第1章 光学镜头优化设计概述 1
1.1 引言 1
1.2 光学镜头设计中常用优化方法的数学原理 2
1.2.1 适应法 3
1.2.2 阻尼最小二乘法 4
1.2.3 阻尼因子ρ、权重因子μj和评价函数φ 4
1.2.4 边界条件 5
第2章 简单镜头设计实例 7
2.1 He-Ne激光光束聚焦物镜设计 7
2.1.1 镜头片数及玻璃选择的考虑和初步分析 7
2.1.2 以“正前凸”型为基础的高折射率双片镜头的优化设计 11
2.1.3 以“负前凸”型为基础的高折射率双片镜头的优化设计 22
2.1.4 以“负前凹”型为基础的高折射率双片镜头的优化设计 28
2.2 激光扫描物镜设计 37
2.2.1 自行构造评价函数优化设计激光扫描物镜 39
2.2.2 利用ZEMAX程序提供的默认评价函数优化设计激光扫描物镜 46
2.3 -5x显微物镜设计 52
2.3.1 依据初级像差理论求解初始结构 53
2.3.2 -5x显微物镜的优化设计例1 55
2.3.3 -5x显微物镜的优化设计例2 59
第3章 三片镜头设计实例 65
3.1 三片摄影物镜的优化设计 65
3.1.1 Richard Ditteon三片摄影物镜的初始解 65
3.1.2 Richard Ditteon三片摄影物镜的优化设计例1 69
3.1.3 Richard Ditteon三片摄影物镜的优化设计例2 95
3.2 三片数码相机物镜的优化设计 112
3.3 大孔径望远物镜优化设计例1 130
3.4 大孔径望远物镜优化设计例2 140
3.5 三片低折射率激光聚焦物镜的优化设计 145
3.6 测距仪接收系统的优化设计 151
第4章 中等复杂镜头设计实例 156
4.1 中倍李斯特显微物镜优化设计例1 156
4.1.1 用改进了的配合法设计李斯特显微物镜 157
4.1.2 优化校正李斯特物镜的像散例1 167
4.1.3 优化校正李斯特物镜的像散例2 176
4.2 中倍李斯特显微物镜优化设计例2 197
4.3 四片放映物镜优化设计例1 208
4.4 四片放映物镜优化设计例2 222
4.5 双高斯物镜优化设计例1 243
4.6 双高斯物镜优化设计例2 257
4.7 双高斯物镜优化设计例3 265
第5章 非球面镜头设计实例 278
5.1 引言 278
5.2 非球面激光光束聚焦物镜优化设计 280
5.3 孔径角大于62°、后工作距大于22mm的非球面聚光镜优化设计 284
5.4 非球面光电转换耦合镜头优化设计 294
5.5 总长短的非球面广角物镜优化设计 301
第6章 复杂镜头设计实例 326
6.1 紫外投影光刻物镜的光路分析、消像差方案及初始基型选择 326
6.2 紫外投影光刻物镜后半部ga的优化设计 329
6.3 紫外投影光刻物镜前半部gb的优化设计 337
6.4 紫外投影光刻物镜的优化设计 340
6.5 优化改进参考文献［17］中的光刻物镜范例 354
附录 361
附录A 初级像差系数 361
附录B 平行平板的初级像差系数 362
附录C 薄透镜初级像差系数的PW表示式 363
附录D 双胶薄透镜的求解步骤 364
参考文献 366