目 录 1
第一章 田口方法与品质工程原理 1
§1.1前言 1
§1.2 田口的哲学观念及田口方法 2
§1.3参数的分类 3
§1.4品质工程原理 6
§1.5品质管制在各阶段中的要务 9
第二章品质损失函数…………………………………………………………（13 ）§2.1品质、成本与低成本品质工程观念的启发 13
§2.2工程设计、工程规格与实验计划 15
§2.3直交表与实验计划 16
§2.4对数、指数的说明与启发 16
§2.5品质损失函数 18
§2.6二次方程式品质损失函数 21
§2.7平均品质损失 25
第三章直交表与应用实例研究 29
§3.1定义：直交与直交原理 29
§3.2直交表的直交性证明 30
§3.3直交表的使用 36
第四章 实验计划与制程改善模式 39
§4.1实验计划的目的与主要构成项目 39
§4.2应用直交表的实验说明 40
§4.3直交表解析与实验指示说明 42
§4.4主效果与交互作用的计算与说明 44
§4.5重要因果图解分析、可控制项目、实验指示书与制程改善模式 46
第五章品质计量法基础 50
§5.1品质管理的发展 50
§5.2品质计量法 52
§5.3举例分析 53
§5.4三种品质计量方法之比较 56
第六章 田口方法的运用步骤与著名案例 58
§6.1 田口方法的运用步骤 58
§6.2田口博士著名案例——磁砖制程设计 60
§6.3变异数分析（Analysis ofVariance） 66
§6.4新旧田口方法的对比 69
第七章SN比与品质特性基础 73
§7.1 SN比的概念和定义公式 73
§7.2田口方法中的静态特性 75
§7.3 田口方法中的动态特性 83
§7.4举例解析 86
第八章应用直交表的矩阵实验 110
§8.1矩阵实验 110
§8.2因素效应的估量 112
§8.3因素效应的可累加模型 114
§8.4变异的分析 116
§8.5 自由度、变异比与AN0VA变异分析表 120
§8.6预测及诊断 122
第九章选择直交表与线性图解 126
§9.1标准直交表的选择 126
§9.2空水准的处理技术 128
§9.3复合因素技术 130
§9.4线性图解及交互作用的分派 131
§9.5编制一份直交表的策略 135
第十章 田口方法计算过程说明 139
§10.1实验数据解析的计算过程说明 139
§10.2田口式品质工程技术——L18（21×37）手算法说明 145
§10.3资料分析 158
§10.4确认实验结果 162
§10.5 田口式品质工程——瓷砖制程改良案例 163
§11.1田口博士著名案例——“瓷砖工厂的实验” 166
第十一章著名范例与解题技巧说明 166
§11.2电脑软件验算示范说明 171
第十二章多晶矽沉淀的专案研究 174
§12.1稳健设计的规划说明 174
§12.2多晶矽沉淀（Polysilicon Deposition）程序及其功能 175
§12.3杂音因素及实验情况 176
§12.4品质特性及目标函数 177
§12.5控制因素及其水准 179
§12.6矩阵实验及数据分析计划 181
§12.7矩阵实验的实施 183
§12.8数据的分析 186
§12.9验证实验及未来计划 192
§12.10多晶矽沉淀专案的软件计算验证 195
第十三章整板电镀改善项目 207
§14.1一线铜操作规范（修订前） 211
第十四章一线铜品质改善专案 211
§14.2一线铜操作规范（修订后） 216
第十五章L4（23）直交表技术系统展开 217
§15.1 L4（23）直交表——系统展开 217
§15.2 Le（23）直交表——提升制程良率技术 218
§15.3 L4（23）直交表——静态望小特性 219
§15.4 L4（23）直交表——静态望大特性 221
第十六章L8（27）直交表技术系统展开 224
§16.1 L8（27）直交表——系统展开 224
§16.2 L8（27）直交表——提升制程良率技术 228
§16.3 L8（27）直交表——静态望小特性 229
§16.4 L8（27）直交表——静态望大特性 232
第十七章L16（215）直交表技术系统展开 235
§17.1 L16（215）直交表——系统展开 235
§17.2 L16（215）直交表——提升制程良率技术 236
§17.3 L16（215）直交表——静态望小特性 238
§17.4 L16（215）直交表——静态望大特性 241
第十八章L9（34）直交表技术系统展开 245
§18.1 L9（34）直交表——系统展开 245
§18.2L9（34）直交表——提升制程良率技术 249
§18.3 L9（34）直交表——静态望小特性 250
§18.4 L9（34）直交表——静态望大特性 253
第十九章L27（313）直交表技术系统展开 257
§19.1 L27（313）直交表——系统展开 257
§19.2 L27（313）直交表——提升制程良率技术 259
§19.3 L27（313）直交表——静态望小特性 261
§19.4 L27（313）直交表——静态望大特性 264
第二十章L18（21×37）直交表技术系统展开 268
§20.1 L18（21×37）直交表——系统展开 268
§20.2 L18（21×37）直交表——提升制程良率技术 269
§20.3 L18（21×37）直交表——静态望小特性 270
§20.4 L18（21×37）直交表——静态望大特性 273
附录 277
附录一：直交表与线性图解 277
附录二：标准常态分配表 301
附录三：达到某一信心水准之最小F值 303
附录四：品质管制杂志与参考书 308
田口方法标准试卷 310
§附1.1田口品质工程技术试题1 311
§附1.2田口品质工程技术试题解答1 316
§附1.3田口品质工程技术试题2 322
§附1.4田口品质工程技术试题解答2 326
§附1.5田口品质工程技术试题3 335
§附1.6田口品质工程技术试题解答3 340
§附1.7田口品质工程技术试题4 344
§附1.8田口品质工程技术试题解答4 349