第1章 绪论 1
1.1超短脉冲激光微细加工概述 1
1.2超短脉冲激光微细加工特点 2
1.3超短脉冲激光微细加工的研究现状 6
1.4超短脉冲激光微细加工的未来发展趋势 6
第2章 飞秒激光微细加工系统组成及检测设备 7
2.1飞秒激光微细加工系统 7
2.2飞秒激光微细加工区域的主要检测方法和设备 16
第3章 超短脉冲激光和固体材料的作用机理 23
3.1超短脉冲激光和固体材料相互作用的物理过程 23
3.2超短脉冲激光和材料作用中的能量传递和热传导 27
3.3飞秒激光烧蚀材料机理 38
3.4材料的激光损伤机理 45
第4章 飞秒激光加工蓝宝石 47
4.1飞秒激光加工蓝宝石概述 47
4.2飞秒激光加工蓝宝石实验方法与设备 48
4.3飞秒激光静态照射蓝宝石 49
4.4飞秒激光加工蓝宝石的不同晶面 55
4.5飞秒激光加工蓝宝石的机理 56
4.6飞秒激光在蓝宝石表面加工微槽 57
第5章 飞秒激光直写加工微细结构 59
5.1飞秒激光直写加工概述 59
5.2微细结构的常用加工方法 59
5.3飞秒激光微细加工的精度 60
5.4飞秒激光加工固体材料的加工阈值 62
5.5激光脉冲能量和脉冲数量对加工尺寸的影响 62
5.6飞秒激光直写加工微细结构 64
5.7飞秒激光微细加工的应用 66
第6章 飞秒激光在固体材料表面诱导周期性微纳米结构 82
6.1激光诱导周期性微纳米结构概述 82
6.2激光诱导周期性微纳米结构的现状 82
6.3激光诱导周期性微纳米结构的原理 83
6.4激光诱导周期性微纳米结构实验方法及设备 84
6.5飞秒激光在固体材料表面诱导长周期微纳米结构 84
6.6飞秒激光在固体材料表面诱导短周期微纳米结构 89
6.7激光诱导周期性微纳米结构的应用 94
第7章 激光加工安全防护及标准 98
7.1激光的危险性 98
7.2激光危险性分类 101
7.3激光防护 102
7.4不同类别的激光产品所使用的安全防护 106
7.5激光安全标准 107
参考文献 109