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空间微系统与微纳卫星
尤政等著2013 年出版363 页ISBN:9787118088717本书介绍了以微纳卫星为代表的微型卫星技术的起源、历史进程、国外当前的发展状况,阐述了以清华大学为代表的我国微纳卫星技术的研究状况和发展前景。接着以清华NS-1、NS-2纳型卫星和MEMSSat皮型卫星为实例,...
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微纳加工中的精密工件台技术
刘俊标,薛虹,顾文琪著2004 年出版278 页ISBN:7563914323本书重点讲述微纳加工关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术,以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。书中对精密测量技术、驱动技术、直线导向技术、微位移技术、精密工件台控制系统...
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基于机械-化学方法的微纳制造技术
史立秋著2014 年出版93 页ISBN:9787121237126随着电子器件越来越小型化,如何方便、可控地在单晶硅表面设计和构筑具有特定功能和特性的跨尺度微纳复合结构一直是当今微纳制造领域中的热点和难点问题。本书针对该问题,提出“基于机械-化学方法的硅表面功...
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微纳尺度下固液界面流动阻力影响因素的研究
赵学增2018 年出版349 页ISBN:9787560370712本书基于固液界面上表面电荷、边界滑移、纳米气泡等影响液体流动阻力的因素,采用各种扫描探针显微镜对界面上的因素进行纳米尺度的测量,通过纳米尺度的力、变形、振动及分散度等和表征方面展开,创新性地提出了...
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