第一章 纳米晶金刚石膜概述 1
第一节 纳米晶金刚石膜的研究概况 2
第二节 纳米金刚石薄膜的制备技术 6
一、纳米金刚石膜的制备设备 6
二、纳米金刚石膜的制备工艺 11
第三节 纳米金刚石膜的应用前景 16
一、摩擦磨损 16
二、冷阴极场发射 18
三、电化学应用 18
四、微型机电领域 19
五、光学涂层 19
六、其他应用 20
第二章 纳米金刚石膜的制备设备与表征手段 28
第一节 纳米金刚石膜制备设备 28
第二节 热阴极等离子体的光发射谱检测 30
一、等离子体的光发射谱诊断 31
二、光纤光谱仪检测等离子的测量原理 31
三、光发射谱及等离子体基本参数的测量 34
四、光发射谱（OES）在金刚石膜沉积中的应用 36
第三节 纳米金刚石膜的形貌、结构和性能表征 39
一、扫描电子显微镜（SEM） 39
二、激光拉曼光谱（Raman Shift） 40
三、X射线衍射（XRD） 43
四、金刚石膜的电学性能表征 44
第三章 气体的直流辉光放电理论 52
第一节 低压气体的放电与击穿 53
第二节 低压气体的直流辉光放电 56
一、阴极区 57
二、阴极区性质 58
三、正柱区 62
四、正柱区粒子分布 62
第三节 高气压下的直流辉光放电特点 68
一、起辉过程 68
二、高气压下的直流辉光放电的放电状态 68
第四节 等离子体中气体的分解 71
一、气体的激发与电离 71
二、等离子体中的反应 72
第四章 CH4/H2体系制备纳米金刚石膜 76
第一节 CH4/H2体系制备纳米金刚石膜的原理 76
一、表面预处理提高纳米金刚石形核密度 77
二、纳米金刚石膜的气相形核 77
三、纳米晶金刚石膜的生长 79
第二节 氢甲烷气体体系制备纳米金刚石膜工艺 81
一、样品制备 81
二、结果与讨论 81
本章小结 91
第五章 Ar/H2/CH4气体体系制备纳米金刚石膜 94
第一节 Ar/H2/CH4体系沉积纳米金刚石膜机理 94
一、Ar/H2/CH4体系制备纳米金刚石薄膜的生长基团 94
二、Ar气在纳米金刚石薄膜制备过程中的作用分析 96
第二节 Ar/H2/CH4气体体系制备纳米金刚石膜工艺研究 99
一、衬底表面预处理 99
二、样品制备参数 100
三、结果与讨论 100
本章小结 109
第六章 纳米金刚石膜的硼掺杂研究 113
第一节 金刚石膜的硼掺杂研究概述 113
一、概述 114
二、掺硼金刚石膜的研究现状 116
三、掺硼金刚石膜的应用 117
第二节 硼掺杂纳米金刚石膜的制备与物性 120
一、硼掺杂纳米金刚石膜的制备 120
二、结果与讨论 122
三、掺硼金刚石膜的电学性质 129
本章小结 132
第七章 全书总结 138