第一部分 总论（概述） 1
关于扫描电子显微镜实验室认证与认可问题的释疑 周剑雄 等 1
关于扫描电镜测长及其标准化的讨论 周剑雄 等 13
第二部分 有关的计量规程和相关标准的评述 20
扫描电子显微镜试行检定规程（JJG 550—88）评述 周剑雄 等 20
分析型扫描电子显微镜检定规程（JJG(教委)010—1996）评述 周剑雄 等 29
电子探针分析仪检定规程（JJG 901—1995）评述 周剑雄 等 36
电子探针分析仪的检测方法（GB/T 15075—94）评述 周剑雄 等 46
金覆盖层厚度的扫描电镜测量方法（GB/T 12334—2001）评述 周剑雄 等 52
微束分析-扫描电镜-图像放大倍率校准导则（ISO 16700—2004）评述 周剑雄 等 58
微米级长度的扫描电镜测量方法（GB/T 16594—96）评述 周剑雄 等 70
纳米级长度的扫描电镜测量方法评述 周剑雄 等 75
用于扫描电镜图像放大倍率校准的三个微米级栅网图形有证标准样品的研究 周剑雄 等 90
第三部分 有关的实物标准样品的研究和介绍 90
S1000—S5000系列微米—亚微米级扫描电镜图像放大倍率校准标准样品的研制报告 周剑雄 等 107
采用计量型扫描力显微镜可溯源标定微纳米标准样板 戴高良 等 132
100nm线距标准的计量应用的评定 陈振宇 编译 147
国内外扫描电镜用微米纳米长度标准样板的研制概况 陈振宇 等 154
扫描电镜的分辨力测量和分辨力标样的研制 周剑雄 等 171
扫描电镜、电子探针的分辨力及放大倍率 李香庭 182
PTB扫描电镜计量系统及其应用简介 陈振宇 编译 186
扫描电镜测量长度的不确定度评定 朱莉 等 194
测量不确定度的评定与表示的讨论 张训彪 等 199
第四部分 其他讨论性论文 213
纳米技术与纳米计量 高思田 等 213
纳米长度测量的标准化研究 盛克平 等 224
扫描电镜中成分分析的标准化技术研究 周剑雄 231