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《真空镀膜原理与技术》PDF下载
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作 者：方应翠主编；沈杰，解志强副主编
出 版 社：北京：科学出版社
出版年份：2014
ISBN：9787030398987
页数：213 页
图书介绍：本书阐述了真空镀膜的应用，以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程，探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法，包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用。
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