第1章 静电基本概念 1
1.1 静电的定义与不同类型的电 1
1.1.1 静电具有的特点 1
1.1.2 不同类型的电 1
1.1.3 几种常见的静电物理量纲及换算 2
1.2 静电的产生 2
1.2.1 固体起电 2
1.2.2 粉体起电 5
1.2.3 液体起电 6
1.3 静电场 7
1.3.1 电场强度 7
1.3.2 静电电压 7
1.3.3 静电电位 8
1.4 静电屏蔽、导静电、静电耗散、静电绝缘材料的划分 8
1.4.1 导静电和静电屏蔽材料 8
1.4.2 静电耗散材料 8
1.5 摩擦分离起电的极性排列与难起静电材料（抗静电材料） 9
1.4.3 静电绝缘材料 9
1.6 静电感应与静电屏蔽 10
1.6.1 静电感应 10
1.6.2 静电屏蔽 11
1.6.3 法拉第筒（笼） 13
第2章 电子工业中的静电问题 15
2.1 静电效应与静电对微电子制造业的危害 16
2.1.1 静电效应 16
2.1.2 静电对微电子制造业的危害形式 17
2.2 静电放电敏感器件（SSD或ESDS器件） 19
2.2.1 器件ESD损伤失效模式 19
2.2.2 SSD的分级 23
2.3 电子工业静电损害事例及统计 26
2.3.1 电子器件损失统计 26
2.3.2 典型事例 27
2.4 电子生产、使用环境中的静电源与静电防护场所 28
2.4.1 人体静电与人体用品 29
2.4.4 各类工作表面、工具（包括气动工具、吸锡器等） 32
2.4.5 装配、清洗、试验和修理过程 32
2.4.3 各种包装容器、物流传递用品和传输带（线） 32
2.4.2 树脂、浸漆封装表面 32
2.4.6 各种绝缘地面 33
2.4.7 生产、装联、焊接、检验、高低温处理等设备 33
2.4.8 接地系统和电源 33
2.4.9 生产、存储环境中的绝缘物和对地绝缘的导体 34
2.4.10 环境电磁场 34
2.4.11 有静电防护要求的场所 34
3.1.1 静电耗散及泄漏一般要求 35
3.1 静电耗散及泄漏 35
第3章 静电防护原理 35
3.1.2 耗散与接地的特殊情况 37
3.1.3 防静电材料（装备）使用中的安全问题 37
3.2 静电中和 38
3.3 静电屏蔽与接地 39
3.4 环境增湿 40
3.5 电子产品ESD的防护设计 40
3.5.1 SSD ESD保护电路的设置 40
3.5.2 电子设备的ESD防护 45
4.1.1 EPA定义和总体技术要求 47
第4章 防静电工作区（EPA）的构成和技术要求 47
4.1 EPA的构成 47
4.1.2 EPA硬件组成和要求 48
4.1.3 软件与管理方面要求 49
4.1.4 在EPA内防静电用品、装联生产设备、特殊装备（车辆、航空器）的要求 50
4.1.5 EPA环境要求 70
4.2 EPA内的接地与防雷 76
4.2.1 安全保护接地 76
4.2.2 工作接地 77
4.2.3 重复接地 78
4.2.4 中性点、零点和中性线、零线 79
4.2.5 屏蔽接地 80
4.2.6 直流接地 80
4.2.7 信号接地 80
4.2.8 防静电接地 80
4.2.9 EPA防雷接地与防雷设计 80
4.2.10 EPA防静电接地及与其他接地的关系 89
第5章 EPA的防静电工艺与质量管理 95
5.1 EPA的防静电工艺及要求 95
5.1.1 SSD的进厂检验 101
5.1.2 SSD的运输、存储、保管 102
5.1.3 配、收、发、领、退料中的要求 103
5.1.4 预处理过程中的要求 104
5.1.5 印制电路板装插、焊接过程中的要求 104
5.1.6 印制电路板测试检验过程中的要求 105
5.1.7 印制电路板中间处理过程中的要求 106
5.1.8 试运转、观察及老炼过程中的要求 106
5.2.1 静电分析 107
5.2 EPA的质量管理与企业ESD防护培训 107
5.1.9 包装的静电防护工艺要求 107
5.2.2 SSD的静电防护性能设计 108
5.2.3 EPA的管理要求 108
5.2.4 防静电工程设计和管理 109
5.2.5 企业职工对ESD的培训与考核 111
第6章 EPA防静电系统的检验 112
6.1 电阻的测试与电阻率的计算 113
6.1.1 电阻和电阻率的定义 113
6.1.2 电阻测试原理 114
6.1.3 测试电极 117
6.1.4 电阻测试与表面、体积电阻率计算 120
6.1.5 电阻测试时的注意事项 123
6.2 静电电压衰减时间的测试 125
6.2.1 静电电压衰减时间（期）的定义 125
6.2.2 静电电压衰减时间测试原理 125
6.2.3 静电电压衰减期时间测试注意事项 127
6.3 静电屏蔽性能的检测 127
6.3.1 检测仪器和测试原理 128
6.3.2 测试注意事项 129
6.4 摩擦起电电压与EPA系统静电电位（电压）测试 130
6.4.1 EPA系统静电电位（电压）测试 130
6.4.2 摩擦起电电压测试 136
6.5 静电电量测试与计算 141
6.5.1 测试要求 141
6.5.2 静电电量计算 142
6.6 各类防静电产品（材料）、工程的测试和时效检验 143
6.6.1 腕带 143
6.6.3 防静电鞋电阻的测试 144
6.6.2 EPA人体综合电阻测试 144
6.6.4 手套（指套）、帽、袜、鞋束、工具（刷）、气动工具的电阻测试 145
6.6.5 防静电工作服的测试 146
6.6.6 集成电路防静电包装管的测试 147
6.6.7 柔韧性包装类（包括发泡垫、海绵类）的测试 147
6.6.8 周转容器、盒的测试 147
6.6.9 窗帘的测试 147
6.6.12 坐椅、工作台、运转车电阻的测试 148
6.6.11 防静电液、蜡表面电阻的测试 148
6.6.10 墙面静电泄漏电阻的测试 148
6.6.13 地面、地垫的测试 149
6.6.14 离子静电消除器消除静电性能的测试方法 150
6.6.15 传输带系统电阻的测试 153
6.6.16 吸锡器、电烙铁电阻的测试 153
6.6.17 防静电产品和工程的时效检验 153
第7章 静电放电模型与器件、设备ESD敏感度测试 155
7.1 静电放电模型与ESD敏感度测试 155
7.1.1 人体模型（HBM） 155
7.1.2 机器模型（MM） 158
7.1.3 带电器件模型（CDM） 160
7.1.4 带电电路板模型 164
7.1.5 人体—金属ESD模拟器 164
7.1.6 家具ESD模型 166
7.1.7 几种广泛应用的ESD模型的对比 166
7.1.8 设备的ESD试验 167
7.2 静电放电模拟器简介 170
7.2.1 ESD模拟器的放电方式 170
7.2.2 常用ESD模拟器介绍 172
7.2.3 放电试验注意事项 174
附录A 本书专业名词英文缩写 176
附录B GB/T15463—95静电安全名词术语 177
附录C IEC61340—5—1《静电场中电子器件的防护——“一般要求”》表 194
附录D 《静电放电控制程序》前言与静电放电协会标准 196
附录E JGB1649—93《电子产品防静电控制大纲》之附录A 静电放电敏感度分级试验（补充件） 215
附录F 常用物理量纲表 222
附录G 国内外部分防静电标准及相关标准目录 224
附录H 静电防护指南习题集 229
参考文献 249