第1篇 薄膜制品设计生产加工工艺与应用最新技术标准 4
公路交通标志反光膜（GB/T 18833—2002） 4
目录 4
石油沥青薄膜烘箱试验法（GB/T 5304—2001） 25
物理气相沉积TiN薄膜技术条件（GB/T 18682—2002） 32
化学转化膜钢铁黑色氧化膜规范和试验方法（GB/T 15519—2002） 63
进出口薄膜晶体管彩色液晶显示器检验方法 （SN/T 1175—2003） 71
第1章 薄膜的定义及特性 85
第一节 薄膜的定义 85
第2篇 薄膜制品设计生产加工新工艺与应用技术基本理论 85
第二节 薄膜材料的分类 88
第三节 薄膜材料的特殊性 90
第四节 薄膜结构缺陷 96
第五节 薄膜的光学特性 98
第2章 薄膜材料研究状况及纳米材料技术发展状况 103
第一节 软塑包装业的现状及发展 103
第二节 纳米材料和技术发展简史 109
第三节 纳米技术在飞速发展 111
第四节 压电材料的发展 115
第五节 薄膜材料研究现状 117
第3章 薄膜材料及其应用 120
第一节 耐磨及表面防护涂层 121
第二节 金刚石薄膜 130
第三节 集成电路中的薄膜材料 137
第四节 集成光学器件 144
第五节 磁记录薄膜和光存储薄膜 148
第4章 薄膜的性能 160
第一节 熔融聚合物挤出薄膜的动力学、热力学和结构进展 160
第二节 吹胀薄膜的运动学、动力学和物理性能 198
第三节 膜泡的不稳定性：实验评价 225
第四节 管形膜的光学性能和结构特性 238
第五节 新型薄膜材料发展前景 259
第3篇 薄膜的形成、结构与缺陷研究 265
第1章 薄膜的形成过程 265
第一节 吸附、扩散和凝结 265
第二节 核的形成与生长 267
第三节 薄膜的形成 268
第2章 薄膜的结构 271
第一节 薄膜的组织结构 271
第二节 薄膜的晶体结构 274
第三节 薄膜的表面结构 276
第四节 薄膜的附着力与内应力 277
第3章 薄膜的缺陷 281
第一节 薄膜的点缺陷 282
第二节 薄膜的位错 283
第三节 薄膜的晶界与层错 285
第四节 薄膜的热处理 286
第4章 AlN薄膜择优取向的研究 287
第一节 溅射气压对薄膜择优取向的影响 288
第二节 靶基距对薄膜择优取向的影响 290
第三节 靶功率对薄膜择优取向的影响 292
第四节 氮气浓度对薄膜择优取向的影响 294
第五节 基片种类对薄膜择优取向的影响 296
第六节 薄膜择优取向机理的探讨 298
第七节 薄膜择优取向程度与实验参数之间的函数关系 301
第4篇 薄膜材料 313
第1章 超硬薄膜材料 313
第一节 超硬材料 313
第二节 金刚石薄膜 319
第三节 金刚石的性质及应用 325
第四节 类金刚石薄膜材料 328
第五节 CNx薄膜材料 346
第2章 智能薄膜材料 354
第一节 形状记忆合金薄膜材料 355
第二节 NiTi形状记忆合金薄膜的制备和表征 357
第三节 形状记忆合金及薄膜的应用 359
第3章 新型半导体薄膜材料 361
第一节 概述 361
第二节 硅基非晶态半导体薄膜 362
第三节 多晶硅和微晶硅薄膜 398
第四节 a-Si:H太阳电池 414
第五节 薄膜晶体管与大面积液晶显示器 433
第4章 纳米薄膜材料 448
第一节 纳米多层膜涂层 450
第二节 纳米复合硬质涂层 452
第三节 应用及展望 456
第5章 介质薄膜材料 457
第一节 概述 457
第二节 电介质薄膜及应用 459
第三节 铁电薄膜及应用 467
第四节 压电薄膜及应用 478
第6章 三族元素氮化物（Ⅲ一N）薄膜材料 490
第一节 三族元素氮化物半导体材料的重要性 490
第二节 材料制备与生长 491
第三节 Ⅲ-N化合物的光学性质 495
第7章 高温超导薄膜材料 497
第一节 概述 497
第二节 高温超导薄膜制备方法 500
第三节 高温超导薄膜材料的结构和性质 506
第四节 高温超导薄膜材料的应用 513
第8章 磁性氮化铁薄膜材料 528
