第1章 幸福生活从美丽与微观开始 2
001展现缤纷色彩的颜料 用微小粉末描绘美丽世界 2
002复制美丽——相片 彩色相片与数码相机 4
003薄膜技术使机器人不断进化 利用薄膜材料与计算机进行精密制备 6
004创造五种感官 视觉、听觉、嗅觉、味觉与触觉的创造 8
005制造人工智能 10
006我们身边的电子产品都在使用薄膜 12
007利用不分解的压延技术，可以薄到什么程度 14
008制造薄膜与制作精细图案 16
COLUMN真空的含义 18
第2章 制备薄膜的重要环境条件——真空 20
009真空——压强低于大气压的空间状态 20
010 真空的单位与压强的单位:帕斯卡（Pa） 22
011 抽出和吸附——真空泵的分类 24
012 真空的分析和测量 真空计 26
013 真空装置的制造方法 28
COLUMN 质量瞬移 30
第3章 薄膜的制备 32
014 薄膜的形成——先气化，再固化沉积 32
015 四种气化源 34
016 单层生长与形核长大 薄膜的生长① 36
017薄膜内部缺陷 薄膜的生长② 38
018仅有薄膜还不够 薄膜与基板的结合 40
019 目标:单晶薄膜 42
COLUMN出身和教育同样重要 44
第4章 薄膜特有的性质 46
020薄膜的密度和厚度会随时间减小 46
021薄膜电阻的变化比体材料大 48
022热稳定性降低 通过时效处理加以克服 50
COLUMN薄膜和基板的连接 52
第5章 增强基板与薄膜结合的技术 54
023制膜的基础平整的基板 54
024前期处理:使基板表面完全裸露 56
025前期处理的最后工序:干燥 58
026制备附着强度更强的薄膜 60
027改变气化源、增加附着强度 62
028薄膜与基板的相合性更为重要 64
029着陆点:险峻的山地 66
030得到希望的薄膜组成 68
031制造用于大面积集成电路的非晶薄膜 70
032电迁移断线及其解决方法 72
COLUMN 太阳之子——等离子体 74
第6章 等离子体在薄膜制备中的重要性 76
033等离子体的神奇之处及其应用 76
034通过放电获得等离子体 78
035低气压（良好真空）下的磁控放电 80
036产生薄膜用等离子体的五种方法 82
037薄膜制备的难题——尘埃 84
COLUMN望远镜和照相机视场变亮的奥秘 86
第7章 从古代沿用至今的蒸镀法 88
038蒸发源 88
039加工等厚膜的方法 90
040离子镀的使用 92
041进一步发挥离子的作用 94
042防止蒸镀材料与薄膜间的成分变化 激光沉积法 96
043制作透明导电的薄膜 透明导电薄膜的蒸镀方法 98
COLUMN活学活用 100
第8章 大面积气化源、适于批量生产的溅射法 102
044溅射率是由离子能量和薄膜材料的种类决定的 102
045溅射产生的原子遵循余弦法则且速度非常快 104
046溅射的主要方式 106
047以低电压、定压（高真空）为目标的磁控溅射 108
048支撑半导体lC高集成度发展的铝合金溅射 110
049利用反应溅射制作高性能电阻膜 112
050用溅射法制作氧化物高温超导膜 114
051低电压下制造透明导电膜（氧化物）lTO 116
052薄膜加工的过渡——从平面成膜到微孔成膜 118
053利用离子进行超微细孔的填埋 120
054向高真空、无？气溅射的过渡 122
COLUMN神奇的过程——从气体到薄膜 124
第9章 由气体制作薄膜的气相沉积法 126
055气体向固体的转变:薄膜的气相沉积 126
056很多的CVD方法已被实用化 128
057CVD法制备lC中至关重要的硅系薄膜 130
058高清彩色电视用的硅薄膜 132
059高诱电率薄膜和低诱电率薄膜的制作 134
060用气相沉积法制备金属导体薄膜 136
061表面改性法制备氧化薄膜、氮化薄膜 138
COLUMN从水（液体）中提取薄膜（固体） 140
第10章 在液体中制作镀膜 142
062镀膜技术的发展 142
063液相镀膜和真空薄膜中的核生长 144
064 精密镀膜在电气领域的应用 146
COLUMN用世界上最小的刀进行切削加工 148
第11章 将薄膜加工成电路、晶体管等的蚀刻技术 150
065 05 蚀刻法制备图样:在正确的位置加工正确的形状 150
066用气体离子进行蚀刻 152
067 最关键的一步——等离子体的制备 154
068反应气体是重要的 156
069 决定蚀刻的条件 158
070利用极细离子束进行故障修理 160
071利用CMP进行平坦化处理 162
072无CMP的平坦化技术 164
COLUMN向伟大的梦想前进! 166
第12章 薄膜发展的无限可能性 168
073操控原子，制造未来仪器 168
074薄膜——带动世界通信网络发展 170
075用微动同步器挽救生命 172
076生物计算机的使用 174
参考文献 177
译后记 180