第1章 概论 1
1.1 泄漏的危害性 1
1.2 容易产生泄漏的部位及原因 2
1.3 漏率及其单位 3
1.4 影响漏率大小的因素 5
1.5 标准漏率 7
1.6 允许漏率的计算 7
1.6.1 动态真空系统的允许漏率 7
1.6.2 静态真空系统的允许漏率 7
1.6.3 压力系统的允许漏率 8
1.6.4 零泄漏下液体系统的允许漏率 8
1.7 泄漏检测工作的内容 10
1.8 泄漏检测方法的分类 11
1.9 泄漏检测方法的选择 12
1.10 示踪物质的选择 13
第2章 泄漏检测的物理基础 14
2.1 基本物理量和概念 14
2.2 气体和蒸气 16
2.3 饱和蒸气压 16
2.4 真空与大气层 17
2.5 真空度及压力的单位 18
2.6 真空区域划分及其物理特点 19
2.7 理想气体的状态方程 20
2.8 气体分子的平均自由程 21
2.8.1 平均自由程 21
2.8.2 单一气体分子的平均自由程 21
2.8.3 某种气体分子在混合气体中的平均自由程 23
2.8.4 离子和电子在气体中的平均自由程 23
2.8.5 平均自由程与气体的动力粘度和摩尔质量的关系 23
2.9 气体通过漏孔的流动状态及其判别方法 24
2.9.1 气体通过漏孔的流动状态及其特征 24
2.9.2 气体通过漏孔流动状态的判别方法 25
2.10 气体量、气体通过漏孔的漏率和流导 27
2.10.1 气体量 27
2.10.2 气体通过漏孔的漏率 27
2.10.3 漏孔的流导 29
2.10.4 温度对漏孔漏率和流导的影响 32
2.10.5 使用不同示踪气体时漏孔漏率或流导的换算 33
2.11 气体在固体表面上的吸附与脱附（放气） 34
2.11.1 物理吸附 35
2.11.2 化学吸附 36
2.11.3 物理吸附与化学吸附的区别 36
2.12 气体通过固体的渗透现象 36
2.12.1 溶解 37
2.12.2 扩散 37
2.13 液体的渗透现象 38
2.13.1 表面张力与毛细作用 38
2.13.2 液体的渗透现象 40
2.14 气体的扩散作用 40
2.15 气体的混合 42
2.15.1 示踪气体在气体混合物中的分压力分数 42
2.15.2 气体混合物中组分的分层现象 42
2.15.3 气体分压力分数的平衡分布定律与重力的影响 42
2.15.4 气体混合物的有效动力粘度 43
2.16 影响有效最小可检漏率的因素 43
2.16.1 影响有效最小可检漏率的试验因素 43
2.16.2 示踪气体环境分压力分数的影响 44
2.16.3 用增加压差的方法改善粘滞流漏孔的检漏灵敏度 44
2.16.4 增加分子流漏孔两端压力差的作用 46
2.17 气体的电离 46
2.17.1 电离电位 46
2.17.2 电离概率 47
2.18 激光与红外线 47
第3章 氦质谱检漏法 49
3.1 氦质谱检漏的原理 49
3.2 氦质谱检漏仪的结构 50
3.2.1 质谱室 50
3.2.2 真空系统 52
3.2.3 电气部分 54
3.3 示漏气体的选择 55
3.4 灵敏度及最小可检漏率 55
3.4.1 灵敏度与最小可检漏率的关系 55
3.4.2 仪器最小可检漏率 56
3.4.3 有效最小可检漏率 56
3.4.4 仪器最小可检分压力分数 57
3.4.5 仪器最小可检漏率的校准 57
3.4.6 有效最小可检漏率的校准 57
3.4.7 仪器最小可检分压力分数的校准 58
3.5 仪器的反应时间、清除时间及其校准方法 59
3.5.1 仪器的反应时间及清除时间 59
3.5.2 仪器的反应时间及清除时间的校准方法 60
3.6 逆流检漏仪 61
3.7 氦质谱检漏仪的选择 62
3.8 氦质谱检漏技术 62
3.8.1 氦质谱检漏的各种方法 63
3.8.2 实际漏孔漏率的确定 75
3.8.3 大容器真空检漏 76
3.9 吸枪 82
3.10 氦气 83
3.11 真空泥 83
3.12 氦质谱检漏方法的应用实例 84
3.12.1 环模试验设备的检漏 84
3.12.2 铁路液氢槽车的检漏 85
3.12.3 液体火箭燃料箱体的检漏 86
3.12.4 空调器生产线上整机和二器的检漏 89
3.12.5 核电站核电机组蒸汽发生器的检漏 92
第4章 四极质谱计检漏法 93
4.1 四极质谱计的结构 93
4.2 四极质谱计的工作原理 93
4.3 四极质谱计的工作模式 95
4.3.1 模拟峰质量扫描 95
4.3.2 棒峰质量扫描 96
4.3.3 多离子检测 96
4.4 四极质谱计的主要性能指标 96
4.4.1 质量范围 96
4.4.2 分辨本领 96
