目录 1
概述 1
一、仪器主体结构 1
二、测量系统 2
(一)纵向干涉系统 3
(二)横向干涉系统 3
(三)空气折射率干涉仪 5
(四)小角度干涉仪和校正系统 7
三、数值显示与打印 13
(一)激光干涉条纹的32细分 13
(二)计数脉冲当量的变换 19
(三)计数单元 23
四、测量结果的修正 26
五、瞄准定位装置 26
六、仪器的精度 29
(一)单轴精度 29
(二)座标精度 32
(三)座标样板测试 33
(四)一等量块比对结果及精度分析 36
附表:本仪器各部分误差组成表 37
附录一、“激光两座标测量仪”鉴定会纪要 39
附录二、“激光两座标测量仪”预审会纪要 40