第1章 气体传感器研究概述 1
1.1 半导体气体传感器简介 2
1.2 宽禁带TiO2纳米半导体材料 4
1.3 国内外TiO2气体传感器的研究进展 20
1.4 研究的目的及意义 29
第2章 薄膜特性分析与Si/TiO2异质结构的能带 34
2.1 TiO2的晶格结构 34
2.2 氧传感器的薄膜敏感原理 38
2.3 薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算（一维近似） 39
2.4 Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构 43
2.5 Si/TiO2异质结构的能带图 51
第3章 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制 62
3.1 氧传感器的基本结构 62
3.2 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺 64
3.3 宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制 68
3.4 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制 71
第4章 TiO2纳米层壳结构薄膜的制备 76
4.1 W-TiO2薄膜的制备与分析 77
4.2 Pt-TiO2薄膜的制备与分析 86
4.3 TiO2纳米球壳的制备与分析 91
4.4 TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与SEM分析 101
第5章 氧传感器性能的测定与分析 104
5.1 工作温度对基准电流的影响 105
5.2 环境湿度对基准电流的影响 106
5.3 输出曲线的测量 108
5.4 选择性 109
5.5 响应－恢复时间 111
参考文献 117
后记 137