《薄膜材料的制备及应用》PDF下载

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  • 作  者:刘琳,刑锦娟,钱建华编著
  • 出 版 社:沈阳:东北大学出版社
  • 出版年份:2011
  • ISBN:9787551700917
  • 页数:174 页
图书介绍:本书包括以下主要内容:导论;薄膜制备的物理方法;第一章薄膜制备的化学方法;第二章薄膜技术应用;第三章薄膜的装置;第四章薄膜的形成、结构与缺陷;第五章特殊薄膜材料等。

第一章 导论 1

第一节 膜的定义及组件 1

第二节 膜的分类 3

第三节 膜的结构与性能 5

第四节 膜技术发展史及现状 8

第二章 薄膜制备的物理方法 10

第一节 真空蒸发 10

第二节 溅射 27

第三节 离子束和离子助 53

第四节 外延膜沉积技术 70

第五节 其他制备薄膜的方法 82

第三章 薄膜制备的化学方法 85

第一节 热生长 85

第二节 化学气相沉积 86

第三节 电镀 107

第四节 化学镀 109

第五节 阳极反应沉积法 110

第六节 LB技术 111

第四章 薄膜材料 114

第一节 超硬薄膜材料 114

第二节 智能薄膜材料 127

第三节 纳米薄膜材料 130

第五章 膜技术应用 135

第一节 膜技术在生活用水净化方面的应用 135

第二节 膜技术在环保方面的应用 141

第三节 膜技术在食品工业方面的应用 147

第四节 膜技术在医疗、卫生方面的应用 158

第五节 膜技术在石油化工中的应用 165

第六节 我国膜技术发展现状及前景 169

参考文献 171