第一节 概述 529
第二节 氮化铁薄膜材料的相结构 530
第三节 氮化铁薄膜材料的制备与表征 532
第9章 巨磁阻薄膜材料 538
第一节 概述 538
第二节 磁性多层膜的巨磁阻效应 540
第三节 颗粒膜的巨磁阻效应 543
第四节 自旋阀多层膜的巨磁阻效应 548
第五节 掺杂稀土锰氧化物的巨磁电阻效应 551
第1章 薄膜厚度控制及测量 561
第5篇 薄膜材料的表征方法 561
第一节 沉积率和厚度监测仪 562
第二节 膜厚度测量 566
第2章 薄膜结构的表征方法 570
第一节 扫描电子显微镜 570
第二节 X射线衍射方法 573
第三节 X射线织构分析 574
第四节 低能电子衍射和反射式高能电子衍射 575
第五节 红外光谱分析 577
第六节 原子力显微镜分析 578
第3章 薄膜成份的表征方法 579
第一节 原子内的电子激发及相应的能量过程 580
第二节 X射线光电子能谱 582
第三节 俄歇电子能谱 583
第四节 Rutherford背散射技术 585
第4章 原子化学键合表征 588
第一节 能量损失谱（EELS） 588
第二节 扩展X射线 596
第三节 红外吸收光谱和拉曼光谱 601
第四节 薄膜应力表征 603
第6篇 薄膜的生长过程和薄膜结构 611
第1章 薄膜生长过程概述及新相的自发形核理论 611
第一节 薄膜生长过程概述 611
第二节 新相的自发形核理论 614
第2章 薄膜的非自发形核理论 618
第一节 非自发形核过程的热力学 618
第二节 薄膜的形核率 620
第三节 衬底温度和沉积速率对形核过程的影响 622
第一节 奥斯瓦尔多（Ostwald）吞并过程 625
第3章 连续薄膜的形成 625
第二节 熔结过程 626
第三节 原子团的迁移 627
第4章 薄膜生长过程与薄膜结构 629
第一节 薄膜的四种典型组织形态 629
第二节 低温抑制型薄膜生长 632
第三节 高温热激活型薄膜生长 638
第5章 非晶薄膜及薄膜织构 641
第一节 非晶薄膜 641
第二节 薄膜织构 644
第6章 薄膜的外延生长 649
第一节 点阵失配与外延缺陷 650
第二节 薄膜外延技术 654
第三节 外延薄膜的成分控制 656
第7章 薄膜中的应力和薄膜的附着力 663
第一节 薄膜中应力的测量 663
第二节 热应力和生长应力 667
第三节 薄膜界面形态和界面附着力 671
第8章 远离平衡态薄膜生长的研究 676
第一节 粗糙表面的结构和生长 678
第二节 简单模型 690
第三节 薄膜生长模型的实验研究 693
第7篇 薄膜制备的新技术和检测手段 697
第1章 微波电子回旋共振化学气相沉积 697
第一节 MW-ECR原理 697
第二节 NW-ECR-CVD的特点 698
第三节 MW-ECR-CVD系统 699
第2章 分子束外延（MBE） 701
第一节 基本概念 702
第二节 MBE生长原理及方法 702
第三节 MBE生长的特点 704
第一节 MOCVD法原理 705
第3章 金属有机化学气相沉积 705
第二节 MOCVD制膜系统 706
第三节 MOCVD法的特点 708
第4章 溶胶-凝胶法 709
第一节 概述 709
第二节 溶胶-凝胶方法制备薄膜工艺 710
第5章 电沉积 713
第一节 概述 713
第二节 电沉积的特点 714
第6章 脉冲激光沉积法 716
第一节 PLD的基本原理及物理过程 717
第二节 PLD技术的特点 719
第7章 薄膜检测手段 720
第一节 薄膜厚度测量 720
第二节 扫描电子显微镜（SEM）分析 723
第三节 原子力显微镜（AFM）分析 725
第四节 X射线衍射（XRD）分析 726
第五节 傅立叶变换红外光谱（FTIR）分析 727
第六节 激光拉曼光谱（Raman）分析 728
第七节 X射线光电子能谱（XPS）分析 730
第八节 俄歇电子能谱（AES）分析 732
第九节 二次离子质谱（SIMS）分析 733
第十节 卢瑟福背散射（RBS）分析 735
