1真空泵的选型技术 1
1.1真空泵的选型原则和性能表示法 1
1.2真空泵的类型及其工作压力范围 3
1.2.1气体输送泵 3
1.2.2气体捕集泵 5
1.2.3各种真空泵的使用范围 5
1.3真空泵的技术术语及规格型号表示法 5
1.3.1真空泵的技术术语 5
1.3.2真空泵的型号及规格表示法 6
1.4真空泵的用途及适用的工艺类型 7
1.4.1真空泵的用途 7
1.4.2各类真空泵适用的工艺类型 7
1.5水环真空泵的选型技术 8
1.5.1水环泵的工作原理及特点 8
1.5.2水环泵的基本类型与结构 10
1.5.3水环泵的基本型式与参数 12
1.5.4水（液）环泵的使用与注意事项 13
1.5.5水（液）环泵的常见故障及消除方法 15
1.6往复式真空泵的选型技术 16
1.6.1往复泵的工作原理 17
1.6.2往复泵的几种主要结构 18
1.6.3往复泵的主要性能指标 19
1.6.4往复泵的使用与维护 19
1.7旋片式真空泵的选型技术 20
1.7.1旋片泵的工作原理 21
1.7.2旋片泵的结构特点 21
1.7.3选用旋片泵的注意事项 24
1.7.4旋片泵的运行与维护 25
1.8滑阀式真空泵的选型技术 29
1.8.1滑阀泵的工作原理 29
1.8.2滑阀泵的结构特点 30
1.8.3滑阀泵的选型 32
1.8.4滑阀真空泵常见故障及其排除 32
1.9罗茨真空泵的选型技术 34
1.9.1罗茨泵的工作原理 34
1.9.2罗茨泵的结构特点 35
1.9.3罗茨泵的参数选择 37
1.9.4罗茨泵的常见故障及解决办法 44
1.10分子真空泵的选型技术 47
1.10.1分子真空泵的发展概况 47
1.10.2牵引分子泵的抽气原理与结构特点 48
1.10.3涡轮分子泵的抽气原理及结构特点 48
1.10.4分子真空泵选型须知 49
1.11干式（无油）真空泵的选型技术 50
1.11.1干式真空泵的选型须知 50
1.11.2旋片型干式真空泵 52
1.11.3爪型干式真空泵 53
1.11.4涡旋干式真空泵 57
1.11.5螺杆型干式真空泵 62
1.12水喷射真空泵的选型技术 64
1.12.1水喷射泵的主要用途 65
1.12.2水喷射泵的工作原理 65
1.12.3水喷射泵的主要结构型式 66
1.12.4水喷射真空泵的选型方法 67
1.12.5水喷射泵常见故障及排除方法 70
1.13蒸汽喷射泵的选型技术 71
1.13.1蒸汽喷射泵的工作原理 71
1.13.2蒸汽喷射泵的结构与组成 72
1.13.3蒸汽喷射泵的选型方法 75
1.13.4水蒸气喷射泵的常见故障及其排除方法 78
1.14扩散泵的选型技术 81
1.14.1扩散泵的抽气过程 81
1.14.2油扩散泵的结构 82
1.14.3油扩散泵的选型方法 84
1.14.4油扩散泵的使用与维护 86
1.15油扩散喷射真空泵的选型技术 88
1.15.1油扩散喷射泵的工作原理 88
1.15.2油扩散喷射泵的结构 89
1.15.3油扩散喷射泵的选型方法 89
1.15.4油增压泵的使用与维护 91
1.16低温泵的选型技术 92
1.16.1低温泵的抽气原理和分类 92
1.16.2低温泵的总体布置 93
1.16.3低温泵的选型方法 95
1.17溅射离子泵的选型技术 96
1.17.1溅射离子泵的结构与泵内的物理过程 96
1.17.2溅射离子泵的抽气机理 97
1.17.3溅射离子泵的选择 98
1.18其他类型真空泵的选型技术 99
1.18.1分子筛吸附泵的选择 99
1.18.2钛升华泵的选型 103
1.18.3电离升华泵的选型 104
1.18.4非蒸散型吸气泵的选型 105
2真空计选型技术 109
2.1概述 109
2.1.1真空、真空度概念 109
2.1.2真空区域划分及其物理特点 110
2.1.3真空计及测量范围 112
2.1.4真空测量特点 112
2.1.5真空计选型原则 113
2.2常用真空计性能参数 114
2.2.1 U型管真空计 114
2.2.2压缩式真空计 117
2.2.3弹簧式真空计 120
2.2.4电阻真空计 124
2.2.5热偶真空计 132
