1 绪论 1
1.1 历史的回顾与静电学的新生 1
1.2 静电防护与电磁兼容性 2
2 静电学基础理论 5
2.1 电荷与库仑定律 5
2.2 电场与高斯定理 7
2.3 静电场的环流定理 13
2.4 静电场中的导体 18
2.5 静电场中的电介质 20
2.6 电容和部分电容 23
2.7 静电场的能量 27
3 静电起电与消散 32
3.1 静电起电原理 32
3.2 固体起电 40
3.3 粉体的静电起电 45
3.4 液体起电 47
3.5 气体的静电起电 51
3.6 人体的静电起电 52
3.7 静电的消散 57
4 静电放电与静电危害分析 62
4.1 静电放电的特点及类型 62
4.2 静电效应及其作用规律 66
4.3 工业生产中的静电障害 68
4.4 静电燃爆危害 69
4.5 电子行业的静电危害 83
4.6 静电电击危害 87
4.7 静电危害的预测和事故分析 91
5.1 防静电危害的一般原则和对策 95
5 静电危害防护 95
5.2 静电接地 97
5.3 空气加湿 104
5.4 材料的抗静电改性 107
5.5 静电消除器 113
5.6 人体静电的防护 122
6 静电放电建模与模拟 128
6.1 静电放电模型 128
6.2 静电放电模拟器 147
6.3 静电放电辐射场的理论建模 153
7 微电子器件静电防护和失效分析 162
7.1 防护策略和基本步骤 162
7.2 微电子器件、设备ESD敏感度测试 164
7.3 微电子器件静电放电失效分析方法 173
7.4 潜在性失效 176
7.5 微电子器件静电防护设计方法 182
7.6 防静电工作区设计 189
7.7 制造集成电路净化间的静电防护 194
7.8 防静电包装 198
8 静电测试技术 203
8.1 概述 203
8.2 静电基本参量测试 205
8.3 防静电设施及器具静电性能测试 228
8.4 防静电包装材料静电性能测试 236
8.5 人体静电参数测试 242
8.6 防静电织物静电性能测试 245
8.7 静电感度测试与数据处理方法 252