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微传感器与微执行器全书
(美)格雷戈里 T. A.科瓦奇(Gregory T. A. Kovacs)著;张文栋等译2003 年出版673 页ISBN:7030105656本书是一部关于微机械系统方面的重要论著和首选技术参考书,全书共分九章,几乎涉及MEMS技术的所有研究领域,畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理,并在此基础上,对典型器件和系,统的设计与工艺进行了详细的介绍。特...
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微传感器 MEMS与智能器件
(英)朱利安 W.加德纳,(美)维贾伊 K.瓦拉丹,(美)奥萨马 O.阿瓦德卡里姆著2007 年出版477 页ISBN:9787502625573本书主要内容为电子材料与加工技术、标准微电子工艺、微传感器等。
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