第8篇 薄膜制备的方法及真空技术基础 739
第1章 薄膜制备的化学方法 739
第一节 热生长 740
第二节 化学气相沉积 741
第三节 电镀及化学镀 768
第四节 阳极反应沉积法 771
第五节 LB技术 773
第2章 薄膜制备的物理方法 777
第一节 真空蒸发 778
第二节 溅射 804
第三节 离子束和离子助 844
第四节 外延膜沉积技术 870
第3章 金刚石膜沉积制备工艺与应用 890
第一节 金刚石膜的主要沉积方法和成膜生长概述 890
第二节 主要的沉积工艺参数对金刚石形核的影响 892
第三节 沉积主要参数对金刚石的生长过程的影响 897
第四节 金刚石膜生成的基本条件 899
第五节 热丝CVD法沉积金刚石膜工艺 900
第六节 直流等离子体射流法 903
第七节 金刚石涂层刀具制备工艺 907
第9篇 塑料包装薄膜 919
第1章 塑料包装薄膜概论 919
第一节 塑料与现代包装 919
第二节 塑料包装 923
第2章 塑料包装薄膜的应用 947
第一节 适合食品包装用塑料薄膜及其选择 948
第二节 软塑包装热封用塑料薄膜 973
第三节 塑料薄膜在食品包装方面的应用例 998
第四节 食品辐射杀菌用塑料包装材料 1035
第五节 医药品的塑料薄膜包装 1039
第六节 保鲜膜 1048
第七节 洗涤剂、化妆品的塑料薄膜包装 1057
第八节 导电性塑料薄膜 1062
第九节 无菌包装及无菌包装膜 1069
第十节 通气性包装材料和超微孔塑料薄膜 1082
第十一节 各种塑料薄膜的热封制袋 1094
第十二节 其他塑料薄膜包装例 1105
第3章 通用塑料包装薄膜 1110
第一节 低密度聚乙烯薄膜 1111
第二节 线形低密度聚乙烯薄膜 1162
第三节 其他聚乙烯薄膜 1190
第四节 聚丙烯薄膜 1213
第五节 聚氯乙烯薄膜 1245
第六节 聚苯乙烯薄膜 1296
第4章 功能性包装薄膜 1308
第一节 可食性薄膜 1309
第二节 收缩薄膜 1321
第三节 拉伸弹性薄膜 1332
第四节 保鲜功能薄膜 1342
第5章 绿色包装塑料薄膜 1355
第一节 概述 1355
第二节 轻量化、薄型化、高性能的薄膜包装材料 1356
第三节 重复使用和再生的塑料薄膜包装材料 1359
第四节 可降解塑料包装薄膜 1360
第10篇 塑料农膜与生态环境保护 1371
第1章 塑料农用薄膜及其制造 1371
第一节 塑料农用薄膜 1371
第二节 塑料农用薄膜的制造 1373
第一节 塑料地膜 1389
第2章 塑料农用薄膜的分类 1389
第二节 塑料棚膜 1430
第3章 塑料农膜的回收与利用 1450
第一节 塑料农膜的回收与再生方法 1450
第二节 废旧塑料农膜的熔融再生 1451
第三节 废旧塑料农膜的热裂解回收 1458
第四节 废旧塑料农膜的能量回收 1462
第11篇 纳米薄膜的技术与应用 1473
第1章 纳米薄膜材料的制备方法和性能 1473
第一节 纳米薄膜的制备方法 1474
第二节 纳米薄膜的性能 1496
第三节 纳米薄模性能检测 1501
第2章 纳米材料的模板合成法 1503
第一节 厚膜模板法合成纳米阵列 1504
第二节 模板法制备纳米丝 1511
第三节 模板法合成高度取向碳纳米管有序阵列膜 1519
第四节 模板法制备TiO2纳米管 1523
第3章 纳米晶金属氧化物半导体与溶液界面处的电荷转移 1527
第一节 电致变色 1530
第二节 光生伏特 1533
第三节 能量考虑 1538
第四节 染料敏化纳米TiO2薄膜太阳能电池 1541
第4章 其他纳米薄膜材料制备、特性及应用 1548
第一节 纳米AIN薄膜的导电性 1549
第二节 纳米金刚石膜制备及场发射 1551
第三节 纳米磁性薄膜材料及巨磁电阻效应 1557
第四节 In2O3纳米晶及气敏特性 1568
第五节 V2O5纳米膜的制备及电致变色 1571
第六节 WO3（V）纳米膜的制备、电致变色和气敏特性 1575
第七节 纳米TiO2薄膜的导电性和光吸收量子尺寸效应 1580