2.2.6热阴极电离真空计 135
2.2.7冷阴极电离真空计 142
2.2.8复合式真空计 149
2.2.9 B-A式超高真空电离计 154
2.2.10极高真空测量仪器 159
2.2.11 MFC用途和特点 171
2.2.12国内外MFC发展状况介绍 172
2.2.13国内新产品发展情况 172
2.2.14 MFC在真空设备中的典型应用和注意事项 172
3真空阀门选型技术 174
3.1概述 174
3.1.1真空阀门的用途 174
3.1.2真空阀门的基本要求 174
3.1.3真空阀门分类和型号编制方法 175
3.1.4真空阀门选型原则 176
3.2各类真空阀门结构型式、性能参数 178
3.2.1真空插板阀 178
3.2.2高真空挡板阀 186
3.2.3高真空蝶阀 191
3.2.4真空翻板阀 198
3.2.5电磁真空阀 201
3.2.6真空球阀 208
3.2.7真空隔膜阀 212
3.2.8真空微调阀 214
3.2.9真空放气阀 216
3.3典型真空阀门结构型式 220
3.3.1低真空三通阀 220
3.3.2低真空管道阀 224
3.3.3高真空翻板阀 224
3.3.4超高真空角阀 227
3.3.5超高真空三通阀 229
3.3.6超高真空管道阀 229
3.3.7超高真空针阀 230
3.4真空阀门技术要求及性能测试 230
3.4.1技术要求 230
3.4.2真空阀门漏气速率（简称漏率）的测试 230
3.4.3真空阀流导的测试 233
3.4.4真空阀门寿命的测试 234
3.4.5真空阀门开闭时间的测试 234
4真空系统选型技术 235
4.1真空系统的主要参数选择 235
4.1.1真空室（容器）的极限压力 235
4.1.2真空室的工作压力 235
4.1.3真空室抽气口处泵的有效抽速 236
4.2抽气时间的计算 237
4.2.1粗真空、低真空下抽气时间计算 237
4.2.2高真空下抽气时间计算 240
4.2.3真空室压力下降时抽气时间的计算 242
4.3真空室出气对真空系统计算的影响 242
4.3.1局部出气对计算的影响 242
4.3.2均匀出气条件下细长真空室内压力分布 243
4.4选泵与配泵 244
4.4.1主泵选择 244
4.4.2前级泵的选配 244
4.4.3粗抽泵抽速的确定 246
4.5真空机组的选型 246
4.5.1真空机组的构成与分类 246
4.5.2低真空机组 246
4.5.3高真空机组 250
4.5.4超高真空机组 252
4.6液环泵真空机组的选型 253
4.6.1蒸气喷射泵-液环泵真空机组 253
4.6.2罗茨液环泵机组 256
4.6.3罗茨泵-气体喷射器-液环泵机组 258
4.7罗茨真空泵机组的选型 258
4.7.1罗茨泵机组的型式与基本参数 258
4.7.2国产罗茨泵机组的技术性能 261
4.7.3罗茨真空泵机组的选型方法 273
4.8扩散泵抽气机组的选型 279
4.8.1国产扩散泵机组的基本参数 279
4.8.2扩散泵机组的选型方法 287
4.8.3干式真空泵机组的选型 288
4.9超高真空机组的选型 290
4.9.1超高真空系统简介 290
4.9.2超高真空系统应用实例 291
5真空冶炼设备选型技术 295
5.1真空感应炉设备选型技术 295
5.1.1概述 295
5.1.2真空感应炉的工作原理 295
5.1.3真空感应炉的典型结构及分类 297
5.1.4真空感应熔炼的独特功能及其工艺优异性 299
5.1.5真空感应炉的熔炼主电源 301
5.1.6真空感应炉的选型技术条件 303
5.2真空电子轰击炉选型技术 305
5.2.1概述 305
5.2.2真空电子轰击炉的特点 306
5.2.3电子束流轰击物料（靶）时产生的现象 306
5.2.4真空电子轰击炉的电子束加热原理 307
5.2.5电子束流在电场作用下的能量 307
5.2.6电子束流轰击物料满足熔炼的热平衡条件 308
5.2.7真空电子轰击炉的主要构成 309
5.2.8真空电子轰击炉选型技术依据 317
5.3真空电弧炉选型技术 318
5.3.1概述 318
