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微机电系统力学

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高世桥，刘海鹏著2008 年出版249 页ISBN：7118055662
本书以微机电系统为背景，以物理学基本力为基础，重点介绍了微米尺度下的力学环境，力学作用及微尺度效应，并介绍了微机电系统的动力学特性分析方法。...
微机电系统基础英文版

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（美）Chang Liu2008 年出版530 页ISBN：9787111231677
本书阐述了微机电系统的基础知识，还涉及微机电系统的前沿和尖端技术。
微机电系统设计与加工

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（美）MOHAMEDGAD-EL-HAK编著2010 年出版536 页ISBN：9787111285977
本书主要介绍了MEMS技术中材料和加工方面的知识，内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用等知识。...
微机电系统动力学

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孟光，张文明著2008 年出版336 页ISBN：9787030218728
本书是有关微机电系统（MEMS）动力学的专著，首次全面介绍MEMS动力学的理论基础与应用，展示当今MEMS动力学研究的最新研究进展，系统论述MEMS动力学相关理论和目前引起人们关注的科学问题，基本涵盖了MEMS及MEMS动力学...
微机电系统机械学

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张向军编著2012 年出版158 页ISBN：9787302300175
本书重点揭示了微系统的表面界面效应、微纳米尺度表面力的来源与作用规律、微构件在各种微尺度表面力作用下的变形、接触与运动规律，以及微纳米间隙和管道中的流体特性、驱动原理和流动规律，并结合典型的微纳...
微机电系统原理

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（韩）李基邦（KiBangLee）著；马小军，王国胜，吕强等译2014 年出版598 页ISBN：9787118094329
本书通过统一的方法和闭合解析法解决微机电问题中的微机电系统原理。首先对宏观和微观世界的基础无量纲参数进行了量纲分析，同时还介绍了微机电系统相关的精密加工技术。此外本书还介绍了静力平衡状态下静力...
生物微机电系统

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（德）厄本（Urban，G.A.）编著2007 年出版373 页ISBN：7030188489
微系统技术领域的飞速发展为许多重点学科（从微电子到生命科学）引入了极具前景的产品，特别是生命科学和卫生保健业，一直是人们期望的微系统技术产品的主要市场。毫无疑问，生物学和微纳科学的结合将会制造一场新的...
微机电系统基础原书第2版

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（美）刘昶著；黄庆安译2013 年出版398 页ISBN：9787111406570
本书全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文，为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感器、压力传...
微机电系统与设计

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娄利飞编著2010 年出版204 页ISBN：9787121108082
全书共8章，第1章初识微机电系统。第2章阐述了用于传感或执行元件工作的基本机理，并介绍了一些典型的微传感器和微执行器。第3章讨论了用于微机电系统的多种材料。第4章描述了怎样制造微机电系统和器件。第5章...
射频微机电系统的理论、设计、制备及应用

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张海霞，缪雯，方东明著2014 年出版416 页ISBN：9787030389961
本书系统地论述了微机电系统中射频元器件的物理模型、等效电路、性能表征和实验结果，并详细论述了射频微机电系统元器件结构设计和制备方法。本书聚集在射频微机电系统元器件的设计、加工和测试，创新内容较多...