂用的感光性高分子的研制历史 19
2.3.1聚乙烯醇肉桂酸酯系抗蚀剂 19
2.3.2双叠氮－橡胶系抗蚀剂 20
2.3.3二叠氮萘醌系抗蚀剂 20
2.3.4光聚合系抗蚀剂 21
2.4研制感光性树脂凸版的历史 22
参考文献 25
3有机光化学反应基础 27
3.1光化学反应的概念 27
3.2光的特性 28
3.2.1光能 29
3.2.2光的吸收 30
3.2.3在聚合物膜中的光吸收 31
3.3量子效率 32
3.4电子跃迁和激发态 32
3.5 n-π*跃迁和π-π*跃迁 37
3.6电荷转移跃迁 38
3.7发射光谱 40
3.8光化学反应 42
3.9 Stern-Volmer作图 45
参考文献 50
4感光性高分子的功能和分类 51
4.1照相方面的功能 51
4.1.1特性曲线 52
4.1.2感度 54
4.1.3分光感度 60
4.1.4分辨力 66
4.1.5显影性 69
4.1.6耐用性 70
4.1.7影响照相功能的因素 71
4.1.8易剥膜性 74
4.2光固化功能 75
4.2.1光反应的种类和固化 75
4.2.2光源和光强以及波长 76
4.2.3热固化和光固化的比较 81
4.3光降解（老化）功能 83
4.4其它的功能 85
4.4.1光反应的催化性 85
4.4.2光导电性 87
4.4.3光致发光性 88
4.4.4光致变色性 89
4.5感光性高分子的分类 91
参考文献 93
5感光性化合物＋高分子型 96
5.1重铬酸盐类 96
5.1.1重铬酸盐的光反应 96
5.1.2重铬酸盐系感光性高分子 100
5.2芳香族重氮化合物 104
5.2.1芳香族重氮化合物的光反应 104
5.2.2使用重氮化合物的感光性高分子 118
5.3芳香族叠氮化合物 131
5.3.1芳香族叠氮化合物的光反应 131
5.3.2芳香族亚氮化合物的反应 138
5.3.3使用芳香族叠氮化合物的感光性高分子 141
5.4其它感光性化合物 151
5.4.1有机卤化物 151
5.4.2光聚合引发剂 154
5.4.3芳香族硝基化合物 155
5.4.4其它化合物 156
参考文献 160
6具有感光基的高分子型 166
6.1 具有感光基的高分子的合成方法 166
6.1.1高分子反应 166
6.1.2聚合反应 172
6.1.3具有感光基的高分子的改性方法 179
6.2 聚乙烯醇肉桂酸酯以及类似的高分子化合物 182
6.2.1聚乙烯醇肉桂酸酯 182
6.2.2具有肉桂酰基的其它高分子 194
6.2.3通过环丁烷化反应而交联的其它高分子 199
6.3具有重氮基和叠氮基的高分子 211
6.3.1重氮系感光性高分子 211
6.3.2叠氮系感光性高分子 215
6.4具有其它感光基的高分子 224
6.4.1 1,2,3-噻二唑系高分子 224
6.4.2含硫高分子 225
6.4.3含硝基的高分子 226
6.4.4含其它感光基的高分子 227
6.5光降解型感光性高分子 229
6.5.1光降解的反应机理 230
6.5.2光降解型感光性高分子 233
参考文献 240
7光聚合组成型 247
7.1光聚合反应 247
7.1.1光聚合引发剂 248
7.1.2光聚合速度的解析 253
7.2单纯光聚合体系 254
7.3光聚合单体＋高分子体系 258
7.3.1光聚合单体 258
7.3.2具有功能基的高分子（聚合物和预聚物） 265
7.3.3光聚合体系的组成 273
7.4光聚合体系的增感方法 279
7.4.1影响光聚合感度的诸因素 279
7.4.2光聚合体系的增感方法 280
参考文献 284
8感电子束和感X射线的高分子（电子束与X射线抗蚀剂） 288
8.1电子束以及X射线的性质 290
8.2电子束与X射线对高分子的作用 292
8.3 G值和感度 295
8.4电子束抗蚀剂用高分子化合物 299
8.4.1 阳图型电子束抗蚀剂 301
8.4.2阴图型电子束抗蚀剂 309
8.5 X射线抗蚀剂用高分子化合物 313
8.5.1 X射线平版印刷术 313
8.5.2 X射线抗蚀剂 315
参考文献 318
9感光性高分子的应用 322
参考文献 328
参考文献（有关感光性高分子的参考书、综论） 329