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高端集成电路制造工艺丛书 等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用
张海洋等编著2018 年出版376 页ISBN：9787302489597系统性回顾了过去半个世纪干法蚀刻技术的演变，深入介绍了该技术的基本机理，在逻辑产品和闪存产品中的具体应用以及对于逻辑电路可靠性影响的系统分析。同时针对特殊气体和特种材料的蚀刻应用进行了展望；最后以...
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大气压低温等离子体技术及应用
张秀玲，底兰波著2017 年出版216 页ISBN：9787030535900本书主要阐述等离子体的基础理论及大气压低温等离子体在低碳烷烃转化、二氧化钛光催化剂、负载型金属催化剂制备中的应用。全书分为四部分，共九章。第一部分（第1、2章）为基础部分，主要介绍等离子体基础和等离子...
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