第八节 纳米晶PZT/PT铁电薄膜的尺寸效应 1586
第九节 Ag/Ni纳米多层膜的点阵应变现象 1589
第十节 Ti-Si-N纳米薄膜的超硬性 1591
第十一节 ZnS/Ag/ZnS纳米多层薄膜及平面显示器透明电极 1595
第十二节 纳米Al膜介电函数的尺寸、频率效应 1602
第十三节 纳米氮化硼薄膜的场发射 1603
第12篇 塑料薄膜与薄膜试验方法标准规范 1609
第1章 塑料薄膜实用标准规范 1609
软聚氯乙烯压延薄膜和片材（GB/T 3830—94） 1609
农业用聚乙烯吹塑薄膜（GB 4455—94） 1620
包装用聚乙烯吹塑薄膜（GB/T 4456—1196） 1628
普通型双向拉伸聚丙烯薄膜（GB/T 1003—1996） 1637
耐蒸煮复合膜、袋（GB/T 10004—1998） 1647
《耐蒸煮复合膜、袋》内容的有关说明（GB/T 10004—1998） 1657
双向拉伸聚丙烯（BOPP）／低密度聚乙烯（LDPE）复合膜、袋（GB/T 10005—1998） 1660
聚乙烯自粘保鲜膜（GB 10457—89） 1669
高密度聚乙烯吹塑薄膜（GB 12025—89） 1676
热封型双向拉伸聚丙烯薄膜（GB/T 12026—2000） 1686
《热封型双向拉伸聚丙烯薄膜》内容的有关说明 （GB/T 12026—2000） 1695
电容器用聚丙烯薄膜（GB/T 12802—1996） 1698
聚乙烯热收缩薄膜 （GB/T 13519—92） 1711
电气用塑料薄膜一般要求（GB 13542—92） 1717
聚乙烯吹塑农用地面覆盖薄膜（GB 13735—92） 1721
电气绝缘用聚酯薄膜（GB 13950—92） 1729
食品包装用聚氯乙烯硬片、膜（GB/T 15267—94） 1738
包装用双向拉伸聚酯薄膜（GB/T 16958—1997） 1749
食品包装用聚偏二氯乙烯（PVDC）片状肠衣膜（GB/T 17030—1997） 1759
包装术语 工业包装袋热塑性塑料软质薄膜袋（GB/T 178582—1999） 1767
未拉伸聚乙烯、聚丙烯薄膜（QB/T 1125—2000） 1781
单向拉伸高密度聚乙烯薄膜（GB 1128—91） 1787
液体包装用聚乙烯吹塑薄膜（QB 1231—91） 1797
软聚氯乙烯吹塑薄膜（QB 1257—91） 1806
聚乙烯气垫薄膜（GB 1259—91） 1814
软聚氯乙烯复合膜（QB 1260—91） 1820
双向拉伸尼龙（BOPA）／低密度聚乙烯（LDPE）复合膜、袋（QB/T 1871—93） 1827
聚丙烯吹塑薄膜（QB 1956—94） 1837
软聚氯乙烯装饰膜（片）（QB/T 2028—94） 1845
榨菜包装用复合膜、袋（QB 2197—1996） 1853
包装用降解聚乙烯薄膜（QB/T 2461—1999） 1862
农业用软聚氯乙烯压延拉幅薄膜（QB/T 2472—2000） 1878
药品包装用复合膜（通则）（YY 0236—1996） 1889
第2章 薄膜试验方法标准规范 1897
塑料薄膜和薄片气体透过性试验方法压差法（GB/T 1038—2000） 1899
塑料薄膜和薄片厚度测定机械测量法（GB/T 6672—2001） 1906
《塑料 薄膜和薄片 厚度测定 机械测量法》内容的有关说明（GB/T 6672—2001） 1908
塑料薄膜和薄片长度和宽度的测定（GB/T 6673—2001） 1912
《塑料 薄膜和薄片 长度和宽度的测定》内容的有关说明（GB/T 6673—2001） 1916
软质复合塑料材料剥离试验方法（GB 8808—88） 1917
塑料薄膜抗摆锤冲击试验方法（GB 8809—88） 1920
塑料薄膜和薄片抗冲击性能试验方法自由落镖法 （GB 9639—88） 1923
塑料薄膜和薄片摩擦系数测定方法（GB 10006—88） 1929
塑料薄膜尺寸变化率试验方法（GB 12027—89） 1935