第1章 光电仪器设计概论 1
1.1 概述 1
1.2 光电仪器的设计特点与组成 12
1.3 光电仪器的静态特性 13
1.4 精密仪器的动态特性 16
第2章 光电仪器总体设计 20
2.1 设计任务分析 20
2.2 信号转换原理的选择 23
2.3 提高仪器精度的技术措施——仪器设计若干原则和设计原理的讨论 24
2.4 仪器结构参数及技术指标的确定 40
2.5 总体设计中应考虑的其他问题 43
2.6 仪器设计总体方案的确定 45
第3章 仪器设计的精度理论 46
3.1 仪器精度理论中的基本概念综述 46
3.2 原理误差 50
3.3 仪器机构误差分析及常见误差计算方法 55
3.4 仪器精度设计与误差分配 67
3.5 总体精度分析的目的和方法 70
3.6 仪器精度和测量精度 72
第4章 机械系统设计 75
4.1 支撑件 75
4.2 主轴系统 85
4.3 导轨 101
第5章 光电仪器的光电系统设计 122
5.1 光电探测器及其选用 122
5.2 光电信号检测电路设计 136
5.3 时变光信号的调制检测 155
5.4 光电仪器中的光学系统参数的确定 166
第6章 激光在精密测量中的应用 195
6.1 激光的新颖特点 195
6.2 光谱线的宽度 201
6.3 激光在精密计量中的应用 208
7.1 光栅的类型 225
第7章 光栅与读数装置 225
7.2 莫尔条纹原理 226
7.3 光栅的零位系统 234
7.4 光栅参数的选择 235
7.5 光栅的误差 237
7.6 光栅的固定和调整方法 238
7.7 光栅的光电读数 239
7.8 光栅读数头 244
7.9 光栅读数头主要光电参数的选择 249
参考文献 254