4.4.3 灵敏度 97
4.4.4 最小可检分压力 97
4.4.5 最高工作压力 98
4.4.6 分压力分数灵敏度 98
4.5 质谱图的识别 98
4.6 四极质谱计检漏方法 100
4.6.1 残气分析法 100
4.6.2 单一示踪气体检漏法 101
4.6.3 多种示踪气体检漏法 101
4.7 四极质谱计检漏方法的应用实例 102
4.7.1 四极质谱计对多舱段系统同时进行检漏 102
4.7.2 四极质谱计在真空系统检漏中的应用 104
第5章 压力变化检漏法 106
5.1 静态压升法 106
5.2 静态压降法 107
5.2.1 常用的压力计及读数方法 108
5.2.2 充气气体的选择 109
5.2.3 有效容积的测量 109
5.2.4 压降检漏中温度、表压和大气压的修正 110
5.2.5 湿度的修正 110
5.2.6 漏率的计算 112
5.2.7 压降检漏法的误差分析 113
5.3 差压检漏法 114
5.3.1 差压检漏的原理 114
5.3.2 差压检漏的基本回路 115
5.3.3 差压传感器 115
5.3.4 差压检漏回路的对称性 116
5.3.5 漏率的计算 116
5.3.6 差压检漏中环境温度影响的修正 117
5.3.7 无基准物差压检漏仪 119
5.4 压力变化检漏法应用实例 120
5.4.1 星载电子仪器的压降法检漏 120
5.4.2 大型容器的差压检漏 122
第6章 真空计与离子泵检漏法 124
6.1 单支规管法 124
6.1.1 热传导真空规检漏法 124
6.1.2 电离真空规检漏法 126
6.2 差动真空规法 126
6.3 热传导真空规法、电离真空规法和差动真空规法 127
6.4 氢-钯法 128
6.5 具有冷吸附阱的真空规检漏法 129
6.6 扫描方向规检漏法 130
6.7 罩盒抽空法 130
6.8 夹层（或内胆）抽空法 130
6.9 堵塞法 131
6.10 离子泵检漏法 131
第7章 高频火花检漏法 133
7.1 检漏原理 133
7.2 检漏方法 133
第8章 卤素检漏法 135
8.1 卤素检漏仪法 135
8.1.1 卤素检漏仪工作原理 135
8.1.2 卤素检漏仪 135
8.1.3 仪器的结构 136
8.1.4 示漏物质 137
8.1.5 常用的卤素标准漏孔与质量分数液 138
8.1.6 检漏方法 138
8.2 卤素喷灯法 140
8.2.1 检漏原理 140
8.2.2 检漏方法 141
8.2.3 检漏注意事项 141
第9章 气泡检漏法 142
9.1 检漏原理 142
9.2 检漏方法 142
9.2.1 充气气泡检漏法 142
9.2.2 抽真空气泡检漏法 143
9.2.3 热槽气泡检漏法 143
9.2.4 涂刷液体法（皂泡法） 143
9.2.5 真空罩盒法 144
9.3 测量漏率的方法 144
9.3.1 排液集气法 144
9.3.2 数泡法 145
9.4 影响检漏灵敏度的因素 146
第10章 渗透检漏法 148
10.1 渗透检漏的方法 148
10.1.1 着色渗透检漏法 148
10.1.2 荧光渗透检漏法 149
10.1.3 煤油渗透检漏法 151
10.1.4 加压渗透检漏法 151
10.2 渗透检漏的灵敏度与漏率估计 151
10.3 渗透检漏的设备与材料 152
10.3.1 黑光灯 152
10.3.2 渗透剂 153
10.3.3 乳化剂 158
10.3.4 显色剂和显像剂 159
10.4 渗透检漏法应用实例 159
10.4.1 飞机油箱检漏 159
10.4.2 航天器发动机喷管检漏 160
10.4.3 压力容器焊缝检漏 160
10.4.4 电子元器件检漏 160
第11章 氨检漏法 162
11.1 氨检漏法的原理 162
11.2 显影带 162
11.2.1 指示剂的选择 162
11.2.2 显影带基料的选择 163
11.2.3 显影带的制作 163
11.3 氨检漏法的操作步骤 164
11.4 复合涂料显色检漏法 164
11.5 检漏灵敏度 165
第12章 声波检漏法 167
12.1 听声法 167
12.2 超声波定向探头检漏法 167
12.3 超声波人造声源检漏法 168
12.4 脉冲超声波检漏法 168
12.5 声发射检漏法 168
12.6 声发射检漏法应用实例 169
第13章 放射性同位素检漏法 171
13.1 放射性同位素的基本知识 171
13.2 放射性同位素检漏法 172
13.2.1 一般容器的检漏方法 172
13.2.2 电子元器件的放射性同位素检漏方法 173