5.3.2真空电弧炉种类及其应用 319
5.3.3真空中弧光放电及其性质 321
5.3.4真空电弧炉、凝壳炉结构构成及其设计和计算 322
5.3.5真空系统 334
5.3.6真空电弧炉、凝壳炉的电源电气控制 334
5.3.7真空电弧炉、凝壳炉选型技术条件 344
6真空热处理设备选型技术 349
6.1真空热处理的一般原理 349
6.1.1真空热处理的作用 349
6.1.2真空热处理的特点 351
6.1.3真空热处理的一般操作及工艺过程 352
6.1.4影响真空热处理的工艺参数 355
6.2真空热处理炉的结构 357
6.2.1真空热处理炉的分类 359
6.2.2真空热处理炉的结构 360
6.3真空热处理设备的设计 367
6.4真空热处理炉的典型结构及应用 368
6.4.1真空正压气淬和油淬炉的典型结构 368
6.4.2真空正压气淬的典型应用 371
6.4.3真空油淬的典型工艺 372
6.4.4真空回火炉的典型结构及应用 374
6.4.5真空渗碳炉及其应用 374
6.4.6真空热处理设备的选型 376
7真空干燥设备选型技术 379
7.1真空干燥设备的种类 379
7.2真空干燥设备的应用 380
7.2.1普通真空干燥设备的应用 380
7.2.2冷冻真空干燥设备的应用 382
7.3真空干燥设备的选择方法 388
7.3.1根据物料的性质选择真空干燥设备 388
7.3.2根据产品质量选择真空干燥设备 388
7.3.3真空干燥设备性能的选择 388
7.3.4真空冷冻干燥设备的选择 389
7.3.5真空干燥设备的效率 390
7.4几种普通真空干燥设备的选型技术 390
7.4.1双锥回转真空干燥设备的选型 390
7.4.2微波真空干燥设备的选型 393
7.4.3带式真空干燥设备的选型 397
7.4.4耙式真空干燥设备的选型 403
7.4.5圆盘刮板真空干燥设备的选型 407
7.4.6转鼓真空干燥设备的选型 412
7.4.7圆筒搅拌式真空干燥设备的选型 415
7.4.8振动流动真空干燥设备的选型 418
7.5冷冻真空干燥设备选型技术 422
7.5.1冷冻真空干燥设备类型的选择 422
7.5.2冷冻真空干燥设备性能的选择 423
7.5.3实验小型冻干机的选用 423
7.5.4医药用冻干机的选用 424
7.5.5食品用冷冻真空干燥设备的选型 427
7.5.6微波冷冻真空干燥设备的选型 429
8真空压力浸渍设备的选型技术 431
8.1 VPI技术的基本原理 431
8.2 VPI设备的构成 432
8.2.1真空干燥炉 432
8.2.2浸渍罐 432
8.2.3储漆罐 432
8.2.4真空系统与充气系统 433
8.2.5制冷系统与加热系统 433
8.3可供选择的几种典型VPI设备 433
8.4浸渍罐与储漆罐的结构选择 435
8.4.1浸渍罐的结构选择 435
8.4.2储漆罐的结构选择 435
8.5制冷系统与液压系统的选择 439
8.5.1制冷系统的选择 439
8.5.2液压系统的选择 440
8.6加热和输漆系统的选择 440
8.6.1瑞士Micafil公司的储漆加热、冷却及输漆过滤系统 440
8.6.2美国W.H公司输漆加热系统 441
8.6.3电加热器 442
8.7 VPI设备的使用与维护 442
9真空镀膜设备选型技术 444
9.1概述 444
9.1.1真空镀膜技术及其特点 444
9.1.2真空镀膜技术的应用 444
9.1.3真空镀膜技术的分类 445
9.2蒸发镀膜 447
9.2.1蒸发镀膜原理 447
9.2.2蒸发镀膜设备的结构 454
9.2.3蒸发镀膜的应用 466
9.2.4蒸发镀膜设备选型注意事项 470
9.3溅射镀膜 470
9.3.1溅射镀膜基本原理 470
9.3.2溅射镀膜的方式 473
9.3.3溅射镀膜的实例 499
9.3.4溅射镀膜机的选型 501
9.4离子镀膜 508
9.4.1离子镀膜原理 508
9.4.2离子镀膜装置 521
9.4.3离子镀膜的应用 535
9.5 CVD镀膜 540
9.5.1 CVD镀膜原理 540
9.5.2 CVD镀膜方法、类型及应用 542
