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超精密气浮定位工作台技术：气浮系统动力学与控制
陈学东，何学明，叶燚玺著2008 年出版223 页ISBN：9787560946108本书阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。主要内容：超精密气浮支承技术和精密定位工作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模...
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精密仪器的小样本非统计分析原理 国防特色学术专著仪器科学与技术
王中宇，夏新涛，朱坚民等著2010 年出版286 页ISBN：9787512400405本书主要研究精密仪器的分析与应用领域中，被测量的特征信息不全或者观测到的数据个数较少的小样本非统计分析、评估与处理问题，尤其是针对不宜采用统计方法分析的精密仪器中的一些关键技术进行探讨。小样本非...
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精密电主轴结构分析及测控技术
何强，李安玲编著2018 年出版235 页ISBN：9787534991530本书共分为10章，第1章主要介绍了精密电主轴的意义和附件组成，国内外电主轴的发展现状和差距，以及未来电主轴的发展现状；第2章主要介绍电主轴的分类和常见电主轴典型结构分析；第3章先介绍电主轴的选用的方法和注...
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多物理耦合场固液两相磨粒流精密加工技术
李俊烨著2018 年出版383 页ISBN：9787030560575本书系统地介绍了多物理耦合场固液两相磨粒流精密加工技术的原理与方法，主要包括：磨粒流精密加工技术的相关理论，固液两相磨粒流加工过程中的力学特性、热学特性、流动特性和颗粒碰撞特性的研究，分子动力学方法...
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硅片的超精密磨削理论与技术
郭东明，康仁科著2019 年出版240 页ISBN：9787121363009本书在介绍单晶硅的物理、化学和半导体性质，以及单晶硅片在集成电路制造中的应用和加工要求的基础上，全面系统地阐述了硅片旋转磨削原理、超精密磨削机理、超精密磨削工艺、超精密磨床，完整地总结了著者及其团...
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先进光学元件微纳制造与精密检测技术
郭隐彪，杨平，王振忠，杨炜编著2014 年出版320 页ISBN：9787118096132先进光学元件作为实现特殊光学功能的载体和工具，在光学技术领域中占据着举足轻重的地位。先进光学元件开发的核心，主要是实现高精度的制造和检测。本书以此为出发点，主要内容包括：先进光学元件的高精度制造与检...
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