图形和表 5
缩略词 8
前言 10
第1章 绪论 22
1.1 背景 22
1.2 任务综述 23
1.3 “微”“纳”米的具体涵义 24
1.4 机构报告与方法 29
参考文献 29
第2章 微纳米技术前景的展望 30
2.1 现状综述 30
2.2 半导体的国际技术规划 30
2.3 2001年MEMS工业组年度报告 33
2.4 美国国家纳米技术创新计划 34
2.5 纳米技术的世界前景 36
参考文献 37
第3章 纳米技术的主要拓展领域 38
3.1 信息技术 38
1．摘要 38
2．计算能力——设备 39
3．计算能力——结构 50
4．存储 54
5．通信 56
6．电气限制 58
7．光学限制 60
8．微机电系统（MEMS） 60
9．信号和信息处理以及数据融合 64
10．研究结论和建议 66
3.2 传感器 68
1．简介 68
2．分离的分布式传感器 68
3．未来的意义 69
4．化学和生物领域的传感器 74
5．自传感 76
6．分布式传感器系统 79
7．研究结论和建议 82
3.3 生物激励材料和系统 82
1．改善传感、通信和信号处理中的仿生学 83
2．人类能力的伸展——作为人类一部分的机器 84
1．简介 85
3．研究结论和建议 85
3.4 结构材料 85
2．轻质材料 86
3．改善涂层 88
4．多功能结构 89
5．MEMS材料 90
6．技术问题和发展领域 91
7．研究结论和建议 92
3.5 空气动力学——推进力和动力 92
1．飞行工具空气动力学 93
2．空中工具的推进力和动力 94
3．运载工具推进 98
4．太空船推进 100
5．空间动力产生 104
6．研究结论和建议 105
参考文献 105
第4章 可实现制造技术 120
4.1 制造（成形）方法 120
1．光刻技术和图形化 121
2．自组装 127
3．传统的光刻技术和自动装配成形技术的融合 129
4.2 主流硅技术与纳米器件的集成 131
1．装配 131
2．直接装配 132
3．DNA辅助装配 133
4．封装 136
5．可靠性与生产能力 137
6．产量及效率 138
4.3 商业化 139
1．用新技术制造的产品的辨识 139
2．新技术的技术细节 140
3．开明的企业管理 140
4．产品成本的大量削减 140
5．政府在新技术推广中的角色 141
6．制造业的复杂性对商业化的影响 143
7．事例研究：德州仪器和数字镜器件 143
4.7 研究结论和建议 146
参考文献 147
第5章 空军微纳米技术的计划和前景 152
5.1 微纳米技术对空军任务的影响 152
1．AFRL在微纳米技术的研究计划 153
5.2 空军在微纳米技术方面目前的投资 153
2．AFOSR在纳米技术方面的基础研究 155
5.3 国防部和空军的投资方向 158
5.4 空军投资的策略和挑战 161
5.5 研究结论和建议 163
参考文献 164
第6章 微纳米技术契机 165
6.1 突出的主题 165
1．增强的信息能力 165
2．微型化 166
3．新工程材料 166
4．增强的自动化和功能化 166
6.2 空军任务作为微纳米技术的驱动 167
6.3 契机出现的领域 168
1．航天飞行器及系统 169
2．武器系统 172
3．航空飞行器及系统 173
6.4 研究结论和建议 176
参考文献 176
第7章 研究结论和建议 177
7.1 重要研究结论和建议 177
1．技术 177
2．政策 179
7.2 特殊的研究结论和建议 181
附录A 制造、设计及可靠性 184
附录B 委员会简介 186
附录C 会议和主要活动 191