6运用热释电和热电效应的气体传感器 1
1传感器工作的基本原理 1
2热能转换材料 2
3制造与封装 6
4参数 9
5传感器参数的优化方法 12
6应用领域与传感器市场 20
7总结 23
参考文献 23
7量热式传感器 27
1引言 27
2量热式传感器的基本原理 28
3催化燃烧设备 32
4薄膜与MEMS设备 32
5材料 39
6毒化 41
7信号分析与运行模式 43
8封装 45
9应用 49
10结论 55
参考文献 55
8基于微悬臂梁的化学传感器 61
1引言 61
2微悬臂梁及其运行模式 62
3微悬臂偏转检测方法 64
4谐振工作模式 69
5微悬臂梁的弯曲行为 72
6励磁技术 74
7微悬臂梁的制备 75
8表面功能化 82
9微悬臂梁式传感器 89
10悬臂梁式化学传感器的应用 91
11生物传感器的应用 100
12超敏感纳米悬臂梁 103
13基于微机械悬臂梁阵列的电子鼻 104
14商业地位 107
15展望与未来趋势 107
参考文献 108
9石英晶体微天平 117
1引言 117
2压电材料 121
3石英晶体微天平（QCM）的操作基础 126
4 QCM反应的理论分析 137
5 QCM传感器的应用 150
6展望 168
7石英晶体与石英晶体微平衡公司 169
8术语 169
9致谢 171
10推荐延伸阅读 171
参考文献 171
10声表面波传感器的化学应用 187
1引言 187
2最先进的声表面波（SAW）传感器 188
3包覆材料 197
4应用 204
5表面与体声波设备的比较 211
6 SAW传感器的市场 211
7 SAW传感器的功能与局限性 213
8展望 215
参考文献 215
11集成化学传感器 225
1引言 225
2 CMOS技术 226
3 NIST CMOS MEMS技术 234
4 CMU CMOS MEMS技术 238
5 Jazz SiGe BiCMOS技术 244
6集成CMOS技术的其他类型MEMS气体传感器 247
7结论 251
参考文献 251
索引 255