《光刻掩膜版的制造》PDF下载

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  • 作  者:武汉无线电元件三厂编
  • 出 版 社:武汉无线电元件三厂
  • 出版年份:1972
  • ISBN:
  • 页数:66 页
图书介绍:

一、制作超微粒干版工艺 1

二、光刻掩膜图形的绘制 6

三、刻图 9

四、初缩照相工艺 10

五、显影、停影、定影及水洗 18

六、精缩照相 20

七、真空蒸发铬版 38

八、铬版复印 45

九、44—KR型光刻掩膜版的制造 51