9.5.3 CVD设备的选型常识 552
10真空钎焊设备选型技术 557
10.1真空钎焊概述 557
10.1.1真空钎焊的发展概况 557
10.1.2钎焊的定义和方法 557
10.1.3真空钎焊技术的特点 558
10.1.4真空钎焊技术的应用 558
10.2真空在钎焊过程中的作用 559
10.2.1保护作用 559
10.2.2除气作用 559
10.2.3净化作用 560
10.2.4蒸发作用 560
10.3真空钎焊工艺 561
10.3.1钎焊前的工件表面处理 561
10.3.2工件的组装和定位 561
10.3.3焊料装填 561
10.3.4工艺参数的选择 561
10.3.5影响钎焊质量的因素 564
10.3.6钎焊质量的验收方法 565
10.3.7无损检验 565
10.3.8破坏性检验 565
10.3.9工况模拟试验 565
10.4真空钎焊设备 565
10.4.1真空钎焊工艺对真空炉的要求 565
10.4.2真空钎焊炉的分类 566
10.4.3热壁真空钎焊炉 566
10.4.4冷壁真空钎焊炉 567
10.4.5真空钎焊设备的组成 569
10.4.6真空钎焊设备选型原则 570
10.4.7国内真空钎焊炉的现状及主要性能参数 570
10.5真空钎焊炉的性能试验与验收 571
10.5.1真空钎焊炉的主要技术指标 571
10.5.2真空钎焊炉的基本技术要求 571
10.5.3真空钎焊炉性能试验的方法 572
10.5.4真空钎焊炉的验收 574
11真空蒸馏设备选型技术 576
11.1概述 576
11.2减压蒸馏装置 576
11.3间歇式蒸馏装置 576
11.3.1蒸馏罐 576
11.3.2冷凝器 577
11.3.3阱 578
11.3.4蒸馏釜 578
11.4半连续蒸馏装置 581
11.5连续蒸馏装置 582
11.6连续精馏装置 583
11.6.1板式精馏塔 583
11.6.2填料塔 585
11.6.3薄膜塔 585
11.6.4旋转塔 585
11.7分子蒸馏装置 586
11.7.1分子蒸馏装置 587
11.7.2分子精馏设备 588
11.7.3各种分子蒸馏设备的主要特征 589
12真空包装设备选型技术 590
12.1真空包装原理与包装机分类 590
12.2机械挤压式真空包装机 590
12.3插管式真空包装机 590
12.4腔室式真空包装机 591
12.5输送带式真空包装机 591
12.6热成型真空包装机 593
12.7蓬松柔软物品缩体包装机 593
12.8回转真空室式包装机 594
12.9充气真空包装机 595
12.10真空包装机的选型 597
13真空输送设备选型技术 608
13.1真空输送原理及应用 608
13.1.1真空输送原理 608
13.1.2真空输送的应用 608
13.1.3真空输送的特点 609
13.2粉粒状物料真空吸送设备及选择 610
13.2.1真空吸送系统的构成 610
13.2.2氧化锌粉真空吸送设备 611
13.2.3粮食真空输送设备 613
13.2.4炭黑真空输送系统 615
13.2.5药品真空输送设备 618
13.2.6 SW/VR系列节能气力驱动型真空输送设备 619
13.2.7无菌真空输送机 620
13.2.8粉煤灰真空输送与分选一体化系统 620
13.2.9粉粒装物料真空吸送设备的选择 622
13.3液态物料的真空输送装置 622
13.3.1水库防汛无动力真空虹吸溢洪装置 622
13.3.2真空高速流装置 623
13.4固态物料的真空吸吊装置及选择 627
13.4.1基本原理 627
13.4.2特点 627
13.4.3门式真空吸吊机 628
13.4.4 VacuPowerLift系列真空吊具 628
13.4.5 AutomacVLG系列真空吊具 629
13.4.6真空搬运装置 630
13.4.7真空起重机 630
13.5垃圾灰尘清理设备及选型 631
13.5.1 HV系列工业吸尘器 631
13.5.2 VW3600-9气力吸排车 632
13.5.3 UV吸尘车系列 633
13.5.4 T3000-8吸尘车（new） 633
