第一篇 常用仪器 3
第一章 测微仪及传感器 3
1-1 机械式测微仪 3
一、杠杆齿轮式测微仪 3
二、杠杆百分表与杠杆千分表 3
三、纯杠杆式测微仪 13
四、杠杆卡规与杠杆千分尺 14
五、百分表及千分表 21
六、扭簧比较仪 26
七、国内几种机械测微仪比较 28
1-2 光学测微仪 28
一、光学比较仪（光学计） 28
二、立式接触式干涉仪 34
1-3 气动测微仪及传感器 40
一、指示流量变化的气动测微仪（浮标式气动量仪） 40
二、指示压力变化的气动测微仪 43
三、气动附件 50
1-4 电动测微仪及传感器 50
一、传感器及电动测微仪的几种类型 50
二、数显量具及数显测微仪 50
第二章 线值测量仪 65
2-1 线纹测量仪 65
一、线纹比长仪（阿贝线纹比长仪） 65
二、光电光波比长仪 73
2-2 测长仪（机） 82
一、测长仪 82
二、测长机 91
三、干涉测长仪（机） 120
2-3 坐标测量机 131
一、用途及分类 131
二、工具显微镜 131
三、三坐标测量机 168
2-4 投影仪 182
一、用途和分类 182
二、国内外部分投影仪的型号、规格及主要技术指标 183
三、投影仪的典型光路布局 186
四、投影仪的组成和结构 188
第三章 圆分度测量仪器 199
3-1 测角仪 199
一、C3-1型测角仪 200
二、精密数显转台 205
三、32J测角仪 212
四、GSJ-A型光栅数显测角仪 217
五、JCY测角仪 219
六、C20测角仪 222
七、DFT-720 Ⅰ型0.1″多齿分度台 222
3-2 光学分度头 227
一、1011型（5″）1022型（2″）光学分度头 228
二、JJ3 2″光学分度头 238
三、GF5 5″光学分度头 244
四、FP130A影屏式光学分度头 244
五、0.1″光栅式光学分度头 249
六、莱兹2″目视式光学分度头 251
七、法国OPL光学分度头 254
3-3 小角度测量仪 256
一、C8-A型激光小角度测量仪 256
二、锥度测量仪 257
三、差动高精度弹性多齿分度盘激光小角度测量仪 263
四、光栅小角度测量仪 263
第四章 专用量仪 265
4-1 圆度仪 265
一、工作原理 265
二、圆度仪的类型 266
三、设计要点 266
四、圆度仪的机械结构 266
4-2 平直度测量仪器 285
一、平直度量具 286
二、水平仪 288
三、自准直仪 292
四、平直度检查仪 302
五、激光准直测量仪器 303
六、平面干涉仪 306
4-3 表面粗糙度测量仪 308
一、9J光切显微镜（亦称双管显微镜、表面粗糙度显微镜） 308
二、双光束干涉显微镜 313
三、多光束干涉显微镜 319
四、表面粗糙度轮廓仪 321
五、表面粗糙度激光散射法测量仪 333
六、光学表面粗糙度测量系统RM400 338
4-4 孔径测量仪器 338
一、机械式孔径测量仪器 338
二、光学孔径测量仪器 343
三、电动孔径测量仪器 351
四、气动孔径测量仪器 353
4-5 齿轮测量仪器 355
一、基本几何参数误差测量仪 355
二、综合参数误差测量仪 394
三、整体误差测量仪 405
4-6 螺旋线测量仪 431
一、哈量3301型螺旋线测量仪 431
二、ORCUTT导程测量仪 439
三、GOULDER MIKRON 2H型和3H型导程测量仪 441
四、H？FLER的EFRS630型齿形和导程测量仪 443
五、MAAG SP-60型齿轮测量仪 446
六、大阪精密机械株式会社的GC-HP系列渐开线、导程和齿距测量仪 448
4-7 滚刀测量仪 450
一、滚刀测量仪的分类 451
二、滚刀测量仪 452
4-8 丝杠测量仪 474
一、JCS014型激光丝杠测量仪 476
二、HJY05型丝杠测量仪 492
三、长丝杠螺距测量仪 494
四、用光学触头的丝杠测量仪 497
4-9 凸轮自动测量仪 498
一、凸轮自动测量的测量原理及分类 498
二、TXZ-1凸轮自动测量仪的结构 499
三、C-PH-850A凸轮形状测量仪 505
第五章 自动测量仪器 509
5-1 自动分选机 509
一、概述 509
二、实例 511
5-2 主动测量仪 557
一、概述 557
二、单点测轴装置 559
三、两点测轴装置 561
四、三点测轴装置 568
五、滚轮测量装置 571
六、单点测孔装置 571
七、两点测孔装置 574
八、量规测孔装置 583
九、补调测量装置 586
第二篇 仪器元器件 595
第六章 标准量器件 595
6-1 量块 595
一、量块的型式和尺寸 595
二、技术要求 596
6-2 线纹基准尺 599
一、金属线纹尺 599
二、玻璃线纹尺 599
三、线纹尺精度 602
四、应用举例 602
6-3 精密丝杆 603
一、读数原理 603
二、精密丝杆的精度等级与公差 603
三、齿形角、材料热处理及技术条件 604
四、应用举例 605
6-4 长光栅 606
一、长光栅的基本参数和尺寸 606
二、玻璃光栅尺技术要求 607
三、光栅尺的安装 608
四、光栅传感器的典型结构 609
五、应用 609
6-5 激光基准器 611
一、氦氖激光器类型和结构 611
二、氦氖激光器系列型谱（GB4931—85） 613
三、国内氦氖激光器产品介绍 613
6-6 直线式感应同步器 617
一、规格和技术要求 617
二、安装尺寸和外形尺寸 618