13.3 检测仪器和Kr-85放射性同位素 175
13.4 对放射性气体试验室的基本要求和安全防护规则 175
13.4.1 对放射性气体试验室的基本要求 175
13.4.2 对放射性同位素的安全防护规则 176
第14章 红外线热成像检漏法 177
14.1 红外线热成像检漏的原理和优点 177
14.1.1 红外线热成像检漏的原理 177
14.1.2 红外线热成像检漏的优点 178
14.2 红外线辐射成像检漏技术 178
14.2.1 影响地面温度的因素 178
14.2.2 测试装置 179
14.2.3 红外线辐射成像检漏技术的应用实例 180
14.3 红外线吸收法检漏技术 181
14.3.1 工作原理 181
14.3.2 红外线吸收法的测试仪器 182
14.3.3 气体吸收检漏法的应用 184
14.4 红外线光声检漏技术 185
14.4.1 红外线光声检漏的原理 185
14.4.2 红外线光声检漏的测试仪器 185
14.4.3 红外线光声检漏法在生产装配中的应用 186
第15章 称质量检漏法 187
15.1 检漏原理 187
15.2 检漏方法 187
第16章 密闭电子元器件的检漏 189
16.1 密闭电子元器件对气密的需求 189
16.2 密闭电子元器件出现漏气的原因 189
16.3 电子元器件漏率的定义 190
16.4 密闭电子元器件的氦质谱细检漏法 190
16.4.1 固定法 191
16.4.2 灵活法 191
16.5 密闭电子元器件的粗检方法 192
16.5.1 染料渗透检漏法 192
16.5.2 升温气泡检漏法 192
16.5.3 抽真空气泡检漏法 193
16.5.4 背压充氮高温液体检漏法 193
16.5.5 背压充氮抽真空检漏法 193
16.5.6 背压双氟油气泡检漏法 194
16.5.7 氟碳气粗检法 196
16.5.8 差压式气密检漏仪法 196
16.6 检漏中应注意的问题 197
第17章 标准漏孔及其校准方法 199
17.1 标准漏孔的组成 199
17.2 标准漏孔的类型 199
17.3 常用标准漏孔介绍 200
17.3.1 渗氦型标准漏孔 200
17.3.2 玻璃毛细管型标准漏孔 202
17.3.3 压扁金属毛细管型标准漏孔 202
17.3.4 玻璃-铂丝型标准漏孔 203
17.3.5 烧结型标准漏孔 203
17.3.6 孔板型标准漏孔 203
17.3.7 放射性标准漏孔 204
17.3.8 封闭气室漏孔漏率的衰减率 204
17.4 真空标准漏孔的校准 205
17.4.1 标准流量计法 205
17.4.2 参考漏孔比较法 206
17.4.3 标准流导法 207
17.4.4 压力容积膨胀法 208
17.5 正压标准漏孔的校准 210
17.5.1 定容变压法 211
17.5.2 恒压变容法 211
17.5.3 定量气体动态比较法 212
17.5.4 参考漏孔动态比较法 213
17.5.5 排水取气法 213
17.5.6 U型管压力计法 214
17.6 标准漏孔的操作和使用 215
第18章 检漏安全知识 216
18.1 对检漏人员的要求 216
18.2 对空气中有毒液体、气体和颗粒的控制 216
18.3 对丙酮的预防措施 217
18.4 缺氧环境的危害 217
18.5 保管和使用易燃液体时的预防措施 217
18.6 静电危害性的预防 218
18.7 安全用电的基本常识以及对被电击者的救治 218
18.8 检漏中使用示漏气体的安全措施 219
18.8.1 检漏中示漏气体的危险性 219
18.8.2 对氨（NH3）的预防 219
18.8.3 对二氯二氟甲烷（CCl2F2,R-12制冷气体）的预防 219
18.8.4 对氦气（He）的预防 220
18.8.5 对氢气（H2）的预防 220
18.8.6 对氮气（N2）的预防 220
18.8.7 对氧气（O2）的预防 220
18.8.8 对二氧化硫（SO2）的预防 221
18.8.9 对干粉显影剂的预防 221
18.9 压缩气体钢瓶运输与保管的安全措施 222
18.10 使用压缩气体钢瓶的安全常规 222
18.11 使用钢瓶上的阀门或调节器的安全措施 223
18.12 使用氧压调节器的安全措施 224
18.13 压力试验中应考虑的问题 224
18.14 不可忽视真空试验的危险性 225
18.15 使用脚手架的安全问题 226
附录 227
附录A 泄漏检测的基本术语 227
附录B 部分国内、外泄漏检测标准 236
附录C 部分国内、外主要氦质谱检漏仪性能 240
参考文献 247