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FUNDAMENTALS OF MICROFABRICATION AND NANOTECHNOLOGY VOLUME 3 FROM MEMS TO BIO-MEMS AND BIO-NEMS THIR
MARC J.MADOU2012 年出版636 页ISBN：9781420055160 -
ENABLING TECHNOLOGY FOR MEMS AND NANODEVICES
H.BALTES O.BRAND G.K.FEDDER2005 年出版427 页ISBN：352730743X -
Materials and failures in MEMS and NEMS
Atul Tiwari ; Baldev Raj2015 年出版406 页ISBN：1119083605 -
Miniaturized systems with micro-optics and MEMS volume 3878
M. E.Motamedi1999 年出版426 页ISBN：0819434752 -
SMART STRUCTURES AND MATERIALS 1999 SMART ELECTRONICS AND MEMS VOLUME 3673
1999 年出版382 页ISBN：0819431478 -
FOUNDATIONS OF MEMS SECOND EDITION
CHANG LIU2011 年出版576 页ISBN：7111358279本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传...
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THE PHYSICAL CHEMISTRY OF MEMBRANES AN INTRODUCTION TO THE STRUCTURE AND DYNAMICS OF BIOLOGICAL MEM
BRIAN L.SILVER2222 年出版396 页ISBN：0045740283 -
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