三、安装要求 620
四、应用举例 620
6-7 磁尺 621
一、线型磁尺外形及尺寸系列 621
二、XCC线型磁尺的安装 622
三、带型磁尺的外形与尺寸系列 623
四、带型磁尺的安装 624
五、国内外常用磁尺的型号与规格 624
6-8 角度块 627
一、种类、型式与基本尺寸 627
二、角度块的分组和配套 628
三、角度块附件及配套 630
四、技术要求 631
6-9 度盘 631
一、度盘参数的选择 632
二、技术条件 632
三、度盘的固定方法 632
6-10 多齿分度台及多面棱体 634
一、多齿分度台 634
二、多面棱体 637
6-11 圆光栅 639
一、基本参数和尺寸 639
二、技术要求（玻璃光栅盘） 639
三、安装及应用 641
6-12 旋转式感应同步器 643
一、型号与规格 643
二、安装尺寸和外形尺寸 644
三、安装要求 645
四、扇形感应同步器 645
6-13 测量蜗杆及标准齿轮 649
一、测量蜗杆 649
二、标准齿轮 651
第七章 测头及定位装置 653
7-1 测头 653
一、机械测头 653
二、气动测头 668
7-2 定位装置 678
一、平面定位装置 679
二、V形定位装置 689
三、顶尖定位装置 692
第八章 瞄准装置 704
8-1 光学瞄准装置 704
一、影象式瞄准装置（瞄准显微镜） 704
二、干涉条纹法瞄准装置 717
三、象点式瞄准显微镜 723
四、象点式光电瞄准 726
8-2 光学灵敏杠杆 727
一、光学接触式瞄准器（光学灵敏杠杆） 727
二、西普（SIP）三坐标测量机光学灵敏杠杆 728
三、Leitz光学灵敏杠杆 731
8-3 光电瞄准装置 737
一、静态光电显微镜 737
二、动态光电显微镜 740
三、高精度激光动态光电显微镜 746
四、轮廓光电显微镜 747
8-4 三坐标测头 754
一、机械式触头（硬测头） 754
二、电测头 762
三、光栅式测头 769
四、激光测头 769
五、其它 771
第九章 细分读数装置 773
9-1 机械细分读数装置 773
一、游标式细分读数装置 773
二、丝杆式细分读数装置 774
9-2 光学机械式细分读数装置 784
一、带尺细分读数装置 784
二、分划板移动式细分读数装置 786
三、标尺象移动式细分读数装置 799
第十章 显示器 804
10-1 指示表 804
一、圆盘式指示器 804
二、直尺式指示器 804
三、指示表式显示器设计要点 807
10-2 记录器 809
一、工作原理 809
二、记录纸和记录笔 811
三、记录器的技术参数 814
四、结构举例 814
10-3 绘图仪 815
一、绘图仪的分类和组成 815
二、绘图仪的工作原理 816
10-4 打印机 817
10-5 数码显示器 820
一、荧光数码管 820
二、辉光放电数学管 820
三、发光二极管 820
四、液晶显示器 821
第十一章 主要机械结构及常用机构 822
11-1 基座与支架 822
一、用途和设计要求 822
二、设计基本方法 822
三、结构设计 823
四、基座支承点位置安排 832
五、减小基座变形对精度影响的措施——双基座结构 840
六、热变形量计算及减小热变形措施 840
七、材料 841
11-2 导轨 841
一、滑动导轨 842
二、滚动导轨 867
三、小行程片簧导轨 885
11-3 轴系 891
一、轴系的类型与要求 891
二、标准滚动轴承轴系 891
三、非标准滚动轴承轴系 893
四、滑动摩擦轴系 907
五、液体动压轴系 914
六、液体静压轴系 916
七、气体静压轴系 934
11-4 支承 945
一、球形支承 945
二、圆柱支承 947
三、顶尖支承 948
四、刀口支承 949
五、V形面支承 950
六、螺旋副支承 950
七、斜面支承 951
八、滚动支承 951
九、固定的弹性支承 951
十、活动弹性支承 954
十一、张丝 956
十二、复杂结构的支承 957
11-5 卸荷装置与平衡机构 960
一、卸荷装置 960
二、平衡机构 960
11-6 联轴器 964
一、联轴节 964
二、离合器 969
三、带动器 972
11-7 微动微调机构 976
一、微动微调机构的用途与要求 976
二、微动微调机构的分类 976
三、微动微调机构的结构及设计 976
11-8 校正与补偿机构 1006
一、校正与补偿机构的分类 1007
二、校正与补偿机构的原理与结构 1007
11-9 锁紧机构 1011
一、锁紧机构的用途与要求 1011
二、锁紧机构的分类 1011
三、锁紧机构的结构及设计 1012
11-10 测力机构 1028
一、测量力的选择 1028
二、减小测量力对测量结果影响的措施 1029
三、测力机构 1030
11-11 自动上料装置 1040
一、用途 1040
二、分类和组成 1040
三、料斗式上料装置结构实例 1041
11-12 减震阻尼装置 1044
一、调速器 1044
二、缓冲垫 1049
三、阻尼器 1049
11-13 运送机构 1054
一、用途与分类 1054
二、结构实例 1054
11-14 转动机构 1056
一、用途与分类 1056
二、结构实例 1056
11-15 限位和保护 1058
一、限位机构 1058
二、保护机构 1059
11-16 密封防尘 1061
一、用途 1061
二、结构 1061
参考文献 1064