第1章 等离子体物理基础 1
1.1等离子体产生的原理及概念 1
1.2等离子体的温度 5
1.3等离子体的密度 6
1.4等离子体的振动 6
1.5等离子体的状态 6
1.6等离子体的获得 10
1.7等离子体的分类 11
1.8等离子体的性质 12
第2章 等离子体中的反应 18
2.1碰撞 18
2.2气体放电的伏安特性曲线 19
2.3气体电离 21
2.4辉光放电 24
2.5弧光放电 29
2.6高频放电 31
2.7离子轰击阴极表面的物理、化学效应 32
第3章 离子渗氮原理 35
3.1渗氮处理基础 35
3.2离子渗氮理论 42
3.3离子渗氮的主要特点 43
第4章 等离子体表面改性主要设备 46
4.1供电系统 46
4.2等离子体渗氮设备 61
4.3等离子渗碳及碳氮共渗 70
4.4多弧离子沉积（PVD） 79
第5章 离子渗氮材料的选择 81
5.1合金元素在渗氮钢中的作用 81
5.2渗氮材料选择原则 83
6.1渗氮层的组织 88
第6章 离子渗氮层的组织、性能及检验 88
6.2渗氮层的氮浓度 93
6.3渗氮层的厚度 96
6.4渗氮层的性能 97
6.5离子渗氮层的质量检验 111
第7章 离子渗氮的应用 117
7.1挤压机螺杆 117
7.2缸套的离子渗氮 118
7.3曲轴 120
7.4齿轮 122
7.5精密丝杠 126
7.6镗杆和主轴 128
7.7深孔渗氮 128
7.8钛和钛合金零件 130
7.9工模具 131
7.10其他 134
第8章 等离子体对材料的表面改性 136
8.1辉光离子软氮化 136
8.2等离子体物理气相沉积（PVD） 137
8.3等离子体化学气相沉积（PCVD） 142
8.4等离子体聚合 160
8.5特殊等离子体CVD 163
第9章 等离子体冶金 167
9.1等离子体冶炼技术特点 167
9.2技术经济指标分析 170
第10章 等离子体技术与纳米材料 171
10.1等离子体加热法制取纳米微粒 171
10.2等离子体制取纳米薄膜 176
第11章 等离子体诊断简介 199
11.1低气压等离子体及其工艺的光学诊断 199
11.2电子温度的直接测量 205