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《微纳尺度制造工程 英文版》PDF下载
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作 者:(美)坎贝尔著
出 版 社:北京:电子工业出版社
出版年份:2010
ISBN:9787121118043
页数:638 页
图书介绍:本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新增加的内容包括原子层淀积、电镀铜、浸润式光刻、纳米压印与软光刻、薄膜器件、有机发光二极管以及应变技术在CMOS工艺中的应用等,对于其他已经过时的或不再具有先进性的题材则做了适当的简化或删除处理。
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