第1章 概论 1
1.1精密与特种加工技术的形成及作用 1
1.2精密与特种加工方法及分类 2
1.3精密与特种加工技术的发展展望 5
第2章 精密和超精密切削加工 8
2.1概述 8
2.1.1精密和超精密切削加工分类 8
2.1.2精密和超精密切削加工与经济性 8
2.1.3实现精密和超精密加工的基本条件 9
2.2超精密机床 11
2.2.1超精密机床的特征及分类 11
2.2.2超精密机床的关键部件及其系统 13
2.2.3在线检测与误差补偿技术 24
2.2.4典型超精密机床简介 26
2.3金刚石刀具及切削机理 28
2.3.1金刚石特性及金刚石刀具 28
2.3.2切削变形及切削过程 36
2.3.3刀具磨损、破损及寿命 39
2.4精密切削加工零件的棱边（毛刺）质量 43
2.4.1毛刺的特征参数及分类体系 43
2.4.2毛刺形成与变化的基本规律 46
2.4.3主动控制毛刺的方法及途径 51
2.5精密和超精密切削技术应用 55
2.5.1磁盘基片的精密切削 55
2.5.2光学元器件的精密切削 59
2.5.3 SiC晶须增强铝基复合材料的超精密切削 62
2.5.4陶瓷材料的精密切削 64
思考题与习题 67
第3章 精密和超精密磨削加工 68
3.1概述 68
3.1.1精密和超精密磨削加工方法 68
3.1.2精密磨削磨具和超精密磨削磨具 70
3.2普通磨料砂轮精密磨削 75
3.2.1精密磨床 75
3.2.2精密磨削过程及磨削力 77
3.2.3精密磨削温度和磨削液 80
3.2.4普通砂轮精密磨削机理 83
3.2.5磨削质量和裂纹控制 84
3.3超硬磨料砂轮精密磨削 89
3.3.1超硬磨料砂轮精密磨削特点 89
3.3.2超硬磨料砂轮磨床 90
3.3.3超硬磨料砂轮磨削工艺 91
3.4精密和超精密磨削砂轮的选择与修整 92
3.4.1精密磨削砂轮的选择 92
3.4.2精密磨削砂轮的修整 93
3.4.3超硬磨料砂轮的平衡 94
3.4.4超硬磨料砂轮的修整 95
3.5超精密磨削加工 96
3.5.1超精密磨削加工的特点 96
3.5.2超精密磨床 97
3.5.3超精密磨削机理 98
3.5.4超精密砂带磨削 99
3.5.5研磨 102
思考题与习题 107
第4章 电火花加工 108
4.1概述 108
4.1.1电火花加工特点及应用领域 108
4.1.2电火花加工工艺方法的分类 109
4.2电火花加工原理 110
4.2.1电火花加工形成过程 110
4.2.2电火花加工机理 111
4.2.3影响材料放电蚀除的主要因素 114
4.2.4电火花加工的基本工艺规律 117
4.3电火花加工机床及应用 122
4.3.1电火花成形加工机床 122
4.3.2电火花成形加工的应用 130
4.3.3电火花线切割加工的应用 138
思考题与习题 139
第5章 电化学加工 140
5.1概述 140
5.1.1电化学加工方法及分类 140
5.1.2电化学加工的特点及应用 140
5.2电化学加工基本原理 141
5.2.1电化学加工过程 141
5.2.2影响电化学加工的主要因素及其控制 141
5.3电解加工 146
5.3.1电解加工的基本原理和特点 146
5.3.2电极反应和电解液 147
5.3.3电解加工的基本工艺规律 152
5.3.4电解加工的基本设备 157
5.3.5电解加工新工艺 158
5.3.6电解加工的应用 159
5.4阴极沉积加工 163
5.4.1电铸加工 163
5.4.2电刷镀加工 166
5.4.3复合镀加工 169
思考题与习题 169
第6章 高能束加工 171
6.1概述 171
6.1.1高能束加工概念及特点 171
6.1.2高能束加工方法及分类 171
6.2离子束加工 172
6.2.1离子束加工的基本原理 172
6.2.2离子束加工设备 173
6.2.3离子束加工应用 174
6.3电子束加工 185
6.3.1电子束加工的基本原理 185
6.3.2电子束加工设备 186
6.3.3电子束加工应用 188
6.4激光束加工 192
6.4.1激光束加工的基本原理 192
6.4.2激光束加工设备 193
6.4.3激光束加工应用 196
思考题与习题 210
第7章 复合加工 211
7.1概述 211
7.1.1复合加工概念及发展 211
7.1.2复合加工方法及分类 211
7.2复合切削加工 212
7.2.1超声振动切削 212
7.2.2磁化切削加工 217
7.2.3低（高）温切削加工 220
7.3电解机械复合加工 225
7.3.1复合电解磨削 225
7.3.2复合电解珩磨 230
7.3.3电解研磨复合光整加工 231
7.4超声电火花（电解）复合加工 237
7.4.1超声电火花复合加工 237
7.4.2超声电解加工 238
7.5电解电火花磨削加工 240
7.6其他复合加工方法简介 243
思考题与习题 248
参考文献 250