第1章 太阳能电池 1
1.1 太阳能电池的分类 1
1.2 晶体硅太阳能电池 2
1.2.1 单晶硅太阳能电池 2
1.2.2 多晶硅太阳能电池 4
1.3 薄膜太阳能电池 5
1.3.1 硅基薄膜太阳能电池 5
1.3.2 染料敏化电池 7
1.3.3 化合物太阳能电池 8
1.3.4 有机太阳能电池 10
第2章 晶体硅太阳能电池制造 11
2.1 制造晶体硅太阳能电池的原材料 11
2.2 晶体硅太阳能电池制造设备 12
2.2.1 清洗制绒设备 12
2.2.2 烘干机 13
2.2.3 D8积分反射仪 13
2.2.4 扩散炉 14
2.2.5 刻蚀机——等离子刻蚀机 14
2.2.6 PECVD 15
2.2.7 丝网印刷机 15
2.2.8 快速烧结炉 15
2.2.9 四探针式电阻率／方块电阻测试仪 15
2.3 晶体硅太阳能电池制造流程 16
第3章 清洗制绒 17
3.1 硅片清洗制绒 17
3.1.1 硅片清洗 17
3.1.2 硅片制绒 18
3.2 晶体硅清洗制绒流程 19
3.2.1 单晶硅清洗制绒流程 19
3.2.2 多晶硅清洗制绒流程 19
3.3 操作清洗制绒机 20
3.3.1 操作单晶硅清洗制绒机 20
3.3.2 操作多晶硅清洗制绒机 21
3.4 操作烘干机 22
3.5 使用D8积分反射仪检测硅片 24
3.5.1 开关机步骤 24
3.5.2 使用步骤 24
3.5.3 注意事项 25
第4章 扩散制结 27
4.1 硅片的扩散制结 27
4.2 方块电阻 29
4.3 扩散炉操作 29
4.3.1 开机操作 29
4.3.2 生产操作 31
4.3.3 关机操作 32
4.3.4 维修保养 33
4.3.5 生产提示-信号指示灯 34
4.4 三氯氧磷（POCl3）液态源扩散生产 34
4.4.1 POCl3简介 34
4.4.2 POCl3扩散原理 35
4.4.3 磷扩散工艺过程 35
4.5 扩散方块电阻测试 38
4.6 清洗石英舟 39
第5章 刻蚀 41
5.1 硅片的刻蚀 41
5.2 等离子刻蚀生产 42
5.3 去磷硅玻璃（PSG） 43
5.3.1 操作过程 43
5.3.2 工艺参数 44
5.3.3 注意事项 45
5.4 操作SCHMID清洗机 45
5.5 RENA二次清洗作业 48
5.5.1 RENA二次清洗作业工艺流程 49
5.5.2 监控 53
5.5.3 注意事项 53
第6章 镀减反射膜 55
6.1 减反射膜工作原理 55
6.1.1 镀减反射膜的作用 58
6.1.2 减反射膜的原理 60
6.2 有机镜片的减反射膜镀膜技术 61
6.3 管式PECVD镀膜 62
6.4 管式PECVD设备操作 65
第7章 丝网印刷电极生产 73
7.1 可印材料 73
7.2 导体材料成分及其在太阳能电池结构中的作用 75
7.2.1 金属-半导体接触电阻 76
7.2.2 厚膜导体电阻 77
7.3 丝网印刷 77
7.4 丝网印刷生产 83
7.5 烧结 89
7.6 精细电极工艺 89
第8章 晶体硅太阳能电池的检测 91
8.1 晶体硅太阳能电池性能测试概述 91
8.1.1 太阳能电池测试系统的分类与组成 93
8.1.2 太阳能电池测试原理 94
8.2 测试分选机操作 97
8.3 晶体硅太阳能电池测试 104
参考文献 111