13.5.5 UV工作站系列 633
13.5.6集疏通清理/真空抽吸一体化的清污车 633
13.5.7 RV系列 637
13.5.8截料斗与截料车 637
13.5.9管网、吸嘴等附件的选择 637
13.6真空吸鱼泵 639
13.6.1吸鱼泵种类及特点 639
13.6.2 PV-500型活鱼吸取泵 640
13.6.3射流式吸鱼泵 640
13.6.4网箱真空活鱼起捕机和真空吸鱼泵 640
14真空过滤设备选型技术 642
14.1真空过滤设备简介 642
14.1.1真空过滤设备的工作原理 642
14.1.2真空过滤机的特点 643
14.1.3真空过滤机的分类 643
14.2转鼓式真空过滤机 644
14.2.1刮刀卸料式转鼓真空过滤机 644
14.2.2滤布行走式转鼓真空过滤机 646
14.3圆盘式真空过滤机 647
14.3.1结构与原理 647
14.3.2发展趋势 648
14.3.3特征及用途 649
14.3.4陶瓷圆盘真空过滤机 649
14.4带式真空过滤机 650
14.4.1固定室型真空带式过滤机 651
14.4.2移动室型带式真空过滤机 652
14.4.3滤带间歇运动型真空带式过滤机 652
14.4.4连续移动盘带式真空过滤机 653
14.5真空过滤机的选型 655
14.5.1选型的依据 655
14.5.2选型的基本原则 656
15真空绝热设备选型技术 658
15.1真空低温容器选型 658
15.1.1概述 658
15.1.2我国真空低温容器的发展和应用 658
15.1.3真空低温容器的分类 661
15.1.4低温容器典型结构介绍 665
15.1.5低温容器选择要点 675
15.1.6低温容器的特性 677
15.1.7真空低温容器的选择原则 678
15.2真空玻璃 680
15.2.1真空玻璃概述 680
15.2.2真空玻璃的制造工艺 680
15.2.3真空玻璃的性能 681
15.2.4真空玻璃的隔热原理 684
15.2.5真空玻璃中的应力 686
15.2.6真空玻璃的除气与抽空 687
15.2.7选用真空玻璃的注意事项 688
16真空设备用油的选型技术 691
16.1真空泵油 691
16.1.1真空泵油的性能 691
16.1.2真空泵油的分类 693
16.1.3真空泵油的质量标准 695
16.1.4国外真空泵油质量标准 698
16.1.5真空泵油的选用 699
16.1.6真空泵油的使用事项及换油期限 703
16.2油蒸气流泵油 705
16.2.1增压泵油 705
16.2.2惠丰HFV-Z增压泵油 706
16.3油蒸气流泵（扩散泵） 707
16.3.1矿物油型扩散泵油的选用 707
16.3.2合成油型扩散泵油 708
16.3.3扩散泵油的使用注意事项 708
16.4真空密封油 709
16.4.1真空密封油的特性 709
16.4.2真空密封油的用途 709
16.4.3真空密封油的质量标准 710
16.5真空淬火油 710
16.5.1真空淬火油的特性 710
16.5.2真空淬火油的用途 710
16.5.3真空淬火油的质量指标 710
16.5.4真空油淬时注意的几个问题 711
16.6真空密封脂 711
16.6.1真空密封脂的特性 711
16.6.2真空密封脂的用途 711
16.6.3真空密封脂的质量指标 712
16.7分子泵油 712
16.7.1分子泵油的特性 712
16.7.2分子泵油的用途 712
16.7.3分子泵油的质量指标 712
16.7.4分子泵油的更换和维护 713
16.8真空用润滑油（脂）技术问答 713
参考文献 719
附录 企业名录 721
北京市 721
天津市 727
重庆市 728
河北省 728
河南省 729
宁夏回族自治区 730
山西省 730
吉林省 730
贵州省 730
云南省 730
湖北省 730
湖南省 731
江西省 732
四川省 732
陕西省 734
广东省 735
江苏省 744
浙江省 750
福建省 758
安徽省 758
山东省 758
辽宁省 763
上海市 768
甘肃省 775
外资企业 776